문맥 (context)
[청구항 1]
결정학을 위한 시스템에 있어서,
샘플 영역의 특성 짓기를 위해 결정 샘플을 홀딩하는 샘플 홀더와,
전자 빔을 생성하는 전자 소스와,
상기 전자 빔과 상기 결정 샘플간의 상대 이동을 제어하고, 상기 샘플 영역내의 일련의 이격되어 떨어져 있는 포인트들에 상기 전자 빔을 전송하도록 제어 가능한 스캐닝 액츄에이터와,
상기 결정 샘플로부터의 전자 회절에 기초하여 결정학 데이터를 생성하는 제 1 처리 시스템과,
상기 샘플 영역을 특성 짓기 위해 충분한 데이터가 얻어지 는 지를 결정하기 위해 구성된 제 2 처리 시스템, 및
상기 얻어진 데이터가 상기 결정 샘플 내에서 상이한 그레인들을 나타내도록 상기 포인트들을 떨어지게 이격시키도 상기 스캐닝 액츄에이터를 제어하는 제어기를 포함하는, 시스템
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,이격되어 떨어져 있는 포인트들의 동심원들을 인터섹팅(intersecting)하는 그레인 경계들을 카운팅함으로써 샘플 영역의 그레인 사이즈들을 결정하는 제 3 처리 시스템더 포함하는,시스템.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,이격되어 떨어져 있는 포인트들의 일련의 라인들을 따라 그레인 경계들을 카운팅함으로써 상기 샘플 영역의 그레인 사이즈를 결정하는 제 3 시스템더 포함하는,시스템.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,화학-기계적 폴리싱 스테이션에 상기 결정학 데이터에 기초하여 제어 파라미터들을 제공하는 피드-포워드 루프더 포함하는,시스템.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 결정학 데이터에 기초하여 증착 스테이션에 제어 파라미터들을 제공하는 피드백 루프더 포함하는,시스템.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 전자 빔은 대략 20°각도의상기샘플인터셉트하도록배치되는,시스템.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 처리 시스템에 레퍼런스를 제공하는 결정 스탠다드더 포함하는,시스템.
[청구항 8]
인라인 결정학 도량형을 위한 시스템에 있어서,
결정 샘플을 홀딩하는 샘플 홀더와,
제 1 이온 빔을 생성하는 제 1 이온 소스와,
상기 제 1 이온 빔과 상기 결정 샘플간의 상대적 이동을 제어하고, 상기 결정 샘플의 소망의 영역들에 상기 제 1 이온 빔을 전송하도록 제어 가능한, 스캐닝 액추에이터와,
상기 결정 샘플로부터 방출되는 이차 전들을 검출하는 전자 검출기와,
상기 결정 샘플로부터의 이차 전차 방출에 기초하여 콘트라스트 밀도 이미지를 생성하는 제 1 처리 시스템과,
상기 콘트라스트 이미지 밀도 데이터에 기초하여 결정 학 정보를 제공하도록 프로그래밍된 제 2 처리 시스템, 및
상기 제 1 이온 빔을 스캐닝하 상기 스캐닝 액츄에이터를 제어하는 제어기를 포함하는, 시스템
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,진 데이터에 기초하여 화학적-기계적 폴리싱 스테이션에 제어 파라미터들을 제공하는 피드-포워드 루프더 포함하는,시스템.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,진 데이터에 기초하여 증착 스테이션에 제어 파라미터들을 제공하는 피드백 루프더 포함하는,시스템.
[청구항 11]
제 8 항에 있어서,상기 제 1 이온 빔은 대략 90°각도의상기결정샘플인터셉트하도록배치되는,시스템.
[청구항 12]
제 8 항에 있어서,상기 처리 시스템에 레퍼런스를 제공하는 결정 스탠다드더 포함하는,시스템.
[청구항 13]
제 8 항에 있어서,제 2 이온 빔을 생성하는 제 2 이온 소스를 더 포함하고, 상기 제 2 이온 소스는 상기 스캐닝 액츄에이터에 의해 제어가능한,시스템.
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,상기 제 2 이온 빔은 0 내지 90°각도의상기결정샘플인터셉트하도록배치되는,시스템.
