스토리지 전극과 접촉하기 위한 버퍼패드를 갖는 반도체소자 및 그 제조방법 document_id 1020040099052

[청구항 1] 소자분리층에 의해 정의되고 제1 방향에 대하여 사선방향으로 연장된 활성영역 상기 제1 방향에 따라 연장되며, 상기 활성영역의 양단부에 형성된 스토리지 콘택을 포함하는 제1 라인 상기 제1 라인의 양측에 위치하며 상기 스토리지 콘택 상에 버퍼패드가 형성된 제2 라인을 포함하는 스토리지 전극과 접촉하기 위한 버퍼패드를 가진 반도체 소자 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 제1 라인과 상기 제2 라인은 쌍을 이루어 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연속적으로 반복하여 배치되는 것을 특징으로 하는 스토리지 전극과 접촉하기 위한 버퍼패드가진반도체 소자. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 제1 라인과 상기 제2 라인의 스토리지 콘택은 상기 제1 방향을 따라 지그재그 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 스토리지 전극과 접촉하기 위한 버퍼패드가진반도체 소자. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 제1 라인과 상기 제2 라인의 스토리지 콘택패드는 상기 제2 방향을 따라 일직선 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 스토리지 전극과 접촉하기 위한 버퍼패드가진반도체 소자. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 제1 라인의 스토리지 전극은 상기 스토리지 콘택 상에 놓이는 것을 특징으로 하는 스토리지 전극과 접촉하기 위한 버퍼패드가진반도체 소자. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 제2 라인의 스토리지 전극은 상기 버퍼패드의 중심부에 놓이는 것을 특징으로 하는 스토리지 전극과 접촉하기 위한 버퍼패드가진반도체 소자. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 제2 라인의 스토리지 콘택은 상호 반대되는 쪽의 상기 버퍼패드의 단부와 연결되는 것을 특징으로 하는 스토리지 전극과 접촉하기 위한 버퍼패드가진반도체 소자. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 제1 라인의 스토리지 전극의 높이와 상기 제2 라인의 스토리지 전극의 높이는 상기 버퍼패드의 두께만큼 차이를 갖는 것을 특징으로 하는 스토리지 전극과 접촉하기 위한 버퍼패드가진반도체 소자. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 버퍼패드가 형성된 스토리지 콘택 상에 형성되는 상기 스토리지 전극은 상호 반대되는 쪽의 버퍼패드의 단부와 연결되는 것을 특징으로 하는 스토리지 전극과 접촉하기 위한 버퍼패드가진반도체 소자.