문맥 (context)
[청구항 1]
웨이퍼반송장치에 있어서
반송기대와:
상기 반송기대 상에 웨이퍼를 보유·유지하는 부재로서의 다수개의 핀셋과
상기 핀셋의 일측에 설치되어 상기 핀셋의 암을 상하로 감싸는 상부와 하부로 구성되어 연결된 지지대와
상기 핀셋의 암 상부방향의 상부 지지대 상에 설치된 발광소자와
상기 핀셋의 암 하부방향의 하부 지지대 상에 설치된 수광소자와
상기 핀셋의 암에 형성되어 상기 지지대의 발광소자와 수광소자를 수직으로 잇는 수직선과 만나는 부위에 위치하는, 상기 발광소자에서 나온 광빔을 상기 수광소자까지 통과시키는 구멍과
상기 발광소자에서 나온 광빔이 상기 수광소자에 도달하였는지를 감지하여 에러발생여부를 판단하는 센싱시스템을 포함하여 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼반송장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 센싱시스템은 상기 발광소자에서 나온 광빔이 상기 수광소자로 도착하는지 여부를 판단하여 상기 핀셋의 티칭 변화가 없는지여부판단하는것을특징으로 하는웨이퍼반송장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 센싱시스템은 상기 발광소자에서 나온 광빔이 상기 수광소자에 도착하는지 여부를 판단하는 센서시스템과 상기 센서시스템에 연결되어 에러여부를 표시하는 에러케이블을 포함하여구성됨을특징으로 하는웨이퍼반송장치.
[청구항 4]
제1항 내지 제3항에 있어서,상기 센싱시스템은 상기 발광소자에서 나온 광빔이 상기 수광소자로 도착하지 않는 경우에 상기 핀셋에 티칭 변화가 발생하였다고 판단하여에러발생인식하는것을특징으로 하는웨이퍼반송장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 적용 또는 작동 조건을 확인하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
웨이퍼반송장치의 센싱시스템이 핀셋의 티칭 변화가 발생하였다고 판단하여 에러를 인식하는 구체적인 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation웨이퍼반송장치의 센싱시스템이 핀셋의 티칭 변화를 에러로 인식하는 구체적인 조건을 추출해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 센싱시스템의 에러 발생 인식 조건에 관한 내용을 확인한다.
- 상기 발광소자에서 나온 광빔이 상기 수광소자로 도착하지 않는 경우에 상기 핀셋에 티칭 변화가 발생하였다고 판단하여 에러발생인식하는 것
-
3근거 선택
evidence_selection에러 인식의 직접적인 조건인 '광빔이 수광소자에 도착하지 않는 경우'를 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 발광소자에서 나온 광빔이 상기 수광소자로 도착하지 않는 경우
-
4논리 통합
logical_integration발광소자에서 나온 광빔이 수광소자에 도달하지 못하면 핀셋의 위치(티칭)가 변한 것으로 간주하여 에러를 인식한다는 논리를 구성한다.
- 상기 발광소자에서 나온 광빔이 상기 수광소자로 도착하지 않는 경우에 상기 핀셋에 티칭 변화가 발생하였다고 판단하여 에러발생인식
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 광빔의 수광소자 도달 여부를 조건으로 명시한다.
- 상기 발광소자에서 나온 광빔이 상기 수광소자로 도착하지 않는 경우
-
6답변 생성
answer_generation추출된 조건을 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 발광소자에서 나온 광빔이 상기 수광소자로 도착하지 않는 경우
최종 답변 (final_answer)
상기 발광소자에서 나온 광빔이 상기 수광소자로 도착하지 않는 경우
핵심 해석 (core_interpretation)
발광소자와 수광소자 사이의 광빔 통과 여부를 통해 핀셋의 위치(티칭) 변화를 감지하고 에러를 판단하는 센싱 메커니즘에 관한 기술이다.