6 - 10ＫＨｚ 이상의 가스 방전 레이저 시스템 document_id 1020047003079

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 방전 레이저 시스템은 krf 엑시머 레이저 시스템이고, 레이저 가스는 크립톤,불소네온으로이루어진것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 방전 레이저 시스템은 arf 엑시머 레이저 시스템이고, 레이저 가스는 아르곤,불소네온으로이루어진것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 방전 레이저 시스템은 f2이고,불소및완충가스로이루어진것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 챔버는 또한 상기 방전 영역 상류의 가스 속도를 정규화하기 위해 상기 방전 영역 상류의 베인구조포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 팬은 2개의 브러시리스 dc 모터에 의해 구동되는샤프트포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 모터는수냉식모터인것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 모터의 각각은 고정자를 포함하고 상기 모터의 각각은 상기 고정자를 상기 레이저 가스로부터 분리시키는 프레셔 컵내에 수용된자기회전자포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 9] 제6항에 있어서,젠셜 팬은 상기 알루미늄 스톡으로부터 머시닝된블레이드구조포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 블레이드 구조는 약5인치의외부직경갖는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 11] 제6항에 있어서,상기 모터는 센서리스 모터이고, 상기 모터 중 하나를 제어하는 마스터 모터 제어기 및 다른 하나의 모터를 제어하는슬레이브모터제어기더포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 12] 제1항에 있어서,열교환기 시스템은수냉식인것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 열교환기 시스템nan은적어도4개의별개의수냉식열교환기포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 14] 제12항에 있어서,열교환기 시스템은 관상 수로를 갖는 적어도 하나의 열교환기를 포함하고, 적어도 하나의 터뷸레이터가상기수로내위치된것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 4개의 열교환기의 각각은 터뷸레이터를 수용하고 있는관상수로포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 16] 제1항에 있어서,상기 펄스 전력 시스템nan은수냉식전기컴포넌트포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 수냉식 컴포넌트 중 적어도 하나는 12,000 볼트 초과의 고전압에서 동작되는컴포넌트인것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 고전압은 냉각수가 흐르는 인덕터를 사용하여그라운드격리된것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 19] 제1항에 있어서,상기 펄스 전력 시스템은 충전 커패시터를 정확하게 제어된 전압으로 충전하는공진충전시스템포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 공진 충전 시스템nan은드큉회로포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 21] 제19항에 있어서,상기 공진 충전 시스템nan은블리드회로포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 22] 제19항에 있어서,상기 공진 충전 시스템nan은드큉회로및블리드회로포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 23] 제1항에 있어서,상기 펄스 전력 시스템은 병렬로 배열된 적어도 3개의 전원으로 이루어진충전시스템포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 24] 제1항에 있어서,상기 레이저 빔 측정 및 제어 시스템은 에탈론 유닛, 포토다이오드 어레이, 프로그래밍가능한 로직 디바이스, 및 상기 에탈론 유닛으로부터 상기 포토다이오드 어레이로 레이저 광을 포커싱하는 광학계를 포함하고, 상기 프로그래밍가능한 로직 디바이스는 에탈론 프린지의 상기 포토다이오드 어레이상의 위치를 결정하기 위하여 상기 포토다이오드 어레이로부터의 데이터를 분석하도록프로그래밍된것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 25] 제24항에 있어서,상기 측정 및 제어 시스템은 또한 상기 프로그래밍가능한 로직 디바이스에 의해 위치된 프린지 데이터로부터 파장 및 대역폭을 계산하도록 프로그래밍된마이크로프로세서포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 26] 제24항에 있어서,상기 