기판 상의 막을 베이크하는 방법 및 이를 수행하기 위한장치 document_id 1020050004968

[청구항 29] 제28항에 있어서,상기 가스인젝터는 상기 스테이지의 상부에서 제1수평 방향으로 연장하며, 상기 제1수평 방향에 대하여 수직하는 제2수평 방향으로 가변되는 상대 위치를 갖는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 30] 제29항에 있어서,상기 가스인젝터는 상기 가열된 가스를 분사하기 위한 분사 노즐을 가지며, 상기 분사 노즐은 슬릿 형태를 갖고 상기 제1수평 방향으로 연장하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 31] 제30항에 있어서,상기 가스인젝터의 내부에는 상기 제1수평 방향으로 상기 분사 노즐을 통해 분사되는 가열된 가스의 유량 및 유속을 균일하게 하기 위한 다수의 관통공을 갖는 배플 플레이트가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 32] 제29항에 있어서,상기 흡입 부재는 상기 가스 인젝터와 평행하게 연장하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 33] 제28항에 있어서,상기 흡입 부재는 상기 가스 인젝터에 대하여 고정된 상대 위치를 갖는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 34] 제28항에 있어서,상기 가스인젝터와 연결되며 상기 가열된 가스를 공급하기 위한 가스 공급부를 더 포함하며, 상기 가스 공급부는, 가스를 저장하기 위한 저장 용기; 상기 저장 용기와 상기 가스 인젝터를 연결하는 가스 공급관; 상기 가스 공급관을 통해 흐르는 상기 가스를 가열하기 위한 히터; 및 상기 히터에 의해 가열된 가스의 유량을 조절하기 위한 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 35] 제34항에 있어서,상기 가스 공급부는, 상기 저장 용기와 상기 히터 사이에서 상기 가스에 포함된 오염 물질을 제거하기 위한 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 36] 제34항에 있어서,상기 가스 공급부는, 상기 가스에 포함된 파티클들을 제거하기 위한 파티클 필터와, 상기 가스에 포함된 수분을 제거하기 위한 수분 정제기와, 상기 가스에 포함된 유기 오염 물질을 제거하기 위한 유기 오염 물질 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 37] 제34항에 있어서,상기 히터에 의해 가열된 가스의 온도를 측정하기 위한 온도 센서와, 상기 온도 센서에 의해 측정된 상기 가열된 가스의 온도에 기초하여 상기 히터의 동작을 제어하고 상기 가열된 가스의 유량을 조절하기 위하여 상기 밸브의 동작을 제어하기 위한 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 38] 제28항에 있어서,상기 흡입 부재와 연결되며 상기 흡입된 퓸을 배출하기 위한 진공 배기부를 더 포함하며, 상기 진공 배기부는, 상기 퓸을 흡입하기 위한 진공압을 제공하는 진공 펌프; 상기 흡입 부재와 상기 진공 펌프를 연결하는 진공 배관; 및 상기 진공 배관에 설치된 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 39] 제38항에 있어서,상기퓸을 포함하는 배기 가스를 정화시키기 위하여 상기 진공 펌프와 연결된 가스 스크러버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 41] 제40항에 있어서,상기 기판은 상기 스테이지 상에서 수평 방향으로 지지되며, 상기 가스 인젝터는 제1수평 방향으로 연장하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 42] 제41항에 있어서,상기 흡입 부재는 상기 가스 인젝터와 평행하게 연장하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 43] 제41항에 있어서,상기 가스인젝터와 상기 흡입 부재는 상기 구동부와 연결되며, 상기 구동부에 의해 상기 제1수평 방향에 대하여 실질적으로 수직하는 제2수평 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 44] 제41항에 있어서,상기 스테이지는 상기 구동부와 연결되며, 상기 구동부에 의해 상기 제1수평 방향에 대하여 실질적으로 수직하는 제2수평 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 45] 제40항에 있어서,상기 가스인젝터와 상기 기판 상의 막 사이의 간격은 5mm 내지 50mm인 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 46] 제40항에 있어서,쌍의 흡입 부재가 하나의 가스 인젝터를 기준으로 서로 마주하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 47] 제46항에 있어서,상기 가스인젝터와 상기 한 쌍의 흡입 부재는 실질적으로 수직 방향으로 상기 가열된 가스의 분사 스트림과 상기 퓸을 흡입하기 위한 흡입 스트림들을 각각 형성하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 48] 제46항에 있어서,상기 가스인젝터는 실질적으로 수직 방향으로 상기 가열된 가스의 분사 스트림을 형성하고, 상기 한 쌍의 흡입 부재는 서로 대향하는 제1경사각 및 제2경사각으로 상기 퓸을 흡입하기 위한 흡입 스트림들을 각각 형성하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 49] 제40항에 있어서,쌍의 가스인젝터가 서로 마주하여 배치되며 하나의 흡입 부재가 상기 가스 인젝터들 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 50] 제49항에 있어서,쌍의 가스인젝터는 서로 대향하는 제1경사각 및 제2경사각으로 상기 가열된 가스의 분사 스트림들을 각각 형성하고, 상기 흡입 부재는 실질적으로 수직 방향으로 상기 퓸을 흡입하기 위한 흡입 스트림을 형성하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치. [청구항 51] 제40항에 있어서,상기 가스인젝터는 상기 기판에 대하여 제1경사각으로 상기 가열된 가스의 분사 스트림을 형성하고, 상기 흡입 부재는 상기 제1경사각에 대향하는 제2경사각으로 상기 퓸을 흡입하기 위한 흡입 스트림을 형성하는 것을 특징으로 하는기판상의막베위한장치.