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원반형물의 기준위치 자동 교시방법, 자동 위치결정방법및 자동 반송방법, 그리고 이러한 방법을 사용하는원반형물의 기준위치 자동 교시장치, 자동 위치결정장치,자동 반송장치 및, 반도체 자동 제조설비 document_id 1020047019547

출원번호
1020047019547
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 검출수단의 궤적은원호인것을특징으로 하는,원반형물의 기준위치 자동 교시장치. [청구항 11] 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,상기 검출수단의 궤적은원호인것을특징으로 하는,원반형물의 자동 위치결정장치. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 검출수단의 궤적은원호인것을특징으로 하는,원반형물의 자동 위치결정장치. [청구항 28] 제 27항에 있어서,상기 1개의 1점 검출형 검출수단으로 상기 원반형물의 둘레가장자리 상의 적어도 3점을 검출하는 수단 대신에, 상기 원반형물의 둘레가장자리 상의 상기 적어도 3점을, 3개 이상의 1점 검출형 검출수단에 의해서 검출하는 수단으로서, 상기 3개 이상의 검출수단을 상기 원반형물의 둘레가장자리에 대하여 상대적으로 각각 1회 교차시켜 상기 적어도 3점을 검출하는수단포함하는것을특징으로 하는,원반형물의 자동 교시장치. [청구항 29] 제 27 항 또는 제 28 항에 있어서,적어도 3점을 검출하는 수단으로는, 상기 검출수단이 상기 원반형물에 대하여 상대적으로 o자형, v자형, u자형, l자형 또는 c자형의 궤적을 그려상기원반형물의둘레가장자리교차하는것을특징으로 하는,원반형물의 자동 교시장치. [청구항 30] 제 27 항 내지 제 29 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 원반형물은, 둘레가장자리에 볼록부 또는 오목부가 있는 반경이 알려지지 않은 것으로,상기 적어도 3점을 검출하는 수단으로는, 검출되는 상기 원반형물의 둘레가장자리 상의 상기 적어도 3점이, 4점 이상이고, 상기 4점 이상 중 3점이 구성하는 모든 조합에 대해서 원주의 공식으로부터 구한 반경 또는 중심위치가 모두 일치하는 경우에 그 값을 선택하고, 불일치하는 경우는 일치할 때까지상기4점이상의검출되풀이하는것을특징으로 하는,원반형물의 자동 교시장치. [청구항 32] 제 31 항에 있어서,상기 1개의 1점 검출형 검출수단으로 상기 원반형물의 둘레가장자리 상의 적어도 3점을 검출하는 수단 대신에, 상기 원반형물의 둘레가장자리 상의 상기 적어도 3점을, 3개 이상의 1점 검출형 검출수단에 의해서 검출하는 수단으로서, 상기 3개 이상의 검출수단을 상기 원반형물의 둘레가장자리에 대하여 상대적으로 각각 1회 교차시켜 상기 적어도 3점을 검출하는수단포함하는것을특징으로 하는,원반형물의 자동 위치결정장치. [청구항 33] 제 31 항 또는 제 32 항에 있어서,적어도 3점을 검출하는 수단으로는, 상기 검출수단이 상기 원반형물에 대하여 상대적으로 o자형, v자형, u자형, l자형 또는 c자형의 궤적을 그려상기원반형물의둘레가장자리교차하는것을특징으로 하는,원반형물의 자동 위치결정장치. [청구항 34] 제 31 항 내지 제 33 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 원반형물은, 둘레가장자리에 볼록부 또는 오목부가 있는 반경이 알려지지 않은 것으로, 상기 적어도 3점을 검출하는 수단으로는, 검출되는 상기 원반형물의 둘레가장자리 상의 상기 적어도 3점이, 4점 이상이고,상기 4점 이상 중 3점이 구성하는 모든 조합에 대해서 원주의 공식으로부터 구한 반경 또는 중심위치가 모두 일치하는 경우에 그 값을 선택하고, 불일치하는 경우는 일치할 때까지상기4점이상의검출되풀이하는것을특징으로 하는,원반형물의 자동 위치결정장치. [청구항 35] 제 31 항 내지 제 34 항 중 어느 한 항에 기재된 원반형물의 자동 위치결정장치를 사용하는 원반형물의 자동 반송장치에 있어서,상기 위치결정 수단이 산출한 편이량에 의거하여, 상기 취급장치로서의 반송장치의 유지부의 미리 교시된 반송궤도를 수정하는 수단과, 상기 반송장치의 상기 유지부의 작동을 제어하고, 상기 수정한 반송경로를 따라 상기 유지부에서 상기 원반형물을 소정의 반송위치에 반송하는수단구비하는것을특징으로 하는,원반형물의 자동 반송장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
둘레 가장자리에 볼록부 또는 오목부가 있는 반경이 알려지지 않은 원반형물의 경우, 자동 위치결정장치에서 적어도 3점을 검출하는 수단은 어떠한 방식으로 검출 결과의 신뢰성을 확보하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    반경이 알려지지 않고 볼록부/오목부가 있는 원반형물에서 3점 이상 검출 시 신뢰성을 확보하는 구체적인 절차를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 30항 및 34항에서 해당 조건의 원반형물에 대한 검출 방식과 신뢰성 확보 로직을 추출한다.