프로그래밍가능한 로직 디바이스는 상기 프린지의 측정에 기초하여 파장 및 대역폭을 계산하는알고리즘프로그래밍된것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 27] 제26항에 있어서,상기 프로그래밍가능한 로직 디바이스는 1초의 1/10,000보다 더 빠르게 파장 및 대역폭을 계산하도록구성된것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 28] 제24항에 있어서,상기 에탈론 유닛nan은디프랙티브확산엘리먼트포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 29] 제1항에 있어서,적어도 부분적으로 pzt 드라이브에 의해 구동되는 튜닝 미러를 포함하는라인협대역화유닛더포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 30] 제29항에 있어서,상기 튜닝 미러는 또한 부분적으로 스테퍼 모터에 의해구동되는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 31] 제29항에 있어서,프리튜닝 수단을 더 포함하는 것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 32] 제29항에 있어서,학습 알고리즘을 포함하는액티브튜닝수단더포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 33] 제29항에 있어서,피드 포워드 알고리즘을 더 포함하는 것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 34] 제29항에 있어서,상기 라인 협대역화 유닛은 격자 페이스를 형성하는 격자 및 상기 격자 페이스에 인접하여 퍼지 가스를 밀어넣는퍼지수단포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 35] 제34항에 있어서,상기 퍼지 가스는질소인것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 36] 제34항에 있어서,상기 퍼지 가스는헬륨인것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 37] 제1항에 있어서,질소 필터를 포함하는 질소 퍼지 시스템을 포함하는질소퍼지시스템더포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 38] 제1항에 있어서,질소를 더 포함하고, 플로 모니터를 포함하는 퍼지 모듈을 포함하고, 상기 레이저는 또한 상기 레이저로부터 배출 퍼지 가스를 수송하는퍼지배출 튜브포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 39] 제1항에 있어서,커맨드 신호로 레이저 출력 빔 경로에 위치될 수 있는 전력미터 및 전기적으로 동작되는 셔터를 포함하는셔터유닛더포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 40] 제29항에 있어서,상기 챔버의 제1 윈도우와 라인 협대역화 유닛의 사이에 제1 빔 시일을 제공하고 상기 챔버의 제2 윈도우와 출력 커플러 유닛의 사이에 제2 빔 시일을 제공하는 빔 시일 시스템을 더 포함하고, 상기 빔 시일의 각각은금속벨로포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 41] 제40항에 있어서,상기제1 및 제2 빔 시일의 각각은 상기 레이저 챔버를 용이하게 대체할 수구성된것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 42] 제40항에 있어서,상기 빔 시일의 각각은 엘라스토머를 포함하고 있지 않고, 상기 챔버로부터의 진동 격리를 제공하고, 대기 가스로부터의 빔 트레인 격리를 제공하고, 상기 출력 커플러 유닛 또는 상기 lnp의 방해없이 상기 레이저 챔버의 자유로운대체허용하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 43] 제1항에 있어서,상기 측정 및 제어 시스템은 상기 레이저로부터 작은 퍼센트의 출력 펄스를 스플리팅오프하는 1차 빔 스플리터, 상기 작은 퍼센트의 일부를 상기 펄스 에너지 검출기로 디렉팅하는 2차 빔 스플리터, 및 격리된 영역을 형성하기 위하여 상기 측정 및 제어 시스템의 다른 일부로부터 볼륨 바운딩된 상기 1차 빔 스플리터, 상기 2차 빔 스플리터, 및 상기 펄스 에너지 검출기의 윈도우를 격리시키는수단포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 44] 제43항에 있어서,상기 격리된 영역을 퍼지 가스로 퍼징하는퍼지수단더포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 45] 제44항에 있어서,상기 레이저는 출력 커플러 유닛 및 출력 윈도우 유닛을 더 포함하고, 상기 퍼지 수단은 상기 격리된 영역으로부터의 배출이 또한 상기 출력 커플러 유닛 및 상기 출력 윈도우 유닛을 퍼구성된것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 46] 제1항에 있어서,상기 챔버는 또한 레이저 가스 플로의 방향으로 긴 방향을 갖는 일반적으로 직사각형 횡단면을 갖는 리브를 갖는전류리턴포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 47] 제1항에 있어서,상기 