문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 마이크로 압전 액추에이터직선형인마이크로 압전 액추에이터.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,각각의 상기 탄성체는 지그재그 형태갖는마이크로 압전 액추에이터.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,각각의 상기 탄성체는 수직으로 들쭉날쭉한 형태갖는마이크로 압전 액추에이터.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 압전층은 하부 전극, 상부 전극 및 상기 하부 전극과 상부 전극 사이에 배치된 압전 물질포함하는마이크로 액추에이터.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,각각의 상기 짐벌은 측방으로 형성된 홈포함하는광로 조절 장치.
[청구항 8]
제 6 항에 있어서,상기 미러는 미러의 중심을 향한 방향으로 다수의 홈포함하는광로 조절 장치.
[청구항 11]
제 6 항에 있어서,각각의 상기 탄성체는 지그재그 형태갖는광로 조절 장치.
[청구항 13]
제 6 항에 있어서,상기 압전층은 하부 전극, 상부 전극 및 상기 하부 전극과 상부 전극 사이에 배치된 압전 물질을 포함하며, 상기 하부 전극 및 상부 전극은 전극 브릿지를 통하여 상기 구동 회로연결되는광로 조절 장치.
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,상기 압전 물질은 pzt, pbtio3, plzt, pbzro3, plt, pnzt, linbo3, 그리고/또는 litao3를 포함하며, 상기 하부 전극은 금, 백금 그리고/또는 백금-탄탈륨을 포함하며, 상기 상부 전극은 ruo2, 알루미늄, 백금, 금 그리고/또는 은포함하는광로 조절 장치.
[청구항 15]
제 6 항에 있어서,상기 미러의 중심을 x-y 좌표의 원점이라고 할 때, 상기 제 1 및 상기 제 2 연결부는 상기 x 축 상에 위치하고, 상기 제 3 및 제 4 연결부는 상기 y 축 상에 위치하며, 상기 제 1 연결부와 상기 제 2 연결부 사이에 그려진 가상의 선이 상기 제 3 연결부와 상기 제 4 연결부 사이에 그려진 가상의 선과직교하는광로 조절 장치.
[청구항 16]
제 6 항에 있어서,상기 액추에이터 및 상기 미러가상기구동기판위에떠있는광로 조절 장치.
[청구항 17]
제 6 항에 있어서,상기 미러의 경사각을 보정하는 회로를 더 포함하되, 보정은 광학적 방법, 압전 저항형(piezo-resistive) 방법 또는 압전 용량형(piezo-capacitive)방법이용하여구현되는광로 조절 장치.
[청구항 18]
제 6 항에 있어서,상기 미러 아래에 위치하며 상기 미러를 평평하게 유지하는 미러지지층더 포함하는광로 조절 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
광로 조절 장치의 압전층 구성 요소와, 해당 압전층의 하부 전극 및 상부 전극이 구동 회로와 연결되는 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation광로 조절 장치의 압전층 구성 요소와 전극이 구동 회로와 연결되는 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 13을 통해 압전층의 구성과 전극의 연결 방식을 추출한다.
- 상기 압전층은 하부 전극, 상부 전극 및 상기 하부 전극과 상부 전극 사이에 배치된 압전 물질을 포함하며, 상기 하부 전극 및 상부 전극은 전극 브릿지를 통하여 상기 구동 회로연결되는
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3근거 선택
evidence_selection압전층의 구성 요소(하부 전극, 상부 전극, 압전 물질)와 연결 방식(전극 브릿지)에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 압전층은 하부 전극, 상부 전극 및 상기 하부 전극과 상부 전극 사이에 배치된 압전 물질을 포함하며, 상기 하부 전극 및 상부 전극은 전극 브릿지를 통하여 상기 구동 회로연결되는
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4논리 통합
logical_integration압전층은 하부 전극, 상부 전극, 그리고 그 사이에 위치한 압전 물질로 구성되며, 이 전극들은 전극 브릿지를 통해 구동 회로에 연결됨을 통합한다.
- 상기 압전층은 하부 전극, 상부 전극 및 상기 하부 전극과 상부 전극 사이에 배치된 압전 물질을 포함하며, 상기 하부 전극 및 상부 전극은 전극 브릿지를 통하여 상기 구동 회로연결되는
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 압전층의 구성 요소와 연결 매개체를 명시한다.
- 상기 압전층은 하부 전극, 상부 전극 및 상기 하부 전극과 상부 전극 사이에 배치된 압전 물질을 포함하며, 상기 하부 전극 및 상부 전극은 전극 브릿지를 통하여 상기 구동 회로연결되는
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 압전층은 하부 전극, 상부 전극 및 상기 하부 전극과 상부 전극 사이에 배치된 압전 물질을 포함하며, 상기 하부 전극 및 상부 전극은 전극 브릿지를 통하여 상기 구동 회로연결되는
최종 답변 (final_answer)
광로 조절 장치의 압전층은 하부 전극, 상부 전극, 그리고 상기 하부 전극과 상부 전극 사이에 배치된 압전 물질로 구성되며, 상기 하부 전극 및 상부 전극은 전극 브릿지를 통하여 구동 회로와 연결된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
광로 조절 장치의 압전층은 전극과 압전 물질의 적층 구조를 가지며, 전극 브릿지를 통해 구동 회로와 전기적으로 연결되는 구조를 갖는다.