스퍼터링 캐소드 어댑터 조립체 및 방법 document_id 1020047018093

[청구항 22] 제 21 항에 있어서,고정 사이즈의 개구내에 설치하도록 구성된 외부면 및, 상기 지름 중 상이한 지름의 캐소드를 지지하도록 구성되는 내부면을 가진각각의다수의어댑터 몸체더포함하는것을특징으로 하는어댑터 조립체. [청구항 23] 제 21 항에 있어서,고정 사이즈의 개구내에 설치하도록 구성된 외부면 및, 상기 타겟 대 기판 스페이싱 중 상이한 것에 캐소드를 지지하도록 구성되는 상이한 두께의 기하학적 구조를 가진각각의다수의어댑터 몸체더포함하는것을특징으로 하는어댑터 조립체. [청구항 24] 제 21 항에 있어서,소정의 기하학적 구조의 설치 구조물에 설치하도록 구성된 외부면, 상기 지름 중 상이한 지름의 캐소드를 지지하도록 구성되는 내부면 및, 상기 타겟 대 기판 스페이싱 중 상이한 것에 캐소드를 지지하도록 구성되는 두께의 기하학적 구조를 가진각각의다수의어댑터 몸체더포함하는것을특징으로 하는어댑터 조립체. [청구항 25] 제 21 항에 있어서,상기 링은 어떠한 상기 다수의 스페이싱에서의 어댑터 몸체내에 상기 지름 및 타입 중 하나의 캐소드를 지지하도록구성되는것을특징으로 하는어댑터 조립체. [청구항 26] 제 21 항에 있어서,상기 타입 중상이한 타입 또는 상기 지름 중 상이한 지름의 캐소드 조립체를 지지하도록 구성되는각각의다수의링더포함하는것을특징으로 하는어댑터 조립체. [청구항 27] 제 21 항에 있어서,다수의 어댑터 차폐물을 더 포함하는데, 상기 다수의 어댑터 차폐물 중 하나가 상기 몸체의 다수의 상이한 타겟 대 기판 스페이싱 기하학적 구조의 각각에 대한 것인 것특징으로 하는어댑터 조립체. [청구항 28] 제 21 항에 있어서,다수의 교체 가능한 어댑터 차폐물을 더 포함하는데, 상기 다수의 어댑터 차폐물 중 하나가 상기 몸체의 다수의 상이한 타겟 지름의 구성 능력의 각각에 대한 것인 것특징으로 하는어댑터 조립체. [청구항 29] 제 21 항에 있어서,상기 암흑부는 어떠한 다수의 스페이싱의 어댑터 몸체를 보호하기 위해 상기 지름 및 타입 중 하나의 캐소드 주변에 상기 갭을 제공하도록구성되는것을특징으로 하는어댑터 조립체. [청구항 30] 제 21 항에 있어서,상기 타입 또는 지름 중상이한 것의 캐소드 조립체 주변에 상기 갭을 제공하도록 구성되는각각의다수의암흑부차폐물더포함하는것을특징으로 하는어댑터 조립체. [청구항 31] 제 21 항에 있어서,고정 사이즈의 개구내에 설치하도록 구성된 외부면, 상기 지름의 상이한 조합의 캐소드를 지지하도록 구성되는 내부면 및, 상기 타겟 대 기판 스페이싱 중 상이한 것에 캐소드를 지지하도록 구성되는 두께의 기하학적 구조를 가진 각각의 다수의 어댑터 몸체,상기 타입 중 상이한 타입의 캐소드 조립체를 지지하도록 구성되고, 어떠한 다수의 스페이싱에서의 어댑터 몸체내에 상기 지름 및 타입의 상이한 조합의 캐소드를 지지하도록 구성된 각각의 다수의 링,다수의 어댑터 차폐물로서, 상기 다수의 어댑터 차폐물 중 하나가 상기 몸체의 타겟 대 기판 스페이싱 기하학적 구조 및 상기 몸체의 타겟 지름의 구성 능력의 다수의 상이한 조합의 각각에 대한 것인 다수의 어댑터 차폐물 및,어떠한 다수의 상기 스페이싱의 어댑터 몸체를 보호하기 위해 상기 지름 및 타입 중 상이한 것의 캐소드 주변에 상기 갭을 제공하도록 구성되는각각의다수의암흑부차폐물더포함하는것을특징으로 하는어댑터 조립체. [청구항 32] 제 21 항에 있어서,상기 타입 중상이한 타입의 캐소드 조립체를 지지하도록 구성되고, 