챔버는 애노드, 및 2개의 전극 사이의 영역에서 레이저 가스 플로를 향상시키기 위해 상기 애노드의 2개의 측면에 위치결정된유전체스페이서포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 48] 제1항에 있어서,상기 펄스 전력 시스템은 증가된 인덕턴스를 제공하도록 선택된 길이를 갖는 금속 로드에 의하여 상기 전극 중 하나 및 피킹 커패시터 뱅크의 커패시터에 전기적으로 접속된코로나플레이트포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 49] 제1항에 있어서,상기 방전 영역은 평균 폭을 형성하고, 상기 전극은 상기 평균 폭을 2mm 미만으로 제한하도록구성된것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 50] 제49항에 있어서,상기 전극의 각각은 방전 표면을 형성하고, 상기 전극 중 적어도 하나는 복수의 방전 홀을 갖는 절연체 물질로 덮힌 방전 표면을 갖는도체로이루어진것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 51] 제50항에 있어서,상기 홀은 50 내지 200 미크론 범위의 직경을 갖는대략원형인것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 52] 제51항에 있어서,상기 직경nan은100미크론인것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 53] 제50항에 있어서,2개의 전극은 복수의 방전 홀을 갖는 절연체 물질로 그방전표면덮힌것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 54] 제50항에 있어서,상기 절연체 물질은알루미나인것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 55] 제1항에 있어서,상기 열교환기 시스템은 각각의 튜브에서 다른 하나의 튜브에 대하여 반대 방향으로의 듀얼 패스 냉각수 플로 방향을 갖는적어도하나의핀수냉식열교환기포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 56] 제1항에 있어서,상기 열교환기 시스템은 고속 작동 디지털 온-오프 밸브 및 비례 밸브를 포함하는 냉각수 플로 제어 시스템 및 적어도 하나의 수냉식 핀열교환기포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 57] 제1항에 있어서,상기 열교환기 시스템은 상기 챔버의 일부에 냉각 핀을 머신잉함으로써 만들어진단일체열교환기포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 58] 제57항에 있어서,상기 단일체 열교환기는 상기 냉각 핀과 열 접촉하는복수의냉각튜브포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 59] 제1항에 있어서,고전압 절연체내에 집적된 기다란 도체로 이루어진 프리이오나이저를 더 포함하고, 상기 도체는 상기 기다란 전극 중 하나에 병렬로 매우 근접하여위치된것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 60] 제1항에 있어서,상기 방전 영역에서의 레이저 가스 플로를 향상시키기 위하여 상기 기다란전극중적어도하나의하류의흡입수단더포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 61] 제1항에 있어서,상기 블로워의 샤프트를 지지하는세라믹베어링더포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 62] 제61항에 있어서,상기 세라믹 베어링nan은세라믹케이지포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 63] 제61항에 있어서,상기 세라믹 베어링은 케이지리스 레이스 웨이, 세라믹 볼 베어링, 및 상기 세라믹 볼 베어링보다 더 작은 직경을 갖는분리볼포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 64] 제1항에 있어서,상기 블로워 시스템은 주입 순환기를 포함하고, 상기 챔버에서의 레이저 가스 플로의 일부는 상기 챔버로부터 추출되고 상기 챔버내로 다시 압입되어 순환하는레이저가스플로발생시키는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 65] 제1항에 있어서,상기 블로워 시스템은상기레이저방전챔버외부의블로워포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 66] 제65항에 있어서,상기 열교환기 시스템은 블로워와 함께 위치된열교환기포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 67] 제65항에 있어서,상기 열교환기 시스템nan은상기레이저방전챔버내열교환기포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 68] 제1항에 있어서,상기 블로워 시스템은 수압 터빈 드라이브에 의해 구동되는블로워포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템. [청구항 69] 제68항에 있어서,상기 수압 터빈 드라이브는 수압 구동력을 레이저 가스 블로워의 샤프트에 커플링하기 위한자기커플링포함하는것을특징으로 하는레이저 시스템.