기판 지지 부재 document_id 1020040069032

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 하우징은 제 1 단부에 관통하여 형성된 4개의 창 및 제 2 단부에 관통하여 형성된 4개의 창을 포함하며, 상기 각각의 창 내부에는 상기 베어링 부재 중 하나가적어도일부배치되는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 베어링 부재는 상기 하우징의 보어 내에 배치된 지지 핀의 외경을 보완하도록 오목한겉면포함하는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 각각의 베어링 부재는롤러인것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 각각의 베어링 부재는 상기 하우징의 보어 내에 배치된 지지 핀과 물리적으로 접촉하는롤러인것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 하우징은 제 1 단부에 관통하여 형성된 4개의 창 및 제 2 단부에 관통하여 형성된 4개의 창을 포함하며, 상기 각각의 창 내부에는 상기 베어링 부재 중 하나가적어도일부배치되는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 8] 제 6 항에 있어서,상기 지지 핀은 고리형 단면을 갖고 상기 각각의 롤러는 상기 지지 핀의 외경을 보완하도록 오목한겉면갖는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 하우징은 관통하여 형성된 적어도 4개의 창을 포함하며, 상기 각각의 창 내부에는 상기 베어링 부재 중 하나가적어도일부배치되는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 11] 제 9 항에 있어서,상기 하우징은 제 1 단부에 관통하여 형성된 4개의 창 및 제 2 단부에 관통하여 형성된 4개의 창을 포함하며, 상기 각각의 창 내부에는 상기 베어링 부재 중 하나가적어도일부배치되는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 12] 제 9 항에 있어서,상기 베어링 부재 중 적어도 하나는 관통하여 형성된 중심 보어, 윤곽 겉면, 및 적어도 일부가 상기 중심 보어를 관통하여 배치된 샤프트를 갖는롤러포함하는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 13] 제 9 항에 있어서,상기 지지 핀은 고리형 단면을 갖고 상기 각각의 롤러는 상기 지지 핀의 외경을 보완하도록 오목한겉면갖는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 14] 제 9 항에 있어서,상기 하우징은 제 1 단부에 관통하여 형성된 4개의 창 및 제 2 단부에 관통하여 형성된 4개의 창을 포함하고, 상기 각각의 창 내부에는 상기 베어링 부재 중 하나가 적어도 일부 배치되며, 상기 베어링 부재는 관통하여 형성된 중심 보어, 윤곽 겉면, 및 적어도 일부가 상기 중심 보어를 관통하여 배치된 샤프트를 갖는롤러포함하는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 15] 제 9 항에 있어서,상기 베어링 부재 중 적어도 하나는 큰 구면 부재 및 상기 큰 구면 부재 둘레에 배열된 4개의 작은 구면 부재를 포함하는 볼어셈블리포함하는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 16] 제 9 항에 있어서,구면 부재 및 상기 4개의 작은 구면 부재는 상기 하우징에 형성된 볼시트내배치되는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 17] 제 9 항에 있어서,상기 하우징 둘레에 배치된중공슬리브더포함하는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 중공 슬리브는 상기 하우징에상기베어링부재들고정하는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 하우징의 제 1 단부 둘레에 배치된 소켓을 더 포함하며, 상기 소켓은상기중공슬리브의제1단부접경하는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 20] 제 9 항에 있어서,상기 하우징은 제 1 단부에 관통하여 형성된 4개의 볼 시트 및 제 2 단부에 관통하여 형성된 4개의 볼 시트를 포함하고, 상기 각각의 볼 시트 내부에는 상기 베어링 부재 중 하나가 적어도 일부 배치되며, 상기 베어링 부재는 큰 구면 부재 및 상기 구면 부재 둘레에 배열된 4개의 작은 구면 부재를 포함하는 볼어셈블리포함하는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 22] 제 21 항에 있어서,상기 하우징은 관통하여 형성된 적어도 4개의 창을 포함하며, 상기 각각의 창 내부에는 상기 베어링 부재 중 하나가적어도일부배치되는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 23] 제 21 항에 있어서,상기 하우징은 제 1 단부에 관통하여 형성된 4개의 창 및 제 2 단부에 관통하여 형성된 4개의 창을 포함하며, 상기 각각의 창 내부에는 상기 베어링 부재 중 