어떠한 다수의 상기 스페이싱에서의 어댑터 몸체내에 상기 지름 및 타입의 상이한 조합의 캐소드를 지지하도록 구성되는각각의다수의링더포함하는것을특징으로 하는어댑터 조립체. [청구항 33] 제 21 항에 있어서,교체 가능한 어댑터 차폐물을 제공하는 것은 다수의 어댑터 차폐물을 제공하는 것을 포함하는데, 상기 다수의 어댑터 차폐물 중 하나가 상기 몸체의 타겟 대 기판 스페이싱 기하학적 구조 및 상기 몸체의 타겟 지름의 구성 능력의 다수의 상이한 조합의 각각에 대한 것인 것특징으로 하는어댑터 조립체. [청구항 34] 제 21 항에 있어서,상기 암흑부 차폐물을 제공하는 것은 어떠한 다수의 상기 스페이싱의 어댑터 몸체를 보호하기 위해 상기 지름 및 타입 중 상이한 것의 캐소드 주변에 상기 갭을 제공하도록 구성되는각각의다수의암흑부차폐물제공하는것을특징으로 하는어댑터 조립체. [청구항 48] 제 47 항에 있어서,상기 원통형 소자는재료의단일블록제조되는것을특징으로 하는어댑터 몸체. [청구항 49] 제 47 항에 있어서,상기 외부 플랜지의 상부면은환상형홈포함하는것을특징으로 하는어댑터 몸체. [청구항 50] 제 49 항에 있어서,상기 환상형 홈nan은하나이상의곡선면포함하는것을특징으로 하는어댑터 몸체. [청구항 51] 제 47 항에 있어서,상기 외부면은 하나 이상의 평평한면및하나이상의곡선면포함하는것을특징으로 하는어댑터 몸체. [청구항 52] 제 47 항에 있어서,상기 외부 플랜지는다수의관통구멍포함하는것을특징으로 하는어댑터 몸체. [청구항 53] 제 47 항에 있어서,상기 외부 플랜지의 상기 하부면은환상형홈포함하는것을특징으로 하는어댑터 몸체. [청구항 54] 제 47 항에 있어서,상기 환상형 홈은 o-링홈인것을특징으로 하는어댑터 몸체. [청구항 55] 제 47 항에 있어서,상기 내부 숄더의 상기 상부면은환상형홈포함하는것을특징으로 하는어댑터 몸체. [청구항 56] 제 55 항에 있어서,상기 환상형 홈은 o-링홈인것을특징으로 하는어댑터 몸체. [청구항 57] 제 47 항에 있어서,상기 내부 숄더의 상기 하부면은방사 패턴의다수의구멍포함하는것을특징으로 하는어댑터 몸체. [청구항 58] 제 47 항에 있어서,상기 외부 플랜지는 적어도 대략 14.50인치의외부지름포함하는것을특징으로 하는어댑터 몸체. [청구항 59] 제 47 항에 있어서,상기 원통형 소자는 상기 외부 플랜지의 상기 하부면으로부터 상기 내부 숄더의 상기 상부면으로 연장하는 높이를 포함하는데, 상기 높이는 본래 0.68 인치, 1.18 인치 및 1.48 인치로 이루어진 그룹으로부터 선택된높이대략동일한것을특징으로 하는어댑터 몸체. [청구항 61] 제 60 항에 있어서,상기 환상형 소자는 astm d3294-97에 따라 제조되는재료로이루어지는것을특징으로 하는절연체. [청구항 62] 제 61 항에 있어서,상기 재료는 teflon ptfe를포함하는것을특징으로 하는절연체. [청구항 63] 제 62 항에 있어서,상기 재료는 듀퐁사로부터의 teflon ptfe grade 7a 및 teflon ptfe grade 8의하나이상포함하는것을특징으로 하는절연체. [청구항 64] 제 60 항에 있어서,상기 몸체부의 상기 하부면은환상형홈포함하는것을특징으로 하는절연체. [청구항 65] 제 64 항에 있어서,상기 환상형 홈은 o-링홈인것을특징으로 하는절연체. [청구항 66] 제 60 항에 있어서,상기 상부 링부는 대략 11.12인치의외부지름포함하는것을특징으로 하는절연체. [청구항 67] 제 60 항에 있어서,상기 상부 링부는 대략 10.92인치의내부지름포함하는것을특징으로 