플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치 document_id 1020040079077

[청구항 1] 내부가 비어있고, 후방측에 소정 크기의 개구부(101)가 형성된 제1 하우징(100)과 내부가 비어있고, 전방측에 소정 크기의 개구부(201)가 형성되며, 상기 제1 하우징(100)과 일정 거리 이격되어 배치된 제2 하우징(200)과 일단이 상기 제1 하우징(100)의 개구부(101)와 연통 가능하게 결합되고, 타단이 상기 제2 하우징(200)의 개구부(201)와 연통 가능하게 결합되는 튜브(300)와 상기 튜브(300)의 외주면에 다수회 권취되는 도전성 재질의 와이어(400)와 상기 제1 하우징(100)의 내부에 회전 가능하게 설치되어 합성수지 재질의 소재 필름(550)이 권취된 필름 공급롤러(500)와 상기 제1 하우징(100)의 내부에 상기 필름 공급롤러(500)로부터 일정 간격 이격되어 회전 가능하게 설치되는 필름 권취롤러(600)와 상기 제2 하우징(200)의 내부에 회전 가능하게 설치되어 필름 공급롤러(500)에서 공급되는 필름(550)을 상기 필름 권취롤러(600)로 안내하는 안내롤러(700)와 상기 필름 공급롤러(500)와 상기 필름 권취롤러(600)를 회전 구동시키는 구동모터(800)와 상기 제1, 제2 하우징(100)(200) 및 상기 튜브(300)내의 공간을 진공 상태로 유지되도록 하는 진공펌프(900)를 포함하며, 상기 제1, 제2 하우징(100)(200) 및 상기 튜브(300)내에 반응가스가 주입되 며, 상기 와이어(400)에 소정의 전력을 인가하여 튜브(300)내에서 상기 반응가스와 반응하는 플라즈마 생성시켜 상기 튜브(300)의 영역을 통과하는 필름(550)의 외면에 플라즈마 처리를 하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 필름 공급롤러(500)와 상기 필름 권취롤러(600) 사이에 해당되는 제1 하우징(100)의 내부 공간 및 상기 안내롤러(700)으로부터 일정 간격 이격된 상기 제2 하우징(200)의 내부 공간에는 각각 상기 필름(550)을 다수회 지그재그로 이동하여 안내할 수 있도록 보조 안내롤러(710)가 회전 가능하게설치된것을특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치. [청구항 3] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 튜브(300)는석영재질인것을특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기제1, 제2 하우징(100)(200) 및 상기 튜브(300)내의공간의진공압력인것을특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 튜브(300)의 외면에는 상기 와이어(400)가 권취 상태로 안착될 수 있도록 와이어 안착홈(441)을 갖는와이어안착부재더설치된것을특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 필름 공급롤러(500)와 필름 권취롤러(600)는 상기 제1 하우징(100)내에 착탈수단(110)을 매개로 하여 착탈 가능하게 설치되며, 상기 착탈수단(110)은, 상기 제1 하우징(100)의 내부 공간을 분리하여 상기 롤러(500)(600)를 내장하는 롤러 내장공간부(s1)와 작업 공간부(s2)로 분리하는 지지벽(111)과; 상기 제1 하우징(100)의 전면부에 형성된 개방부(112)를 개폐하는 도어(113)와; 상기 롤러(500)(600)의 일단부에 형성되어 상기 구동모터(800)의 모터축(810)에 착탈 가능하게 록킹 결합되는 회전축(501)(601)과, 타단부에 형성된 키홈(502)(602)과; 상기 롤러(500)(600)의 축방향으로 각각 대응하여 지지벽(111)을 관통하여 이동 가능하게 설치되며, 상기 키홈(502)(602)에 대응하는 단부에 이와 착탈 가능하게 결합되는 키부(121)(131)가 회전 가능하게 설치된 한쌍의 이동부재(120)(130)와; 일단부가 상기 지지벽(111)내에 베어링(111a)을 매개로 고정 설치되고, 상기 이동부재(120)(130)를 관통하여 스크류 결합되며, 타단부에 손잡이부(141)(151)를 구비하여 상기 이동부재(120)(130)를 전후진 이동시킴으로써 상기 키부(121)(131)이 상기 키홈(502)(602)에 착탈 가능하게 록킹 결합되도록 하는 이동스크류부재이루어진것을특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 도어(113)에는 제1 하우징(100)의 내부를 관찰할 수 있는 관찰창(113a)이 구비되며,상기 제1 하우징(100)의 내부에는조명램프구비된것을특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 필름(550)의재질폴리이미드인것을특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치. [청구항 9] 제 4 항에 있어서,상기 와이어(400)는 내부가 비어있는 관형상으로 이루어지며, 이 내부에냉각수공급되는것을특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 와이어(400)는구리재질인것을특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기 필름(550)을 상기 플라즈마에 10초~600초이내노출되도록한것을특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,상기 와이어(400)에 공급되는 전력을 100w~2000w가 되도록 한 것특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치. [청구항 13] 제 1 항에 있어서,상기 구동모터(800)에토크센서설치된것을특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치. [청구항 14] 제 1 항에 있어서,상기제1, 제2 하우징(100)(200) 및 튜브(300)내의온도유지되도록한것을특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치. [청구항 15] 제 1 항에 있어서,상기 반응가스는 질소, 산소와 아르곤,대기중의공기중하나인것을특징으로 하는플렉시블 프린트 기판용 필름 처리장치.