문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 자기터널 접합 구조체는 평면도로 부터 보여질때 길이 및 폭을 갖되, 상기 하부전극 콘택 플러그는 상기 자기터널 접합 구조체의 길이방향의단부중첩되는것을특징으로 하는자기램 소자.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 하부전극은 상기 자기터널 접합 구조체의 평면적과 실질적으로 동일한평면적갖는것을특징으로 하는자기램 소자.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 디지트 라인은 상기 자기터널 접합 구조체의 길이방향과 직교하는 방향으로 배치되되, 상기 자기터널 접합 구조체의 길이보다 작은치수의폭갖는것을특징으로 하는자기램 소자.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,서로 이격된 상기 디지트 라인 및 상기 하부 전극 콘택 플러그는상기자기터널 접합 구조체중첩되는것을특징으로 하는자기램 소자.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 자기 터널 접합 구조체는 피닝층 패턴, 고정층 패턴,터널링 절연층패턴및자유층 패턴포함하는것을특징으로 하는자기램 소자.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 자기터널 접합 구조체 상에 배치된 상부전극; 및 상기 상부전극의 상부면에 전기적으로 접속되고 상기 디지트 라인의 상부를 가로지르도록 배치된 비트라인더 포함하는자기램 소자.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 디지트 라인 하부의 상기 반도체기판에 형성된 억세스 트랜지스터를 더 포함하되, 상기 하부 전극 콘택 플러그는 상기 억세스 트랜지스터의 드레인 영역에전기적접속되는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 자기터널 접합 구조체는 평면도로 부터 보여질때 길이 및 폭을 갖되, 상기 하부전극 콘택 플러그는 상기 자기터널 접합 구조체의 길이방향의단부중첩되는것을특징으로 하는자기램 소자.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 하부전극은 상기 자기터널 접합 구조체의 평면적과 실질적으로 동일한평면적갖는것을특징으로 하는자기램 소자.
[청구항 12]
제 10 항에 있어서,상기 디지트 라인은 상기 자기터널 접합 구조체의 길이방향과 직교하는 방향으로 배치되되, 상기 자기터널 접합 구조체의 길이보다 작은치수의폭갖는것을특징으로 하는자기램 소자.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,서로 이격된 상기 디지트 라인 및 상기 하부 전극 콘택 플러그는상기자기터널 접합 구조체중첩되는것을특징으로 하는자기램 소자.
[청구항 14]
제 9 항에 있어서,상기 자기 터널 접합 구조체는 피닝층 패턴, 고정층 패턴,터널링 절연층패턴및자유층 패턴포함하는것을특징으로 하는자기램 소자.
[청구항 15]
제 9 항에 있어서,소자는 억세스트랜지스터인것을특징으로 하는자기램 소자.
[청구항 16]
제 15 항에 있어서,상기 하부전극 콘택 플러그는 상기 억세스 트랜지스터의 드레인 영역에전기적접속되는것을특징으로 하는자기램 소자.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
자기램 소자에서 하부전극 콘택 플러그와 디지트 라인이 자기터널 접합 구조체와 중첩될 때, 디지트 라인의 배치 방향과 폭의 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation자기램 소자에서 하부전극 콘택 플러그와 디지트 라인이 자기터널 접합 구조체와 중첩될 때, 디지트 라인의 배치 방향과 폭의 특징을 추출해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 4(또는 12)에서 디지트 라인의 배치 방향과 폭에 관한 기술적 특징을 확인한다.
- 상기 디지트 라인은 상기 자기터널 접합 구조체의 길이방향과 직교하는 방향으로 배치되되, 상기 자기터널 접합 구조체의 길이보다 작은치수의폭갖는것을특징으로 하는자기램 소자.
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 디지트 라인의 '배치 방향'과 '폭'에 해당하는 구절을 선택한다.
- 상기 디지트 라인은 상기 자기터널 접합 구조체의 길이방향과 직교하는 방향으로 배치되되, 상기 자기터널 접합 구조체의 길이보다 작은치수의폭갖는것
-
4논리 통합
logical_integration디지트 라인은 자기터널 접합 구조체의 길이 방향과 직교하며, 그 폭은 구조체의 길이보다 작다는 관계를 통합한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation디지트 라인은 자기터널 접합 구조체의 길이 방향과 직교하는 방향으로 배치되고, 폭은 자기터널 접합 구조체의 길이보다 작은 치수를 갖는다는 결론을 도출한다.
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
디지트 라인은 상기 자기터널 접합 구조체의 길이방향과 직교하는 방향으로 배치되며, 상기 자기터널 접합 구조체의 길이보다 작은 치수의 폭을 갖는다.
핵심 해석 (core_interpretation)
자기램 소자의 고집적화를 위해 디지트 라인을 자기터널 접합 구조체의 길이 방향과 직교하게 배치하고, 그 폭을 구조체의 길이보다 작게 형성하여 공간 효율성을 확보하는 기술적 특징을 나타낸다.