[청구항 15]
인라인 결정학 도량형을 위한 시스템에 있어서,
결정 샘플을 홀딩하는 샘플 홀더와,
제 1 이온 빔을 생성하는 제 1 이온 소스와,
전자 빔을 생성하는 전자 소스와,
상기 제 1 이온 빔, 상기 전자 빔, 및 상기 결정 샘플간의 상대적 이동을 제어하는 스캐닝 액츄에이터를 포함하고, 상기 스캐닝 액츄에이터는 상기 결정 샘플의 소망의 영역에 상기 제 1 이온 빔을 전송하고, 상기 샘플 영역내의 일련의 포인트들에 상기 전자 빔을 전송하도록 제어 가능하며,
상기 결정 샘플로부터의 이차 전자 방출들을 검출하는 전자 검출기와,
상기 결정 샘플로부터의 이차 전자 방출들에 기초하여 콘트라스트 밀도 이미지를 생성하고, 상기 결정 샘플로부터의 전자 회절에 기초하여 결정학 데이터를 생성하는 제 1 처리 시스템과,
상기 콘트라스트 밀도 데이터에 기초하여 결정학 정보를 제공하도록 프로그래밍되고, 충분한 데이터가 상기 샘플 영역을 특성 짓기 위해 얻어지 는 지를 결정하도록 구성되는 제 2 처리 시스템, 및
각각의 이온 채널 이미지가 상기 결정 샘플 내에서 채널 방향들을 나타내도록 소망의 영역들에 상기 제 1 이온 빔을 전송하고, 얻어진 데이터가 상기 결정 샘플 내에서 상이한 그레인들을 나타내도록 상기 포인트들을 떨어지게 이격시키기 위 상기 스캐닝 액츄에이터를 제어하는 제어기를 포함하는, 시스템
[청구항 16]
제 15 항에 있어서,진 데이터에 기초하여 화학적-기계적 폴리싱 스테이션에 제어 파라미터들을 제공하는 피드-포워드 루프더 포함하는,시스템.
[청구항 17]
제 15 항에 있어서,진 데이터에 기초하여 증착 스테이션에 제어 파라미터들을 제공하는 피드백 루프더 포함하는,시스템.
[청구항 18]
제 16 항에 있어서,상기 전자 빔은 대략 20°각도의상기샘플인터셉트하도록배치되는,시스템.
[청구항 19]
제 16 항에 있어서,상기 처리 시스템에 전자 회절 레퍼런스를 제공하는 결정 스탠더 포함하는,시스템.
[청구항 20]
제 16 항에 있어서,상기 처리 시스템에 이온 채널 레퍼런스를 제공하는 결정 스탠다드더 포함하는,시스템.
[청구항 21]
제 16 항에 있어서,상기 처리 시스템에 이온 채널 레퍼런스를 제공하는 결정 스탠다드더 포함하는,시스템.
[청구항 22]
제 16 항에 있어서,상기 이온 빔은 대략 90°각도의상기결정샘플인터셉트하도록배치되는,시스템.
[청구항 28]
제 27 항에 있어서,랜덤 롤링 구성 성분을더 포함하는,결정학 스탠다드.
[청구항 29]
제 27 항에 있어서,고정 롤링 구성 성분을더 포함하는,결정학 스탠다드.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1의 시스템에서 샘플 영역의 그레인 사이즈를 결정하기 위해 제 3 처리 시스템이 수행할 수 있는 두 가지 방법은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 1의 시스템을 기반으로, 샘플 영역의 그레인 사이즈를 결정하기 위해 제 3 처리 시스템이 수행할 수 있는 두 가지 방법을 찾아야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction제 3 처리 시스템에 관한 내용은 청구항 2와 청구항 3에 명시되어 있다.
- 제 3 처리 시스템더 포함하는,시스템.
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3근거 선택
evidence_selection청구항 2에서 '이격되어 떨어져 있는 포인트들의 동심원들을 인터섹팅하는 그레인 경계들을 카운팅'하는 방법과, 청구항 3에서 '이격되어 떨어져 있는 포인트들의 일련의 라인들을 따라 그레인 경계들을 카운팅'하는 방법을 추출한다.
- 이격되어 떨어져 있는 포인트들의 일련의 라인들을 따라 그레인 경계들을 카운팅함으로써 상기 샘플 영역의 그레인 사이즈를 결정하는 제 3 시스템
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4논리 통합
logical_integration추출된 두 가지 방법은 각각 동심원을 이용한 경계 카운팅과 라인을 이용한 경계 카운팅이다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 두 가지 방법을 리스트 형식으로 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
1. 이격되어 떨어져 있는 포인트들의 동심원들을 인터섹팅(intersecting)하는 그레인 경계들을 카운팅하는 방법
2. 이격되어 떨어져 있는 포인트들의 일련의 라인들을 따라 그레인 경계들을 카운팅하는 방법
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 결정 샘플의 샘플 영역 내 그레인 사이즈를 결정하기 위해, 포인트들의 동심원 또는 라인을 활용하여 그레인 경계를 카운팅하는 제 3 처리 시스템의 구성을 포함한다.