표면세정용 승화성 고체입자 분사용 노즐 및 이를 이용한세정방법 document_id 1020040114260

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 세정매체 공급원으로부터 유입되는 세정매체의 유량을 제어하기 위한 유량조절밸브더 포함하는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 노즐 블록은 상기 세정매체 블록으로부터 유입되는 세정매체 스노우를 단열팽창시켜 성장시키는 벤튜리와; 상기 벤튜리를 감싸도록 형성되고 상기 캐리어가스 블록으로부터 유입되는 캐리어가스의 적어도 일부가 유입되는 성에방지 통로더 가지는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 히터는 캐리어가스 공급원, 캐리어가스 공급원으로부터 상기 캐리어가스 블록으로 캐리어가스가 공급되는 경로 또는 상기 캐리어가스 블록 중 적어도 어느 일측설치되는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,상기 노즐 블록의 성에방지통로에 히터설치되는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 6] 제 3 항에 있어서,상기 캐리어가스 블록으로부터 상기 노즐 블록의 벤튜리 및 성에방지통로각각 공급되는캐리어가스의 비는 9:1 내지 7:3인 표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 세정매체는 co2 또는 ar인표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,캐리어가스는 n2 또는공기인표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 노즐 블록의 각 벤튜리는 직렬로 배열되는 제 1 벤튜리 및 제 2 벤튜리로 이루어진표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 제 1 벤튜리와 제 2 벤튜리 사이에 세정매체 스노우와 캐리어가스의 혼합을 촉진하기 위하여 일정한 내경을 가지는 중간 통로설치되는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 12] 제 9 항에 있어서,상기 캐리어가스 블록이 상기 노즐 블록의 입구측에 설치되고, 상기 세정매체 블록은 상기 노즐 블록의 상측에 설치되며, 상기 세정매체 블록의 오리피스와 소통하는 상기 노즐 블록의 입구는 벤튜리의 드로틀 후단소통하는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 13] 제 9 항에 있어서,상기 캐리어가스 블록이 상기 세정매체 블록을 둘러싸도록 형성되어 상기 노즐 블록의 전방결합되는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 14] 제 9 항에 있어서,상기 노즐 블록은 상기 벤튜리를 감싸도록 형성되고 상기 캐리어가스 블록의 출구와 소통하는 성에방지통로더 가지는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 15] 제 1 항 또는 제 9 항에 있어서,2 분사시 발생되는 온도 변화를 감지하여 상기 co2 공급 유무를 확인하는열전대 센서더구비한것을특징으로 하는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 열전대 센서는세정매체블록또는노즐블록의출구측단부위치되는것을특징으로 하는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,전기적 신호에 따른 개·폐 작용을 통해 co2의 공급을 제어하기 위한솔레노이드밸브더구비하는것을특징으로 하는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 18] 제 1 항에 있어서,상기 세정매체 블록, 노즐 블록 및 캐리어가스 블록을 상호 일체화하여하나의노즐블록구성한것을특징으로 하는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 노즐 블록은, 이의 중앙에 입구로부터 출구에 이르는, 세정매체의 유동을 위한 제1 통로; 상기 제1 통로의 외측으로 노즐 블록의 내주연을 따라 형성되는, 캐리어가스의 유동을 위한 제2 통로; 및 세정매체의 공급을 위해 상기 노즐 블록의 표면에서 제2 통로로 연장되는 세정매체 유입구;를 포함하되, 상기 세정매체 유입구는 세정매체를 승화성 고체입자를 포함하는 스노우 상태로 상변화시키기 위해 상기 제1 통로와의 연결 단부가 오리피스 형태로 이루어지고, 상기 제1 통로는 세정매체를 단열팽창시켜 성장시키기 위해 그 내부가적어도하나이상의벤튜리형태로된것을특징으로 하는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기 노즐 블록은, 이의 입구부에 캐리어가스의 유동을 안내하기 위한 가이드를 구비하되, 이 가이드는 외측으로 상기 제2 통로와 연결되고 그 중앙이 천공되어상기제1통로연통된것을특징으로 하는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,상기 노즐 블록은, 이의 출구측 단부 또는 피세정물의 표면에서 상기 극저온의 세정매체 스노우에 의해 성에가 발생되는 것을 방지하기 위해 상기 제2 통로에히터설치하는것을특징으로 하는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐. [청구항 22] 제 21 항에 있어서,상기 노즐 블록은, 이의 출구측 단부에는 세정매체 공급원으로부터 공급되는 co2의 분사 유무를 확인할 수 있도록열전대 센서구비되는것을특징으로 하는표면세정용 승화성 고체입자 분사노즐.