문맥 (context)
[청구항 18]
플라즈마를 지지하기 위해 내부영역을 포함하는 플라즈마 챔버와
플라즈마 발생원과;
플라즈마 챔버의 내부영역과 유체적으로 연통하는 진공시스템과
플라즈마 챔버의 내부영역과 유체적으로 연통하는 가스공급시스템과
플라즈마 챔버 주변둘레에 설치되며, 플라즈마 챔버의 축으로부터 방사상으로 연장된 축을 가지는 복수의 코일자석과
각각이 복수의 코일자석 중 관련된 하나와 전기적으로 도통하는 복수의 임의의 파형발생기 및
플라즈마 처리동작 중 코일자석이 플라즈마에 자기장 토포로지를 부과하도록 임의의 파형발생기를 동작시키도록 구성되며, 가스공급시스템, 진공시스템, 냉각시스템 및 복수의 임의의 파형발생기와 전기적으로 도통하는 제어시스템으로 구성된 것을 특징으로 하는 피체리체를 처리하는 플라즈마 처리장치
[청구항 19]
제 18 항에 있어서,상기 플라즈마 발생원은 챔버내에 설치된 하나 이상의 전극조립체와, 각각의 rf전원이 관련 전극조립체에 전기적으로 결합된 하나 이상의 rf전원을 더욱 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 피체리체처리하는플라즈마 처리장치.
[청구항 20]
제 19 항에 있어서,각각의 코일자석은 공심코일(air coil)인 것을 특징으로 하는 피체리체처리하는플라즈마 처리장치.
[청구항 21]
제 19 항에 있어서,각각의 코일자석은 자기투과물질의 코어를 가지는 것을 특징으로 하는 피체리체처리하는플라즈마 처리장치.
[청구항 22]
제 21 항에 있어서,각각의 코일자석과 각각의 코어가 플럭스 도전성 구조체와 자속이 연통하는 상기 코일자석 열의 관련된 주변에 설치된 외부플럭스 도전성 구조체를 더욱 포함하여 구성되는 것을 특징으로 피체리체처리하는플라즈마 처리장치.
[청구항 23]
제 22 항에 있어서,상기 플럭스 도전성 구조체는 고리형의 벽 구조체인 것을 특징으로 하는 피체리체처리하는플라즈마 처리장치.
[청구항 24]
제 23 항에 있어서,상기 고리형의 벽 구조체는 자기투과물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 피체리체처리하는플라즈마 처리장치.
[청구항 25]
제 24 항에 있어서,각각의 코어는 고리형의 벽 구조체에 설치된 것을 특징으로 하는 피체리체처리하는플라즈마 처리장치.
[청구항 26]
제 18 항에 있어서,복수의 임의의 파형발생기각각이 복수의 증폭기들 중의 관련된 하나를 통하여 복수의 코일자석 중 관련된 하나와 전기적으로 결합된 것을 특징으로 하는 피체리체처리하는플라즈마 처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
피체리체를 처리하는 플라즈마 처리장치에서 코일자석이 플라즈마에 자기장 토포로지를 부과하기 위해 제어시스템이 수행하는 동작과, 이때 사용되는 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation코일자석이 플라즈마에 자기장 토포로지를 부과하기 위해 제어시스템이 수행하는 동작과 관련 구성 요소를 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 18에서 제어시스템의 역할과 제어시스템에 포함된 구성 요소, 그리고 코일자석과 관련된 파형발생기의 관계를 확인한다.
- 플라즈마 처리동작 중 코일자석이 플라즈마에 자기장 토포로지를 부과하도록 임의의 파형발생기를 동작시키도록 구성되며, 가스공급시스템, 진공시스템, 냉각시스템 및 복수의 임의의 파형발생기와 전기적으로 도통하는 제어시스템
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3근거 선택
evidence_selection제어시스템의 동작(파형발생기 동작)과 제어시스템을 구성하는 요소들을 명시한 구절을 선택한다.
- 코일자석이 플라즈마에 자기장 토포로지를 부과하도록 임의의 파형발생기를 동작시키도록 구성되며, 가스공급시스템, 진공시스템, 냉각시스템 및 복수의 임의의 파형발생기와 전기적으로 도통하는 제어시스템
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4논리 통합
logical_integration제어시스템은 코일자석이 자기장 토포로지를 부과할 수 있도록 임의의 파형발생기를 동작시키며, 제어시스템은 가스공급시스템, 진공시스템, 냉각시스템, 복수의 임의의 파형발생기와 전기적으로 연결되어 있다.
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5결론 도출
conclusion_formulation제어시스템의 동작은 '임의의 파형발생기를 동작시키는 것'이며, 사용되는 구성 요소는 '가스공급시스템, 진공시스템, 냉각시스템, 복수의 임의의 파형발생기'이다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 동작과 구성 요소를 구분하여 명확하게 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
제어시스템은 코일자석이 플라즈마에 자기장 토포로지를 부과할 수 있도록 임의의 파형발생기를 동작시키는 동작을 수행하며, 이때 사용되는 구성 요소는 가스공급시스템, 진공시스템, 냉각시스템 및 복수의 임의의 파형발생기이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 제어시스템이 파형발생기를 제어함으로써 코일자석을 통해 플라즈마에 특정 자기장 토포로지를 형성할 수 있는 피체리체 처리용 플라즈마 장치에 관한 것이다.