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상변환 메모리 소자 및 그 형성 방법 document_id 1020040083690

출원번호
1020040083690
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 층간절연막을 관통하여 상기 하부전극 패턴과 상기 반도체 기판을 전기적으로 연결시키는 하부전극 콘택을 더 구비하되,상기 상변환 패턴은상기하부전극콘택않는것을특징으로 하는상변환 메모리 소자. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 하부전극 패턴nan은상기하부전극콘택직접접하는것을특징으로 하는상변환 메모리 소자. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 하부전극 콘택은 상기 층간절연막을 관통하는도전성플러그로이루어지는것을특징으로 하는상변환 메모리 소자. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,상기 하부전극 콘택은 상기 층간절연막을 관통하는 컵 모양의 도전막 패턴으로 이루어지며, 상기 층간절연막은 상기 컵 모양의 하부전극 콘택의 바깥 부분과 접하는 외부 층간절연막과 상기 컵 모양의 하부전극 콘택의 안쪽 부분과 접하는 내부 층간절연막을 구비하며, 상기 상변환 패턴은상기내부층간절연막과접하는것을특징으로 하는상변환 메모리 소자. [청구항 6] 제 3 항에 있어서,상기 하부전극 콘택은 하부 도전성 플러그와 상기 하부 도전성 플러그 상에 위치하는 컵 모양의 상부 도전막 패턴으로 이루어지며,상기 층간절연막은 상기 하부도전성 플러그의 측벽과 접하는 하부 층간절연막, 상기 컵 모양의 상부 도전막 패턴의 바깥부분과 접하는 외부 층간절연막, 및 상기 컵 모양의 상부 도전막 패턴의 안쪽 부분과 접하는 내부 층간절연막을 구비하며, 상기 상변환 패턴은상기내부층간절연막과접하는것을특징으로 하는상변환 메모리 소자. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 하부전극 패턴은 티타늄, 티타늄질화막, 티타늄알루미늄질화막, 탄탈륨, 탄탈륨질화막 및 티타늄텅스텐막을 구비하는 그룹에서 선택되는적어도하나막으로이루어지는것을특징으로 하는상변환 메모리 소자. [청구항 12] 제 9 항에 있어서,상기 제 2 개구부의 측벽에서 상기 절연막 패턴과 상기 상변환 패턴 사이에 개재되는스페이서더구비하는것을특징으로 하는상변환 메모리 소자. [청구항 32] 제 10 항에 있어서,상기 절연막 패턴과 상기 상변환 패턴 사이에 개재되는스페이서더구비하는것을특징으로 하는상변환 메모리 소자. [청구항 33] 제 11 항에 있어서,상기 절연막 패턴과 상기 상변환 패턴 사이에 개재되는스페이서더구비하는것을특징으로 하는상변환 메모리 소자.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
컵 모양의 도전막 패턴으로 이루어진 하부전극 콘택을 구비하는 상변환 메모리 소자에서, 상기 상변환 패턴이 접하는 층간절연막의 구성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    컵 모양의 도전막 패턴을 가진 하부전극 콘택이 포함된 소자에서, 상변환 패턴이 접하는 층간절연막의 구성을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 5에서 컵 모양의 하부전극 콘택과 층간절연막의 관계, 그리고 상변환 패턴이 접하는 층간절연막에 대한 정보를 추출한다.

    • 상기 하부전극 콘택은 상기 층간절연막을 관통하는 컵 모양의 도전막 패턴으로 이루어지며, 상기 층간절연막은 상기 컵 모양의 하부전극 콘택의 바깥 부분과 접하는 외부 층간절연막과 상기 컵 모양의 하부전극 콘택의 안쪽 부분과 접하는 내부 층간절연막을 구비하며, 상기 상변환 패턴은상기내부층간절연막과접하는것을특징으로 하는
  3. 3근거 선택evidence_selection

    상변환 패턴이 접하는 층간절연막의 명칭과 구성을 명시한 구절을 선택한다.

    • 상기 상변환 패턴은상기내부층간절연막과접하는것을특징으로 하는
  4. 4논리 통합logical_integration

    층간절연막은 외부 층간절연막과 내부 층간절연막으로 구성되며, 그중 상변환 패턴은 내부 층간절연막과 접한다는 논리적 연결을 수행한다.

    • 상기 층간절연막은 상기 컵 모양의 하부전극 콘택의 바깥 부분과 접하는 외부 층간절연막과 상기 컵 모양의 하부전극 콘택의 안쪽 부분과 접하는 내부 층간절연막을 구비하며, 상기 상변환 패턴은상기내부층간절연막과접하는
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    상변환 패턴이 접하는 층간절연막은 내부 층간절연막임을 도출한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 상변환 패턴이 접하는 층간절연막은 내부 층간절연막이라고 답변을 생성한다.

최종 답변 (final_answer)
상변환 패턴이 접하는 층간절연막은 내부 층간절연막이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
컵 모양의 하부전극 콘택을 갖는 상변환 메모리 소자에서, 층간절연막을 외부 층간절연막과 내부 층간절연막으로 구분하고 상변환 패턴이 내부 층간절연막과 접하도록 구성하는 기술적 특징을 나타낸다.