투영광학계, 노광장치 및 디바이스의 제조방법 document_id 1020040069888

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 제 1반사면nan이오목면형상지닌것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 제 4반사면nan이오목면형상지닌것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 제 4반사면으로부터 제 5반사면까지의 광로를 따라중간상형성하는것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 5] 제 1항에 있어서,상기 6개의 반사면중의 하나에 대한 최대입사각을 θmax, 상기 6개의 반사면중의 하나에 대한 입사각분포폭을 δθ라 하고, 상기 6개의 반사면중의 하나가 광입사각의 가장 최대치를 지닐때만족하는것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 6] 제 5항에 있어서,를 만족하는 상기 것특징으로 하는투영광학계. [청구항 7] 제 1항에 있어서,상기 물체면상의 원호형상의 조명영역으로부터의 광이 입사할 때의 광입사영역과, 상기 물체면상의 원호형상의 조명영역의 현의 중심점과 광축을 포함하는 평면사이에 형성되는 교선상의 각 점에서의 최대입사각이 해당 교선상의 lmin + 0.3×(lmax - lmin)과 lmax사이의 영역에서 극대를 지니고(여기서, lmin은 광축에서부터 교선상의 각 점까지의 거리의 최소치이고, lmax는 광축에서부터 교선상의 각 점까지의 거리의 최대치임), 상기 광입사영역은, 상기 6개의 반사면중 광입사각의 가장 최대치를 지니는반사면위치하는것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 8] 제 1항에 있어서,상기 6개의 반사면중 광입사각의 가장 최대치를 지니는 반사면은, 볼록면 형상을 지녀, 수렴광을 수광하고,발산광반사하는것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 9] 제 1항에 있어서,상기 물체면상의 원호형상의 조명영역의 중심과 광축을 포함하는 평면과 상기 조명영역사이에 형성되는 교선의 중심으로부터 사출된 광이 입사할 때,상기제4반사면상의광입사영역과광축사이의최대거리와최소거리간의차이상인것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 10] 제 1항에 있어서,상기 6개의 반사면의 각각에 대해서, 상기 6개의 반사면의 각각의 곡률 중심으로서 정의되는 중심 및 상기 6개의 반사면의 각각의 곡률 반경으로서 정의되는 반경을 지니는 대략 구면과 광축과의 교점중, 해당 6개의 반사면의 각각에 대한 광의 반사점에 가장 근접한 교점을 면 정점으로 정의하고, 상기 6개의 반사면의 면 정점은, 물체면으로부터 상면까지 광축을 따라 순차로, 제 4반사면, 제 2반사면, 제 3반사면, 제 1반사면,제6반사면및제5반사면의순배치되어있는것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 11] 제 1항에 있어서,상기 6개의 반사면의 각각에 대해서, 상기 6개의 반사면의 각각의 곡률 중심으로서 정의되는 중심 및 상기 6개의 반사면의 각각의 곡률 반경으로서 정의되는 반경을 지니는 대략 구면과 광축과의 교점중, 해당 6개의 반사면의 각각에 대한 광의 반사점에 가장 근접한 교점을 면 정점으로 정의하고, 상기 6개의 반사면의 면 정점중 상기 물체면에 가장 근접한 반사면의 면 정점과 상기 물체면과의거리이상인것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 12] 제 1항에 있어서,상기 6개의 반사면의 각각에 대해서, 상기 6개의 반사면의 각각의 곡률 중심으로서 정의되는 중심 및 상기 6개의 반사면의 각각의 곡률 반경으로서 정의되는 반경을 지니는 대략 구면과 광축과의 교점중, 해당 6개의 반사면의 각각에 대한 광의 반사점에 가장 근접한 교점을 면 정점으로 정의하고, 상기 제 2반사면의 면 정점과 제 4반사면의 면 정점사이의 간격을 l24, 상기 물체면과 상면사이의 상기 광축을 따른 거리를 la11이라 할때만족하는것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 13] 제 1항에 있어서,상기 6개의 반사면의 각각에 대해서, 상기 6개의 반사면의 각각의 곡률 중심으로서 정의되는 중심 및 상기 6개의 반사면의 각각의 곡률 반경으로서 정의되는 반경을 지니는 대략 구면과 광축과의 교점중, 해당 6개의 반사면의 각각에 대한 광의 반사점에 가장 근접한 교점을 면 정점으로 정의하고, 상기 제 6반사면의 면 정점과 해당 제 6반사면에 가장 가까운 반사면의 면 정점사이의 간격을 l6, 상기 물체면과 상면사이의 상기 광축을 따른 거리를 la11이라 할때만족하는것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 14] 제 1항에 있어서,상기 제 2반사면의 곡률 반경의 절대nan치이하인것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 15] 제 1항에 있어서,상기 물체면위의 패턴의 중간상은, 상기 6개의 반사면중 상기 광의 광로를 따라 인접하는 2개의 반사면사이에 형성되어 있고, 상기 인접하는 2개의 반사면의 각각으로부터 lim ×0.35이상(여기서, lim은 상기 인접하는 2개의 반사면간의 광로길이임) 떨어져있는것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 16] 제 1항에 있어서,상기 개구조리개는, 상기 제 1반사면과 상기 제 2반사면사이에 형성되어 있고, 해당 제 1반사면과 제 2반사면의 각각으로부터 lst/10이상(여기서, lst는 상기 제 1반사면과 제 2반사면사이의 광로길이임) 떨어져있는것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 17] 제 1항에 있어서,상기 개구조리개는,상기제1반사면과제2반사면간의광로상배치되어있는것을특징으로 하는투영광학계. [청구항 18] 제 1항에 있어서,상기 6개의 반사면은,상기물체면과상면사이배치되는것을특징으로 하는투영광학계.