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기판의 패턴화 코팅 방법 및 상기 방법에 의해 생성된 코팅 기판 document_id 1020047016391

출원번호
1020047016391
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 42] 제41항에 있어서,상기 패턴화 코팅(7, 71, 72, 73, 74)은 적어도 하나의 표면 (2) 상의 네거티브 패턴화 제1 코팅 (3, 31, 32) 상에 증착되고, 그리고 상기 네거티브 패턴화 제1 코팅 (3, 31, 32)은적어도부분적제거되는것을특징으로 하는코팅 기판. [청구항 43] 제41항에 있어서,상기 기판(1)은 집적형 전자 회로 장치 또는 광전자 회로 장치 또는 마이크로-전자 기계 소자와 같은적어도1개의전자 회로장치포함하는것을특징으로 하는코팅 기판. [청구항 44] 제41항에 있어서,상기 기판(1)은 집적형 전자 회로 장치 또는 광전자 회로 장치 또는 마이크로-전자 기계 소자와 같은 적어도 1개의 전자 회로 장치를 포함하는소자결합되어있는것을특징으로 하는코팅 기판. [청구항 45] 제41항에 있어서,상기 기판(1)의 상기 패턴화 코팅에 의하여적어도1개의채널형성된것을특징으로 하는코팅 기판. [청구항 46] 제41항에 있어서,상기 기판의 상기 패턴화 코팅에 의하여적어도1개의공동형성된것을특징으로 하는코팅 기판. [청구항 47] 제41항에 있어서,상기 기판의 상기 패턴화 코팅에 의하여적어도1개의컷아웃형성된것을특징으로 하는코팅 기판. [청구항 48] 제41항에 있어서,상기 패턴화 코팅(7, 71, 72, 73)은 상호접속부 (19)와, 그리고 커패시터 또는 레지스터 또는 인덕턴스를 포함하는 수동(受動)전자소자중적어도하나포함하는것을특징으로 하는코팅 기판. [청구항 49] 제41항에 있어서,상기 패턴화 코팅(7, 71, 72, 73)은적어도1개의도파관포함하는것을특징으로 하는코팅 기판. [청구항 50] 제41항에 있어서,복층형 패턴화 코팅을 포함하는 것을특징으로 하는코팅 기판. [청구항 51] 제41항에 있어서,상기 기판(1)은 유리, 금속, 세라믹, 플라스틱, 그리고 실리콘 또는 비소화갈륨의 반도체 재료 중 적어도 하나를 포함하는재료포함하는것을특징으로 하는코팅 기판. [청구항 52] 제41항에 있어서,상기 기판의 반대측 표면(2, 4)의 각각에 증발 코팅 유리로 이루어진패턴화코팅형성되어있는것을특징으로 하는코팅 기판.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제41항을 인용하는 코팅 기판에서, 패턴화 코팅이 이루어지는 대상인 네거티브 패턴화 제1 코팅은 어떠한 과정을 거치는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    제41항을 인용하는 코팅 기판에서 네거티브 패턴화 제1 코팅이 거치는 과정을 추출해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 42에서 네거티브 패턴화 제1 코팅에 관한 기술적 특징을 확인한다.

    • 상기 패턴화 코팅(7, 71, 72, 73, 74)은 적어도 하나의 표면 (2) 상의 네거티브 패턴화 제1 코팅 (3, 31, 32) 상에 증착되고, 그리고 상기 네거티브 패턴화 제1 코팅 (3, 31, 32)은 적어도 부분적 제거되는 것
  3. 3근거 선택evidence_selection

    네거티브 패턴화 제1 코팅의 상태 변화를 설명하는 '적어도 부분적 제거되는 것'을 핵심 근거로 선택한다.

    • 상기 패턴화 코팅(7, 71, 72, 73, 74)은 적어도 하나의 표면 (2) 상의 네거티브 패턴화 제1 코팅 (3, 31, 32) 상에 증착되고, 그리고 상기 네거티브 패턴화 제1 코팅 (3, 31, 32)은 적어도 부분적 제거되는 것
  4. 4논리 통합logical_integration

    패턴화 코팅이 제1 코팅 상에 증착된 후, 제1 코팅 자체가 부분적으로 제거됨으로써 패턴이 형성되는 과정을 도출한다.

    • 상기 패턴화 코팅(7, 71, 72, 73, 74)은 적어도 하나의 표면 (2) 상의 네거티브 패턴화 제1 코팅 (3, 31, 32) 상에 증착되고, 그리고 상기 네거티브 패턴화 제1 코팅 (3, 31, 32)은 적어도 부분적 제거되는 것
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 대해 네거티브 패턴화 제1 코팅이 적어도 부분적으로 제거되는 과정을 거친다는 결론을 내린다.

    • 상기 패턴화 코팅(7, 71, 72, 73, 74)은 적어도 하나의 표면 (2) 상의 네거티브 패턴화 제1 코팅 (3, 31, 32) 상에 증착되고, 그리고 상기 네거티브 패턴화 제1 코팅 (3, 31, 32)은 적어도 부분적 제거되는 것
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 문구를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.

    • 상기 패턴화 코팅(7, 71, 72, 73, 74)은 적어도 하나의 표면 (2) 상의 네거티브 패턴화 제1 코팅 (3, 31, 32) 상에 증착되고, 그리고 상기 네거티브 패턴화 제1 코팅 (3, 31, 32)은 적어도 부분적 제거되는 것
최종 답변 (final_answer)
상기 네거티브 패턴화 제1 코팅 (3, 31, 32)은 적어도 부분적 제거되는 과정을 거친다.
핵심 해석 (core_interpretation)
네거티브 패턴화 공정에서 제1 코팅층을 부분적으로 제거함으로써 원하는 패턴을 형성하는 기술적 방법을 나타낸다.