문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 수납부(12)는, 해당 반도체 웨이퍼를 재치하는 단열 구조의 재치대(22)와, 이 재치대를 둘러싸고 또한 해당 콘택터와 전기적으로 접촉하는 접속 링(24)과, 이 접속 링과 전기적으로 접촉하고 또한 해당 측정부로부터의 시험용 신호를 수수하는 배선 기판갖는신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 접속 링(24) 상에, 해당 콘택터(11)와 접촉하여 해당 수납부(12) 내를 외부로부터 봉지하는 밀봉 부재(26), 및 해당 수납부 내에 불활성 가스 및/또한 환원성 가스를 공급하는 수단더 구비하는신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 압압 기구(13)는, 해당 콘택터를 압압하는 압압판(13a)과, 해당 압압판에 그 하단이 연결된 벨로우즈(13b)와, 해당 벨로우즈의 상단에 연결된 승강 가능한 지지체(13c)와, 압압판, 벨로우즈 및 지지체로 형성된 공간 내에 기체를 압입하는 수단구비하는신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 가열 기구(14)는, 해당 반도체 웨이퍼 w의 전면(全面)을 하면측으로부터 균일하게 가열하고 또한 상기 재치대를 겸하는 가열체구비하는신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,상기 가열체(29)는, 해당 반도체 웨이퍼의 중앙부를 가열하는 제 1 가열부(29a)와, 제 1 가열부를 둘러싸고 해당 반도체 웨이퍼의 외주연부를 가열하는 제 2 가열부구비하는신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 7]
제 5 항에 있어서,상기 가열 기구(14)는 해당 반도체 웨이퍼 전면을 상면측으로부터 가열하는 보조 가열체구비하는신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 측정부(15)는 일렉트로마이그레이션 측정부(15a) 및 리크 전류 측정부구비하는신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,측정부를 교대로 전환하는 전환 기구구비하는신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,상기 일렉트로마이그레이션 측정부(15a)는 직류, 펄스 직류, 교류의 3종의 전류를 인가하는 기능구비하는신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,상기 반도체 웨이퍼 상에는 복수의 시험 패턴(77)이 형성되어 있고, 이들 복수의 시험 패턴을 그룹으로 나누며, 동시에 5 그룹 이상의 신뢰성 평가 시험을 실행하는 시험 패턴의 그룹화 기능구비하는신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,상기 콘택터와 반도체 웨이퍼 사이에 이방 도전성 필름구비하는신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 13]
제 1 항에 있어서,상기 측정부는 해당 반도체 웨이퍼 내에 형성된 100개 이상의 반도체 소자의 신뢰성 평가 시험동시에 행하는신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 14]
제 1 항에 있어서,상기 웨이퍼 수납부(12)는 해당 반도체 웨이퍼를 160℃ 이상의 온도로 유지하는 단열 구조구비하는신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 15]
제 1 항에 있어서,상기 콘택터는 내열성 기판(11a)을 갖고, 해당 내열성 기판의 열 팽창률인신뢰성 평가 시험 장치.
[청구항 17]
제 16 항에 있어서,상기 얼라이너와 상기 신뢰성 평가 시험 장치 사이에서 데이터 통신가능하게한 신뢰성 평가 시험 시스템.
[청구항 18]
제 16 항에 있어서,너는 해당 반도체 웨이퍼의 시험 결과에 근거하여 해당 반도체 웨이퍼를 관찰하기 위한 현미경갖는신뢰성 평가 시험 시스템.
[청구항 19]
제 16 항에 있어서,상기 반송구(60)는 해당 콘택터 및 해당 반도체 웨이퍼를 일체화하기 위한 자석갖는신뢰성 평가 시험 시스템.
[청구항 20]
제 16 항에 있어서,상기 반송구(60)는 자기(磁氣) 회로(77)와, 해당 자기 회로를 온-오프하는 스위치 수단(62)을 가지며, 상기 스위치 수단에 의해 상기 자기 회로를 여자(勵磁), 소자(消磁)하는 것에 의해, 일체화된 해당 콘택터 및 해당 반도체 웨이퍼를 해당 반송구에 흡착하거나, 해당 반송구로부터 탈리(脫離시키는신뢰성 평가 시험 시스템.
[청구항 22]
제 21 항에 있어서,상기 도체 회로는 범프구비하는콘택터.
[청구항 23]
제 21 항에 있어서,상기 내열성 기판은 내열성 수지, 금속, 반도체 및 세라믹 중에서 선택되는 적어도 1종형성되어 이루어지는콘택터.
[청구항 24]
제 21 항에 있어서,상기 신뢰성 평가 시험을 행할 때에, 도통되는 부분을 제외한 표면에 절연성 피막마련한콘택터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
신뢰성 평가 시험 장치의 수납부(12)를 구성하는 요소 중, 재치대(22)와 전기적으로 접촉하면서 측정부로부터의 시험용 신호를 수수하는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation수납부(12)의 구성 요소 중 재치대(22)와 전기적으로 접촉하며 측정부로부터의 시험용 신호를 수수하는 구성요소를 찾는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 수납부(12)의 구성 요소인 재치대(22), 접속 링(24), 배선 기판에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 수납부(12)는, 해당 반도체 웨이퍼를 재치하는 단열 구조의 재치대(22)와, 이 재치대를 둘러싸고 또한 해당 콘택터와 전기적으로 접촉하는 접속 링(24)과, 이 접속 링과 전기적으로 접촉하고 또한 해당 측정부로부터의 시험용 신호를 수수하는 배선 기판갖는
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3근거 선택
evidence_selection재치대(22)와 접촉하고 신호를 수수하는 주체인 '배선 기판'에 관한 구절을 선택한다.
- 이 접속 링과 전기적으로 접촉하고 또한 해당 측정부로부터의 시험용 신호를 수수하는 배선 기판
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4논리 통합
logical_integration청구항 2의 문맥상 접속 링(24)이 재치대(22)를 둘러싸고 있으며, 배선 기판은 이 접속 링과 전기적으로 접촉하면서 측정부의 신호를 수수한다고 기술되어 있다. 따라서 재치대와 전기적으로 연결된 경로를 통해 신호를 수수하는 최종 구성요소는 배선 기판이다.
- 이 접속 링과 전기적으로 접촉하고 또한 해당 측정부로부터의 시험용 신호를 수수하는 배선 기판
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 조건(재치대와 전기적 접촉 관계에 있으며 신호를 수수함)을 만족하는 구성요소는 배선 기판임을 도출한다.
- 배선 기판
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6답변 생성
answer_generation추출된 정답인 '배선 기판'을 답변으로 생성한다.
- 배선 기판
최종 답변 (final_answer)
배선 기판
핵심 해석 (core_interpretation)
신뢰성 평가 시험 장치의 수납부 내에서 재치대, 접속 링, 배선 기판이 전기적으로 연결되어 측정부의 시험 신호를 전달하는 구조를 정의한다.