표시소자의 제조장치 document_id 1020040086470

[청구항 1] 진공챔버와; 상기 진공챔버의 내부에 위치하며, 상면에 기판이 안치되는 서셉터와 상기 서셉터의 상부에 위치하며, 분사구와 가스확산부를 가지는 가스인젝터와 상기 가스 인젝터에 연결되어 상기 가스인젝터를 지지하고, 상기 가스확산부와 연결되는 확장부와 상기 확장부와 연결되는 가스유로를 가지는 축과 상기 확장부 내에 위치하고, 원료물질을 기화시키고 기화된 상기 원료물질을 상기 가스인젝터에 공급하는 증발기와 상기 확장부 내에 위치하고, 캐리어 가스를 예열하기 위한 히터 를 포함하는 표시소자의 제조장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 축은회전축인것을특징으로 하는표시소자의 제조장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 가스유로를 통하여 상기 캐리어가스를 공급하고, 상기 캐리어가스와 상기 원료물질을 상기 가스인젝터분사하는것을특징으로 하는표시소자의 제조장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 확장부는 상기 가스유로보다 큰직경가지는것을특징으로 하는표시소자의 제조장치. [청구항 5] 제1항 내지는 제4항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서,상기 가스인젝터는 하면에다수의상기분사구가지는것을특징으로 하는표시소자의 제조장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 가스인젝터는 중심부에 상기 가스유로가 연결되고 외곽으로 확장되며, 그의 하부에 상기 분사구가 설치되는2개이상의분기관가진것을특징으로 하는표시소자의 제조장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 가스인젝터의 상기 분사구는 중심부에서 외곽으로갈수록밀도지는것을특징으로 하는표시소자의 제조장치. [청구항 8] 제1항 내지 제4항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서,상기 확장부 내에서 상기 증발기 상에상기히터설치되는것을특징으로 하는표시소자의 제조장치. [청구항 9] 제2항에 있어서,상기 축의 내부에는 일단이 상기 증발기에 연결되는제1전력 공급선설치되는것을특징으로 하는표시소자의 제조장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 제1 전력공급선의 타단은 캐리어가스 공급관을 둘러싸는 슬립 링(slip ring)에 연결되고, 상기 슬립 링에는 타단이 외부 전원과 이어지는 제2 전력공급선의 일단연결되는표시소자의 제조장치. [청구항 11] 진공챔버와; 상기 진공챔버의 내부에 위치하며, 상면에 기판이 안치되는 서셉터와 상기 서셉터의 상부에 위치하며, 분사구, 가스확산부 및 중앙부에 주변부보다 상부로 돌출된 수용부를 가지는 가스인젝터와 상기 가스 인젝터에 연결되어 상기 가스인젝터를 지지하고, 상기 수용부와 연결되는 가스유로를 가지는 축과 상기 수용부 내에 위치하고, 원료물질을 기화시키고 기화된 상기 원료물질을 상기 가스인젝터에 공급하는 증발기와 상기 수용부 내에 위치하고, 캐리어 가스를 예열하기 위한 히터 를 포함하는 표시소자의 제조장치 [청구항 12] 진공챔버와; 상기 진공챔버의 내부에 위치하며, 상면에 기판이 안치되는 서셉터와 상기 서셉터의 상부에 위치하고, 분사구 및 가스확산부를 가지는 가스인젝터와 상기 가스 인젝터와 연결되어 상기 가스인젝터와 함께 회전하고 상기 가스확산부와 연결되는 가스유로를 가지는 회전축과 상기 가스유로를 통하여 상기 가스확산부에 원료물질을 공급하는 원료공급부와 상기 가스확산부의 내부에 설치되고, 상기 원료물질을 기화시키는 기화 플레이트 를 포함하는 표시소자의 제조장치 [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 원료공급부는 분말원료 저장탱크와;상기 분말원료 저장탱크의 하부 측면에 연결되는 원료공급관과; 상기 원료공급관으로 정량의 분말원료를 투입하는 정량공급 스크류와; 상기 정량공급 스크류를 구동시키는 스크류 회전장치포함하는표시소자의 제조장치. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 가스유로를 통하여 캐리어가스를 공급하여, 기화된 상기 원료물질과 상기 캐리어가스를 상기 가스인젝터분사하는것을특징으로 하는표시소자의 제조장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 회전축은 하우징에 의해 둘러싸이며, 상기 하우징의 내벽과 상기 회전축의 외벽 사이에는 마그네틱 시일형성되는표시소자의 제조장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 하우징의 측벽에는 퍼지가스 유입관이연결되는표시소자의 제조장치. [청구항 17] 제15항에 있어서,상기 하우징의 측벽에는 마그네틱 시일을 냉각시키기 위한 냉각수단연결되는표시소자의 제조장치. [청구항 18] 제12항 내지 제15항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서,상기 가스인젝터는 히터내장하는표시소자의 제조장치. [청구항 19] 제12항에 있어서,상기 기화플레이트는 상기 가스인젝터 내부를 수평으로 분할하며, 히터를 내장하고, 가스가 하부로 유동할 수 있는가스유동홀형성되어있는것을특징으로 하는표시소자의 제조장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 가스인젝터 내부에 상기 기화플레이트가2개이상적층되어있는것을특징으로 하는표시소자의 제조장치.