문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 높이조정구조체는 프로그램가능한 패터닝 수단 내의 비평탄도를 검출하는 레벨센서 및 상기 패터닝 어레이에 적용된 조정값을 제어하는피드백 루프포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 높이조정구조체는압전요소들의어레이포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 높이조정구조체는 상기 패터닝 어레이에 대한 베어링 및 장착부재 내의 나사산 구멍들을 통과하는스크루또는볼트들의어레이포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,공통의 견고한 장착 몸체 상에 제공된 복수의 패터닝 어레이 및 각각의 높이조정구조체들을 포함하고, 이에 의해 상기 높이조정구조체들이 다양한패터닝어레이들을상호레벨수있는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,몸체는, 상기 패터닝 어레이들의 글로벌 틸트를 보정할 수 있는 고착 또는 활성 마운트를 통해장착플레이트장착되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,장착 몸체는, 상기 패터닝 어레이가 상기 장착 몸체의 열적 팽창 또는 수축의 경우에 왜곡되지 않도록, 그 중립선을 따라장착되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 9]
제6항에 있어서,상기 기판의 상기 제2표면은 직접 결정 본딩("ansprengen")에 의해 상기 견고한 장착 몸체의 상기 평탄한 표면에 본딩되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 31]
제30항에 있어서,상기 수차는전체초점편향인것을특징으로 하는무마스크 리소그래피 시스템.
[청구항 32]
제30항에 있어서,상기 조정장치는 한세트의조정장치인것을특징으로 하는무마스크 리소그래피 시스템.
[청구항 33]
제32항에 있어서,세트의 조정장치는 그각각의패터닝어레이틸팅시키는것을특징으로 하는무마스크 리소그래피 시스템.
[청구항 34]
제32항에 있어서,세트의 조정장치는 그각각의패터닝어레이벤딩시키는것을특징으로 하는무마스크 리소그래피 시스템.
[청구항 35]
제32항에 있어서,세트의 조정장치는 그각각의패터닝어레이의엘리베이션변화시키는것을특징으로 하는무마스크 리소그래피 시스템.
[청구항 36]
제32항에 있어서,상기 조정장치들을 제어하도록 구성된제어기더포함하는것을특징으로 하는무마스크 리소그래피 시스템.
[청구항 37]
제36항에 있어서,상기 조정장치는피스톤인것을특징으로 하는무마스크 리소그래피 시스템.
[청구항 38]
제32항에 있어서,상기 조정장치는스크루인것을특징으로 하는무마스크 리소그래피 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
리소그래피 장치에서 높이조정구조체가 프로그램가능한 패터닝 수단의 비평탄도를 검출하고 조정값을 제어하기 위해 포함하는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation리소그래피 장치의 높이조정구조체가 비평탄도 검출 및 조정값 제어를 위해 포함하는 구성 요소를 찾는 과업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 높이조정구조체의 구성 요소와 그 기능(비평탄도 검출, 조정값 제어)을 설명하는 문구를 추출한다.
- 상기 높이조정구조체는 프로그램가능한 패터닝 수단 내의 비평탄도를 검출하는 레벨센서 및 상기 패터닝 어레이에 적용된 조정값을 제어하는 피드백 루프 포함하는 것을 특징으로 하는 리소그래피 장치
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '비평탄도 검출'과 '조정값 제어' 기능에 직접 대응하는 '레벨센서'와 '피드백 루프'를 근거로 선택한다.
- 비평탄도를 검출하는 레벨센서 및 상기 패터닝 어레이에 적용된 조정값을 제어하는 피드백 루프
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4논리 통합
logical_integration비평탄도를 검출하는 구성은 레벨센서이며, 조정값을 제어하는 구성은 피드백 루프임을 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation높이조정구조체는 레벨센서와 피드백 루프를 포함한다는 결론을 도출한다.
- 레벨센서 및 상기 패터닝 어레이에 적용된 조정값을 제어하는 피드백 루프
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소인 '레벨센서 및 피드백 루프'를 최종 답변으로 작성한다.
- 레벨센서 및 피드백 루프
최종 답변 (final_answer)
레벨센서 및 피드백 루프
핵심 해석 (core_interpretation)
리소그래피 장치의 높이조정구조체가 패터닝 수단의 비평탄도를 정밀하게 관리하기 위해 레벨센서로 상태를 검출하고 피드백 루프를 통해 조정값을 제어하는 메커니즘을 기술하고 있다.