문맥 (context)
[청구항 1]
반도체 소자 제조 시 선택적 플라즈마 인가장치로서,
챔버내 플라즈마 공정 수행을 위한 웨이퍼를 안착시키는 하단 서셉터와,
상기 챔버내 하단 서셉터 상부에 일정 간격을 두고 위치되며, 상기 하단 서셉터에 안착된 웨이퍼 상부의 임의의 위치로 이동되어 선택적으로 플라즈마 를 발생시키는 상단 서셉터와,
상기 상단 서셉터를 하단 서셉터에 안착된 웨이퍼 상부의 임의의 위치로 이동시키는 조정관과,
상기 상/하단 서셉터로 연결된 전선을 통해 상/하단 서셉터의 동작에 필요한 전원을 공급하는 전원 공급장치
를 포함하는 반도체 제조 시 선택적 플라즈마 인가장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 하단 서셉터는,도전용패드형성되는것을특징으로 하는반도체 제조 시 선택적 플라즈마 인가장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 상단 서셉터는, 중앙부분과 외각부분이 각각 도전용패드와 비도전용패드로 구성되며, 도전용 패드로플라즈마발생시키는것을특징으로 하는반도체 제조 시 선택적 플라즈마 인가장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 조정관은, 상기 쳄버의 일측부에 형성되며, 상단 서셉터의 이동에 영향을 주지 않도록 플랙서블 연결봉으로상단서셉터연결되는것을특징으로 하는반도체 제조 시 선택적 플라즈마 인가장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
선택적 플라즈마 인가장치에서 상단 서셉터의 중앙 부분과 외각 부분은 각각 어떠한 패드로 구성되며, 플라즈마는 어느 부분에서 발생하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation상단 서셉터의 중앙 및 외각 부분의 구성 요소와 플라즈마가 발생하는 위치를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 상단 서셉터의 구성과 플라즈마 발생 위치에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 상단 서셉터는, 중앙부분과 외각부분이 각각 도전용패드와 비도전용패드로 구성되며, 도전용 패드로플라즈마발생시키는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 '중앙부분=도전용패드', '외각부분=비도전용패드', '플라즈마 발생=도전용 패드' 구절을 선택한다.
- 중앙부분과 외각부분이 각각 도전용패드와 비도전용패드로 구성되며, 도전용 패드로플라즈마발생시키는것
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여 중앙은 도전용패드, 외각은 비도전용패드이며, 플라즈마는 도전용 패드에서 발생함을 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문의 두 가지 요구사항(구성 및 발생 위치)에 대해 명확한 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상단 서셉터의 중앙 부분은 도전용패드로, 외각 부분은 비도전용패드로 구성되며, 플라즈마는 도전용 패드에서 발생한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
상단 서셉터의 영역을 도전용패드와 비도전용패드로 구분하여, 특정 영역(도전용패드)에서만 선택적으로 플라즈마를 발생시킬 수 있는 구조를 제공한다.