문맥 (context)
[청구항 1]
챔버(chamber) 내부에서 전면 기판의 유전체층 표면에 보호막을 증착시키는 플라즈마 디스플레이 패널의 보호막 증착 장치에 있어서,
상기 전면 기판의 유전체층 표면에 상기 보호막을 증착시키기 위한 소정물질의 증기를 발산시키는 증기발산부와
상기 전면 기판의 양측면에 구비되어 상기 전면 기판의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지부와
상기 전면 기판을 이동시키는 기판이동부와
상기 기판이동부 하부에 상기 보호막을 증착시 보호막재가 캐리어에 증착되는 것을 방지하기 위한 복수의 마스크가 구비되고,
상기 캐리어상에 상기 보호막재가 상기 기판이동부에 증착되는 것을 방지하기 위한 기판이동보호부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 보호막 증착 장치
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 증기발산부는 상기 소정 물질을 담기 위한 허스(hearth)와 상기 소정 물질을 증기로 발산시키기 위해 상기 소정 물질을 전자빔(e-beam)으로 가열하는 전자빔발산부를포함하는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널의 보호막 증착 장치.
[청구항 3]
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 소정물질nan은산화마그네슘인것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널의 보호막 증착 장치.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 기판이동보호부는 상기 캐리어와 상기 이탈방지부를 연결하여형성되는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널의 보호막 증착 장치.
[청구항 5]
제 1항에 있어서,상기 기판이동보호부는소정의기울기갖는것을특징으로 하는플라즈마 디스플레이 패널의 보호막 증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 디스플레이 패널의 보호막 증착 장치에서 기판이동부 하부에 구비된 복수의 마스크와 기판이동보호부는 각각 어떠한 역할을 수행하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation질문에서 요구하는 복수의 마스크와 기판이동보호부의 각각의 역할을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 복수의 마스크와 기판이동보호부에 관한 설명을 추출한다.
- 상기 기판이동부 하부에 상기 보호막을 증착시 보호막재가 캐리어에 증착되는 것을 방지하기 위한 복수의 마스크가 구비되고, 상기 캐리어상에 상기 보호막재가 상기 기판이동부에 증착되는 것을 방지하기 위한 기판이동보호부를 포함하는
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3근거 선택
evidence_selection마스크의 역할(캐리어에 보호막재 증착 방지)과 기판이동보호부의 역할(기판이동부에 보호막재 증착 방지)을 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 기판이동부 하부에 상기 보호막을 증착시 보호막재가 캐리어에 증착되는 것을 방지하기 위한 복수의 마스크가 구비되고, 상기 캐리어상에 상기 보호막재가 상기 기판이동부에 증착되는 것을 방지하기 위한 기판이동보호부
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 바탕으로 각 구성요소의 기능을 매칭하여 정리한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation복수의 마스크는 캐리어에 보호막재가 증착되는 것을 방지하고, 기판이동보호부는 기판이동부에 보호막재가 증착되는 것을 방지한다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
- 복수의 마스크: 보호막을 증착 시 보호막재가 캐리어에 증착되는 것을 방지함
- 기판이동보호부: 캐리어상에 보호막재가 기판이동부에 증착되는 것을 방지함
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 보호막 증착 과정에서 보호막재가 캐리어 및 기판이동부에 원치 않게 증착되는 것을 방지하기 위한 구성요소들의 기능을 정의하고 있다.