    • 둘레가장자리에 볼록부 또는 오목부가 있는 반경이 알려지지 않은 것으로,상기 적어도 3점을 검출하는 수단으로는, 검출되는 상기 원반형물의 둘레가장자리 상의 상기 적어도 3점이, 4점 이상이고, 상기 4점 이상 중 3점이 구성하는 모든 조합에 대해서 원주의 공식으로부터 구한 반경 또는 중심위치가 모두 일치하는 경우에 그 값을 선택하고, 불일치하는 경우는 일치할 때까지상기4점이상의검출되풀이하는것
  3. 3근거 선택evidence_selection

    4점 이상의 점을 검출하고, 그 중 3점이 구성하는 모든 조합의 계산 결과(반경 또는 중심위치)가 일치하는지 확인하며, 불일치 시 반복 검출한다는 구절을 선택한다.

    • 검출되는 상기 원반형물의 둘레가장자리 상의 상기 적어도 3점이, 4점 이상이고,상기 4점 이상 중 3점이 구성하는 모든 조합에 대해서 원주의 공식으로부터 구한 반경 또는 중심위치가 모두 일치하는 경우에 그 값을 선택하고, 불일치하는 경우는 일치할 때까지상기4점이상의검출되풀이하는것
  4. 4논리 통합logical_integration

    단순히 3점을 검출하는 것에 그치지 않고, 4점 이상을 검출한 뒤 이들 중 임의의 3점 조합으로 계산한 결과값이 모두 일치할 때까지 반복 검출함으로써 데이터의 정밀도와 신뢰성을 확보하는 논리 구조를 도출한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    검출되는 점을 4점 이상으로 하고, 4점 이상 중 3점이 구성하는 모든 조합에 대해 원주 공식으로 구한 반경 또는 중심위치가 모두 일치할 때까지 검출을 반복함으로써 신뢰성을 확보한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 추출된 절차를 바탕으로 완성된 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
검출되는 원반형물의 둘레 가장자리 상의 점을 4점 이상으로 하고, 그 4점 이상 중 3점이 구성하는 모든 조합에 대하여 원주의 공식으로부터 구한 반경 또는 중심위치가 모두 일치하는 경우에 그 값을 선택하며, 만약 불일치할 경우에는 값이 일치할 때까지 4점 이상의 검출을 반복함으로써 신뢰성을 확보한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
반경이 불규칙한 원반형물의 위치 결정을 위해 4점 이상의 검출점을 확보하고, 임의의 3점 조합으로 계산된 결과값들의 일치 여부를 검증 및 반복함으로써 측정의 정확도를 높이는 기술이다.