스크라이브 라인들 및 그 형성방법들 document_id 1020050006848

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 보호막 패턴들nan은폴리이미드인것특징인스크라이브 라인. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 유전막은 black diamond, coral, aurora 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는물질인것특징인스크라이브 라인. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 유전막은 black diamond, coral, aurora 및 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질 중 적어도 두 개를 포함하는 low-k물질들인것특징인스크라이브 라인. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 유전막은 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 및 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질 중 적어도 두 개를 포함하는 lower-k 물질들과 함께 black diamond, coral, aurora 및 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질 중 적어도 두 개를 포함하는 low-k 물질들이교대적층된것특징인스크라이브 라인. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 몰딩막은 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는물질인것특징인스크라이브 라인. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 상부막은실리콘 나이트라이드인것특징인스크라이브 라인. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 하부막은 상기 유전막보다 큰 기계적 강도를 갖는물질인것특징인스크라이브 라인. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 보호막 패턴들nan은폴리이미드인것특징인스크라이브 라인. [청구항 11] 제 9 항에 있어서,상기 유전막 및 상기 패드막은 black diamond, coral, aurora 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는물질인것특징인스크라이브 라인. [청구항 12] 제 9 항에 있어서,상기 유전막 및 상기 패드막은 black diamond, coral, aurora 및 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질 중 적어도 두 개를 포함하는 low-k물질들인것특징인스크라이브 라인. [청구항 13] 제 9 항에 있어서,상기 유전막이black diamond, coral, aurora 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 low-k 물질인 경우,상기 패드막은 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는물질인것특징인스크라이브 라인. [청구항 14] 제 9 항에 있어서,상기 유전막이black diamond, coral, aurora 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 low-k 물질과 함께 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 lower-k 물질로 교대로 적층되어서 구성되는 경우,상기 패드막은 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 및 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질 중 적어도 두 개를 포함하는 lower-k물질들인것특징인스크라이브 라인. [청구항 15] 제 9 항에 있어서,상기 상부막은실리콘 나이트라이드인것특징인스크라이브 라인. [청구항 16] 제 9 항에 있어서,상기 하부막은 상기 유전막 및 상기 패드막보다 큰 기계적 강도를 갖는물질인것특징인스크라이브 라인. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 보호막 패턴들nan은폴리이미드인것특징인스크라이브 라인. [청구항 19] 제 17 항에 있어서,상기 유전막 및 상기 패드막은 black diamond, coral, aurora 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는물질인것특징인스크라이브 라인. [청구항 20] 제 17 항에 있어서,상기 유전막 및 상기 패드막은 black diamond, coral, aurora 및 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질 중 적어도 두 개를 포함하는 low-k물질들인것특징인스크라이브 라인. [청구항 21] 제 17 항에 있어서,상기 유전막이black diamond, coral, aurora 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 low-k 물질인 경우,상기 패드막은 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는물질인것특징인스크라이브 라인. [청구항 22] 제 17 항에 있어서,상기 유전막이black diamond, coral, aurora 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 low-k 물질과 함께 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 lower-k 물질로 교대로 적층되어서 구성되는 경우,상기 패드막은 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 및 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질 중 적어도 두 개를 포함하는 lower-k물질들인것특징인스크라이브 라인. [청구항 23] 제 17 항에 있어서,상기 상부막은실리콘 나이트라이드인것특징인스크라이브 라인. [청구항 24] 제 17 항에 있어서,상기 하부막은 상기 유전막 및 상기 패드막보다 큰 기계적 강도를 갖는물질인것특징인스크라이브 라인. [청구항 28] 제 25 항에 있어서,상기 유전막은 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 및 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질 중 적어도 두 개를 포함하는 lower-k 물질과 함께 black diamond, coral, aurora 및 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질 중 적어도 두 개를 포함하는 low-k 물질이 교대로적층형성한것특징인스크라이브 라인. [청구항 34] 제 31 항에 있어서,상기 유전막이black diamond, coral, aurora 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 low-k 물질을 사용해서 형성하는 경우,상기 패드막은 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 lower-k물질을사용형성하는것특징인스크라이브 라인. [청구항 35] 제 31 항에 있어서,상기 유전막이black diamond, coral, aurora 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 low-k 물질과 함께 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 lower-k 물질로 교대로 적층해서 형성하는 경우,상기 패드막은 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 및 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질 중 적어도 두 개를 포함하는 lower-k물질을사용형성하는것특징인스크라이브 라인. [청구항 36] 제 31 항에 있어서,상기 하부막은 상기 유전막 및 상기 패드막보다 큰 기계적 강도를 갖는물질인것특징인스크라이브 라인. [청구항 40] 제 37 항에 있어서,상기 유전막이black diamond, coral, aurora 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 low-k 물질을 사용해서 형성하는 경우,상기 패드막은 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 lower-k물질을사용형성하는것특징인스크라이브 라인. [청구항 41] 제 37 항에 있어서,상기 유전막이black diamond, coral, aurora 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 low-k 물질과 함께 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 또는 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질을 포함하는 lower-k 물질로 교대로 적층해서 형성하는 경우,상기 패드막은 nanoporous, bcb(benzocyclobutene), flare(fluorinated poly arylene ethers), alcap(aluminum, calcium and phosphorus), lkd(low-k dielectirc) 및 그와 유사한 유전 상수를 갖는 물질 중 적어도 두 개를 포함하는 lower-k물질을사용형성하는것특징인스크라이브 라인. [청구항 42] 제 37 항에 있어서,상기 하부막은 상기 유전막 및 상기 패드막보다 큰 기계적 강도를 갖는물질인것특징인스크라이브 라인.