기판 고정 트레이, 이를 이용한 기판 정렬 시스템 및 그방법 document_id 1020050000956

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 기판 고정수단은 상기 기판의 최소한 일측에서 탄성력으로 상기 기판을 상기 프레임에 가압 밀착시켜 주기 위한 가압밀착부재포함하는기판 고정 트레이. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 가압밀착부재는 탄성수단구비하는기판 고정 트레이. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 가압밀착부재는 미단에 삽입돌부를 구비하여, 상기 탄성수단에 의하여 프레임과 탄성 고정시키되, 상기 프레임에는 상기 삽입돌부가 끼워지는 가압용요홈과 해제용요홈을 각각 형성하여, 상기 기판을 가압밀착시에는 상기 삽입돌부를 상기 가압용요홈에 삽입하고, 상기 기판을 해제시에는 상기 삽입돌부는 상기 해제용요홈삽입하는기판 고정 트레이. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 가압밀착부재는 걸림부재가 안착되는 연결공을 형성하고, 상기 걸림부재에 용수철부재를 계지하여 상기 프레임과 탄성연결하는기판 고정 트레이. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 기판 고정수단은 상기 기판의 일측에서 상기 기판의 측부를 지지하도록 하는 적어도 하나 이상의 측부지지체포함하는기판 고정 트레이. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 하부지지체에는 기판이 안착되는 요홈을 형성하고, 상기 요홈은 안착되는 기판의 유격이 가능하도록 하기 위하여 적어도 일측을 경사져서형성하는기판 고정 트레이. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 하부지지체의 상기 기판이 안착되는 요홈의 입구는 라운드형형성하는기판 고정 트레이. [청구항 9] 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 프레임을 상기 트레이에 고정시키기 위한 프레임 고정편더 포함하는기판 고정 트레이. [청구항 10] 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 트레이에는 상기 기판의 이송을 위한 이송수단더 포함되는기판 고정 트레이. [청구항 11] 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 트레이의 상부에는 가이드 수단더 포함하는기판 고정 트레이. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 기판 고정 트레이 및 상기 정렬 플레이트에는 상호 체결되어 상기 기판 고정 트레이를 고정하도록 하는 적어도 하나 이상의 체결부가더 포함되어 이루어지는기판 정렬 시스템. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 체결부는,상기 기판 고정 트레이에 적어도 하나 이상 구비된 고정 홀더부재; 상기 정렬 플레이트에 상기 고정 홀더부재와 대응 결합되도록 구비되는 고정 삽입부재포함되어 이루어지는기판 정렬 시스템. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 고정 홀더부재는 직경이 상이한 두원이 중첩된 형상으로 형성한통공인것을특징으로 하는기판 정렬 시스템. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 통공은 소직경 통공이 대직경 통공의 상부에 위치되도록형성한것을특징으로 하는기판 정렬 시스템. [청구항 17] 제14항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 고정 삽입부재는 상기 고정 홀더부재내에 삽입되어상기기판고정트레이를체결고정하도록하는것을특징으로 하는기판 정렬 시스템. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 고정 삽입부재는 상기 고정 홀더부재내로 삽입된 후 안착할 수 있도록 하기 위한홈형성되어있는것을특징으로 하는기판 정렬 시스템. [청구항 19] 제14항에 있어서,상기 기판 고정 트레이에는 하나 이상의 보조 부착부재를 더욱 구비하도록 하고, 상기 정렬 플레이트에는 상기 보조 부착부재와 대응 결합되는보조지지부재더욱구비하도록하는것을특징으로 하는기판 정렬 시스템. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 보조 부착부재는도전성부착부재인것을특징으로 하는기판 정렬 시스템. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 도전성 부착부재는 자성재질로 이루어지는기판 정렬 시스템. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 자성재질로 이루어진 도전성 부착부재에는 적어도 하나 이상의 홈 또는 돌출부형성되어 이루어지는기판 정렬 시스템. [청구항 23] 제19항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서,상기 보조 지지부재는 자성체로 형성하여, 상기 기판 고정 트레이의 보조 부착부재와 대응하여고정하도록한것을특징으로 하는기판 정렬 시스템.