문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 작동식 프로브 어레이의 각각은 딥 펜 나노리소그래피용구성되는 것인장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,털리버는 전류원 또는 전압원으로부터의 상기 전류 또는 전압에 응답하여 휘어져 상기 팁이동시키는 것인장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 액츄에이터는 열 액츄에이터인 것인장치.
[청구항 5]
제3항에 있어서,상기 액츄에이터는 정전기 액츄에이터인 것인장치.
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기 열 액츄에이터는, 상기 캔털리버에 접속되고, 상기 전류에 응답하여 선택적으로 동작 가능한 저항성 히터(66)와; 상기 저항성 히터를 전류원(48)에 전기적으로 접속시키는 와이어(70)를 더 포함하며, 상기 전류원으로부터 상기 저항성 히터에 전류가 인가되면 상기 캔털리버되는 것인장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 열 액츄에이터는, 상기 캔털리버에 접속되고, 상기 캔털리버의 열 팽창 계수와는 다른 열 팽창 계수를 갖는 금속 패치더 포함하는 것인장치.
[청구항 8]
제5항에 있어서,상기 정전기 액츄에이터는, 상기 팁의 맞은 편인 상기 캔털리버의 또 다른 말단에 형성되는 제1 전극(78)과; 상기 제1 전극과 정전기적으로 상호 작용하는 제2 전극(81)을 더 포함하며, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 중 적어도 하나는 전압원(48)에 연결되고, 상기 전압원으로부터의 상기 전압을 선택적으로 분배하여 상기 제1 전극과 상기 제2 전극의 양단에 차동 전기 전압을 일으켜, 상기 캔털리버의 적어도 일부하는 것인장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,털리버의 도중에 접속되는 토션 지지체(80)를 더 포함하며, 상기 캔털리버는 상기 정전기 액츄에이터의 동작 중에 상기 토션 지지체에 대해 각도편향되는 것인장치.
[청구항 10]
제4항에 있어서,털리버는 저압력 화학 기상 증착법에 의해 성장되는 실리콘 질화물 박막이루어지는 것인장치.
[청구항 11]
제5항에 있어서,털리버는 붕소 또는 인으로 도핑된 실리콘이루어지는 것인장치.
[청구항 12]
제1항에 있어서,상기 어레이는 이차원인 것인장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
열 액츄에이터를 포함하는 장치에서, 저항성 히터에 전류가 인가될 때 캔털리버가 휘어지게 하는 구성 요소와 그 동작 원리는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation열 액츄에이터를 포함하는 장치에서 저항성 히터에 전류가 인가될 때 캔털리버를 휘게 하는 구성 요소와 그 동작 원리를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 열 액츄에이터의 구성 요소인 저항성 히터(66)와 와이어(70), 그리고 전류 인가 시 캔털리버가 휘어진다는 정보를 추출한다.
- 상기 열 액츄에이터는, 상기 캔털리버에 접속되고, 상기 전류에 응답하여 선택적으로 동작 가능한 저항성 히터(66)와; 상기 저항성 히터를 전류원(48)에 전기적으로 접속시키는 와이어(70)를 더 포함하며, 상기 전류원으로부터 상기 저항성 히터에 전류가 인가되면 상기 캔털리버되는 것인장치.
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3근거 선택
evidence_selection캔털리버를 휘게 하는 직접적인 원인인 저항성 히터와 전류 인가에 따른 동작을 명시한 청구항 6의 구절을 선택한다.
- 상기 전류원으로부터 상기 저항성 히터에 전류가 인가되면 상기 캔털리버되는 것인장치
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4논리 통합
logical_integration저항성 히터가 와이어를 통해 전류원과 연결되어 있으며, 히터에 전류가 흐르면 캔털리버가 휘어지는 동작이 발생함을 결합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation구성 요소는 저항성 히터와 이를 연결하는 와이어이며, 동작 원리는 전류원으로부터 저항성 히터에 전류가 인가됨으로써 캔털리버가 휘어지는 것이다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구성 요소와 동작 원리를 명확히 기술하여 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
열 액츄에이터 내에서 캔털리버를 휘게 하는 구성 요소는 캔털리버에 접속된 저항성 히터(66)와 이를 전류원(48)에 전기적으로 접속시키는 와이어(70)이다. 동작 원리는 전류원으로부터 상기 저항성 히터에 전류가 인가되면 캔털리버가 휘어지게 되는 방식이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
저항성 히터와 와이어를 이용한 열 액츄에이터를 통해, 전류 인가 시 캔털리버의 물리적 변형(휘어짐)을 유도하는 기술적 구성을 나타낸다.