하나가적어도일부배치되는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 24] 제 21 항에 있어서,상기 베어링 부재 중 적어도 하나는 관통하여 형성된 중심 보어, 윤곽 겉면, 및 적어도 일부가 상기 중심 보어를 관통하여 배치된 샤프트를 갖는롤러포함하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 25] 제 24 항에 있어서,상기 지지 핀은 고리형 단면을 갖고 상기 각각의 롤러는 상기 지지 핀의 외경을 보완하도록 오목한겉면갖는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 26] 제 23 항에 있어서,상기 하우징은 제 1 단부에 관통하여 형성된 4개의 창 및 제 2 단부에 관통하여 형성된 4개의 창을 포함하고, 상기 각각의 창 내부에는 상기 베어링 부재 중 하나가 적어도 일부 배치되며, 상기 베어링 부재는 관통하여 형성된 중심 보어, 윤곽 겉면, 및 적어도 일부가 상기 중심 보어를 관통하여 배치된 샤프트를 갖는롤러포함하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 27] 제 21 항에 있어서,상기 베어링 부재 중 적어도 하나는 큰 구면 부재 및 상기 큰 구면 부재 둘레에 배열된 4개의 작은 구면 부재를 포함하는 볼어셈블리포함하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 28] 제 27 항에 있어서,구면 부재 및 상기 4개의 작은 구면 부재는 상기 하우징에 형성된 볼시트내배치되는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 29] 제 21 항에 있어서,상기 하우징 둘레에 배치된중공슬리브더포함하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 30] 제 29 항에 있어서,상기 중공 슬리브는 상기 하우징에상기베어링부재들고정하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 31] 제 30 항에 있어서,상기 하우징의 제 1 단부 둘레에 배치된 소켓을 더 포함하며, 상기 소켓은상기중공슬리브의제1단부접경하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 32] 제 21 항에 있어서,상기 하우징은 제 1 단부에 관통하여 형성된 4개의 볼 시트 및 제 2 단부에 관통하여 형성된 4개의 볼 시트를 포함하고, 상기 각각의 볼 시트 내부에는 상기 베어링 부재 중 하나가 적어도 일부 배치되며, 상기 베어링 부재는 큰 구면 부재 및 상기 구면 부재 둘레에 배열된 4개의 작은 구면 부재를 포함하는 볼어셈블리포함하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 34] 제 33 항에 있어서,상기 베어링 부재 중 적어도 하나는 큰 구면 부재 및 상기 큰 구면 부재 둘레에 배열된 4개의 작은 구면 부재를 포함하는 볼어셈블리포함하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 35] 제 34 항에 있어서,구면 부재 및 상기 4개의 작은 구면 부재는 상기 하우징에 형성된시트내배치되는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 36] 제 33 항에 있어서,상기 하우징 둘레에 배치된중공슬리브더포함하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 37] 제 36 항에 있어서,상기 중공 슬리브는 상기 하우징에상기베어링부재들고정하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 38] 제 33 항에 있어서,상기 하우징의 제 1 단부 둘레에 배치된 소켓을 더 포함하며, 상기 소켓은상기중공슬리브의제1단부접경하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 39] 제 33 항에 있어서,상기 하우징은 제 1 단부에 관통하여 형성된 4개의 볼 시트 및 제 2 단부에 관통하여 형성된 4개의 볼 시트를 포함하고, 상기 각각의 볼 시트 내부에는 상기 베어링 부재 중 하나가 적어도 일부 배치되며, 상기 베어링 부재는 큰 구면 부재 및 상기 구면 부재 둘레에 배열된 4개의 작은 구면 부재를 포함하는 볼어셈블리포함하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 53] 제 52 항에 있어서,구면 부재 및 상기 4개의 작은 구면 부재는 상기 하우징에 형성된시트내배치되는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 54] 제 52 항에 있어서,상기 하우징 둘레에 배치된중공슬리브더포함하는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 55] 제 52 항에 있어서,적어도 일부가 상기 보어 내에 배치된지지핀더포함하는것을특징으로 하는기판 지지 부재. [청구항 56] 제 52 항에 있어서,상기 하우징은 제 1 단부에 관통하여 형성된 4개의 볼 시트 및 제 2 단부에 관통하여 형성된 4개의 볼 시트를 포함하고, 상기 각각의 볼 시트 내부에는 상기 베어링 부재 중 하나가적어도일부배치되는것을특징으로 하는기판 지지 부재.