얇은 웨이퍼 캐리어 document_id 1020047000408

[청구항 2] 제1항에 있어서,복수의 함께 적층된개별선반부재들의각각서로에대해착탈 가능한웨이퍼 캐리어. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 개별 선반 부재들의 각각은 상위면과 에지부갖는선반부를 가지며, 상기 선반부는 본체부로부터 상기 에지부까지 상향으로 비스듬하게 각이진 웨이퍼 캐리어. [청구항 4] 제3항에 있어서,체부의 상기 상위면에 의해 형성된 평면과 상기 선반부의 상위면에 의해 형성된 평면 사이의 각인웨이퍼 캐리어. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 선반부는 적어도 25.4mm(1.0inch)인 깊이 치수갖는웨이퍼 캐리어. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 복수의 선반들은 그들 사이에서 적어도 7.62mm(0.3inch)인 피치 치수형성하는웨이퍼 캐리어. [청구항 7] 제1항에 있어서,각각의 상기 측벽 조립체들은 보강 로드를 추가포함하는웨이퍼 캐리어. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 각각의 선반 부재들은 상위면과 하위면을 갖는 본체부를 가지며, 상기 하위면은 그로부터 돌출한 복수의 못들을 가지며, 상기 상위면은 바로 인접한 개별 선반 부재의 복수의 못들을 수용하도록 형성된 복수의 구멍갖는웨이퍼 캐리어. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 개별 선반 부재들의 각각은 상위면과 에지부갖는선반부를 가지며, 상기 선반부는 본체부로부터 상기 에지부까지 상향으로 비스듬하게 각이진 웨이퍼 캐리어. [청구항 11] 제10항에 있어서,체부의 상기 상위면에 의해 형성된 평면과 상기 선반부의 상위면에 의해 형성된 평면 사이의 각인웨이퍼 캐리어. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 선반부는 적어도 25.4mm(1.0inch)인 깊이 치수갖는웨이퍼 캐리어. [청구항 13] 제8항에 있어서,상기 복수의 선반들은 그들 사이에서 적어도 7.62mm(0.3inch)인 피치 치수형성하는웨이퍼 캐리어. [청구항 14] 제8항에 있어서,각각의 상기 측벽 조립체는 보강 로드를 추가포함하는웨이퍼 캐리어. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 골격 수단은 복수의 측면 지지 부재들에 의해 연결된 한 쌍의 단부 부재포함하는웨이퍼 캐리어. [청구항 17] 제15항에 있어서,상기 각각의 선반 부재는 상위면과 하위면을 갖는 본체부를 갖고, 상기 부착을 위한 수단은 상기 하위면으로부터 돌출된 복수의 못과 바로 인접한 개별 선반 부재의 복수의 못들을 수용하기 위한 상기 상위면에 형성된 복수의 구멍포함하는웨이퍼 캐리어. [청구항 18] 제15항에 있어서,상기 각각의 측벽 조립체는상기골격수단내착탈가능하게부착되는웨이퍼 캐리어. [청구항 19] 제15항에 있어서,상기 복수의 개별 선반 부재들은서로에대해착탈 가능한웨이퍼 캐리어. [청구항 20] 제15항에 있어서,상기 각각의 개별 선반 부재들은 상위면과 에지부갖는선반부를 가지며, 상기 선반부는 본체부로부터 상기 에지부까지 상향으로 비스듬하게 각이진 웨이퍼 캐리어. [청구항 22] 제21항에 있어서,각각의 선반들은 최내측 에지부를 가지며 각각의 상기 최내측 에지를 따라 연장된 상승된립부를갖는웨이퍼 캐리어. [청구항 23] 제21항에 있어서,상기 각각의 개별 선반 부재들은 상위면과 에지부갖는선반부를 가지며, 상기 선반부는 본체부로부터 상기 에지부까지 상향으로 비스듬하게 각이진 웨이퍼 캐리어. [청구항 24] 제21항에 있어서,상기 복수의 선반들은 사이에 적어도 7.62mm(0.3inch)인 피치 치수형성하는웨이퍼 캐리어. [청구항 26] 제25항에 있어서,상기 각각의 개별 선반 부재들은 상위면과 에지부갖는선반부를 가지면, 상기 선반부는 본체부로부터 상기 에지부까지 상향으로 비스듬하게 각이진 웨이퍼 캐리어. [청구항 27] 제21항에 있어서,상기 복수의 선반들은 그들 사이에서 적어도 7.62mm(0.3inch)인 피치 치수형성하는웨이퍼 캐리어.