문맥 (context)
[청구항 21]
제 20항에 있어서,상기 영구 자석은, 상기 영구 자석의 상기 n극과 s극정렬되도록구성되어 있는,자기 요크 어셈블리.
[청구항 23]
제 22항에 있어서,상기 상부와 하부 요크의 연장 단부에 자기 연결되어 있는 한쌍자극부를더 포함하는,자기 요크 어셈블리.
[청구항 29]
제 28항에 있어서,상기 자기 요크 어셈블리는 영구 자석포함하는,이온 소스.
[청구항 30]
제 28항에 있어서,상기 자기 요크 어셈블리는 전자석포함하는,이온 소스.
[청구항 31]
제 28항에 있어서,상기 하나 이상의 전자 소스는, 상기 전자빔이 상기 하나 이상의 전자 출입 에퍼쳐를 포함한 평면 또는 평면들에 일반적으로 평행하게 구성되고, 상기 하나 이상의 전자 출입 에퍼쳐를 포함한 상기 평면 또는 평면들에 일반적으로 수직하도록 상기 하나 이상의 전자빔을 굽히는 하나 이상의 빔 스티어링 장치더 포함하는,이온 소스.
[청구항 32]
제 28항에 있어서,상기 하나 이상의 빔 스티어링 장치 각각은 자기 플럭스의 제 2 소스포함하는,이온 소스.
[청구항 33]
제 28항에 있어서,상기 자기 요크 어셈블리에 의해 발생한 상기 장이 상기 전자 소스 영역 안으로 침투하는 것을 실질적으로 방지하기 위해, 상기 전자 소스와 상기 자기 요크 어셈블리 사이에 자기 차폐더 포함하는,이온 소스.
[청구항 35]
제 34항에 있어서,상기 관과 기화기 본체 용적은 밀폐되어 있고, 이 사이의 간격은 상기 도가니와 기화기 본체 용적간의 열적 접촉을 제공하도록 기체있는,이온 소스용 증기 소스.
[청구항 37]
제 35항에 있어서,상기 간격은 진공 실링에 의해 진공과분리되어 있는,이온 소스용 증기 소스.
[청구항 38]
제 34항에 있어서,다단계 온도 조절 시스템은 상기 기화기 본체, 적어도 하나의 차단 밸브 및 상기 소스 블록과 열적으로 접한 저항 히터를 포함하고, 상기 증기 소스는 또한 상기 저항 히터를 조절하기 위한 다단계 온도 컨트롤러포함한,이온 소스용 증기 소스.
[청구항 39]
제 38항에 있어서,다단계 온도 컨트롤러는, 상기 기화기 본체, 적어도 하나의 차단 밸브 및 소스 블록의 온도를 개별 조절할 수 있는 3 스테이지 온도컨트롤러인,이온 소스용 증기 소스.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
이온 소스용 증기 소스에서 다단계 온도 조절 시스템이 열적으로 접촉하는 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation이온 소스용 증기 소스 내의 다단계 온도 조절 시스템과 열적으로 접촉하는 구성 요소들을 찾아 목록으로 작성해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 38에서 다단계 온도 조절 시스템의 구성 요소인 저항 히터가 무엇과 열적으로 접하는지 확인한다.
- 다단계 온도 조절 시스템은 상기 기화기 본체, 적어도 하나의 차단 밸브 및 상기 소스 블록과 열적으로 접한 저항 히터를 포함하고
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3근거 선택
evidence_selection저항 히터가 열적으로 접하는 대상인 '기화기 본체', '적어도 하나의 차단 밸브', '소스 블록'을 선택한다.
- 상기 기화기 본체, 적어도 하나의 차단 밸브 및 상기 소스 블록과 열적으로 접한 저항 히터
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4논리 통합
logical_integration다단계 온도 조절 시스템은 저항 히터를 포함하며, 이 저항 히터가 기화기 본체, 차단 밸브, 소스 블록과 열적으로 접촉하므로 이들이 질문의 대상이다.
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5결론 도출
conclusion_formulation열적으로 접촉하는 구성 요소는 기화기 본체, 적어도 하나의 차단 밸브, 소스 블록이다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소들을 리스트 형식으로 정리하여 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
기화기 본체, 적어도 하나의 차단 밸브, 소스 블록
핵심 해석 (core_interpretation)
이온 소스용 증기 소스에서 저항 히터를 통해 기화기 본체, 차단 밸브, 소스 블록의 온도를 개별적으로 조절할 수 있는 다단계 온도 조절 시스템의 구성 및 열적 접촉 관계를 나타낸다.