하는절연체. [청구항 68] 제 60 항에 있어서,상기 상부 링부는 적어도 대략 10.932 인치의 내부 지름, 많아야 대략 11.12 인치의 외부 지름 및 대략 0.29 인치의 높이(774)를 가지고,상기 몸체부는 적어도 대략 10.32 인치의 내부 지름, 많아야 대략 11.12 인치의 외부 지름 및 대략 0.16 인치의 높이(773)를 가지며,상기 하부 링은 적어도 대략 10.46 인치의 내부 지름 및 많아야 대략 11.12인치의외부지름가지는것을특징으로 하는절연체. [청구항 69] 제 60 항에 있어서,상기 상부 링부는 적어도 대략 10.932 인치의 내부 지름, 많아야 대략 11.12 인치의 외부 지름 및 대략 0.35 인치의 높이(774)를 가지고,상기 몸체부는 적어도 대략 10.32 인치의 내부 지름, 많아야 대략 11.12 인치의 외부 지름 및 대략 0.17 인치의 높이(773)를 가지며,상기 하부 링은 적어도 대략 10.46 인치의 내부 지름 및 많아야 대략 11.12인치의외부지름가지는것을특징으로 하는절연체. [청구항 70] 제 60 항에 있어서,상기 상부 링부는 적어도 대략 12.55 인치의 내부 지름, 많아야 대략 12.74 인치의 외부 지름 및 대략 0.25 인치의 높이를 가지고,상기 몸체부는 적어도 대략 11.94 인치의 내부 지름, 많아야 대략 12.74 인치의 외부 지름 및 대략 0.125 인치의 높이를 가지며,상기 하부 링은 적어도 대략 11.94 인치의 내부 지름 및 많아야 대략 12.11인치의외부지름가지는것을특징으로 하는절연체. [청구항 71] 제 60 항에 있어서,상기 상부 링부는 적어도 대략 12.55 인치의 내부 지름, 많아야 대략 12.74 인치의 외부 지름 및 대략 0.185 인치의 높이를 가지고,상기 몸체부는 적어도 대략 11.94 인치의 내부 지름, 많아야 대략 12.74 인치의 외부 지름 및 대략 0.14 인치의 높이를 가지며,상기 하부 링은 적어도 대략 11.94 인치의 내부 지름 및 많아야 대략 12.11인치의외부지름가지는것을특징으로 하는절연체. [청구항 73] 제 72 항에 있어서,상기 원통형 소자는재료의단일블록제조되는것을특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 74] 제 72 항에 있어서,상기 몸체부는다수의관통구멍포함하는것을특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 75] 제 72 항에 있어서,상기 상부 링부는 외부 지름을 포함하는데, 상기 외부 지름은 적어도 10.4 인치로 이루어지 것특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 76] 제 72 항에 있어서,상기 상부 링부는 적어도 대략 10.1인치의내부지름포함하는것을특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 77] 제 72 항에 있어서,상기 상부 링부는 11.749 +/- 0.005인치의내부지름가지는것을특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 78] 제 72 항에 있어서,상기 상부 링부는 11.725 +/- 0.005인치의내부지름가지는것을특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 79] 제 72 항에 있어서,상기 상부 링부는 10.124 +/- 0.005인치의내부지름가지는것을특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 80] 제 72 항에 있어서,상기 상부 링부는 10.100 +/- 0.005인치의내부지름가지는것을특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 81] 제 72 항에 있어서,상기 상부 링은 대략 10.10 인치의 내부 지름, 대략 10.405 인치의 외부 지름 및 대략 0.505 인치의 높이를 가지며,상기 몸체부는 대략 10.10 인치의 내부 지름, 많아야 대략 12.08 인치의 외부 지름 및 대략 0.244인치의높이가지는것을특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 82] 제 72 항에 있어서,상기 상부 링은 대략 10.10 인치의 내부 지름, 대략 10.405 인치의 외부 지름 및 대략 0.505 인치의 높이를 가지며,상기 몸체부는 대략 10.10 인치의 내부 지름, 많아야 대략 12.08 인치의 외부 지름 및 대략 0.244 인치의 높이를 가지는데, 상기 몸체부는 대략 45 도의 각도로 떨어져 있고, 대략 11.50 인치의 지름을 가진 원 상에 위치되는구멍가지는것을특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 83] 제 72 항에 있어서,상기 상부 링은 대략 10.12 인치의 내부 지름, 대략 10.405 인치의 외부 지름 및 대략 0.305 인치의 높이를 가지며,상기 몸체부는 대략 10.12 인치의 내부 지름, 많아야 대략 12.08 인치의 외부 지름 및 대략 0.244인치의높이가지는것을특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 84] 제 72 항에 있어서,상기 상부 링은 대략 10.12 인치의 내부 지름, 대략 10.405 인치의 외부 지름 및 대략 0.305 인치의 높이를 가지며,상기 몸체부는 대략 10.12 인치의 내부 지름, 많아야 대략 12.08 인치의 외부 지름 및 대략 0.244 인치의 높이를 가지는데, 상기 몸체부는 대략 45 도의 각도로 떨어져 있고, 대략 11.50 인치의 지름을 가진 원 상에 위치되는구멍가지는것을특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 85] 제 72 항에 있어서,상기 상부 링은 대략 11.72 인치의 내부 지름, 대략 12.11 인치의 외부 지름 및 대략 0.55 인치의 높이를 가지며,상기 몸체부는 대략 11.72 인치의 내부 지름, 많아야 대략 13.00 인치의 외부 지름 및 대략 0.245인치의높이가지는것을특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 86] 제 72 항에 있어서,상기 상부 링은 대략 11.72 인치의 내부 지름, 대략 12.11 인치의 외부 지름 및 대략 0.55 인치의 높이를 가지며,상기 몸체부는 대략 11.72 인치의 내부 지름, 많아야 대략 13.00 인치의 외부 지름 및 대략 0.245 인치의 높이를 가지는데, 상기 몸체부는 대략 45 도의 각도로 떨어져 있고, 대략 12.50 인치의 지름을 가진 원 상에 위치되는구멍가지는것을특징으로 하는암흑부 차폐물. [청구항 87] 제 72 항에 있어서,상기 상부 링은 대략 11.74 인치의 내부 지름, 대략 12.11 인치의 외부 지름 및 대략 0.475 인치의 높이를 가지며,상기 몸체부는 대략 11.74 인치의 내부 지름, 많아야 대략 12.99 인치의 외부 지름 및 대략 0.245인치의높이가지는것을특징으로 하는암흑부 차폐물.