문맥 (context)
[청구항 1]
기판을 파지하고, 상기 기판을 회전시키는 스핀척
상기 기판의 세정, 린싱, 건조를 위한 세정용 약액, 린싱용 린싱액, 건조용 건조가스 등의 처리유체를 공급하는 둘 이상의 처리유체 공급관을 구비한 상부 실린더
내부에 관통홀이 형성되고, 일단이 상기 상부 실린더와 결합하는 하부 실린더
일부가 상기 하부 실린더의 관통홀에 삽입되어 상기 하부 실린더 내에서 회전가능하게 구성되고, 상기 처리유체 공급관으로부터 공급되는 처리유체를 수용하기 위한 하나 이상의 환형홈 및 중앙홀을 구비하며, 또한 상기 환형홈과 연통된 하나 이상의 연통홀을 구비한 회전축
상기 회전축의 일단에 연결되고, 내부에 상기 연통홀 및 상기 중앙홀과 각각 연통되는 둘 이상의 전달홀을 구비하며, 또한 상기 전달홀과 각각 연결되어 상기 기판에 처리유체를 분사하는 다수의 분사노즐을 구비한 분사부; 및
상기 회전축을 회전시키기 위한 회전 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정건조장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 처리유체 공급관은 약액 공급관, 린싱액 공급관 및 건조가스 공급관으로 구성되고, 상기 중앙홀은 상기 건조가스 공급관으로부터 공급된 건조가스를 수용하며, 상기 환형홈은 상기 약액 공급관 및 상기 린싱액 공급관으로부터 공급된 약액 및 린싱액을 각각 수용하는 제 1,2 환형홈으로 구성되고, 상기 연통홀은 상기 제 1,2 환형홈과 각각 연통되는 제 1,2 연통홀로 구성되며, 상기 전달홀은 상기 제 1,2 연통홀 및 상기 중앙홀과 각각 연통되는 제 1,2,3 전달홀로 구성되고, 상기 분사노즐은 상기 제 1,2,3 전달홀과 각각 연통되는 다수의 약액 분사노즐,린싱액분사노즐및건조가스분사노즐인것을특징으로 하는세정건조장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,이소프로필알콜)를 일정 온도로 가열하여 증기상태로 상기 건조가스 공급관에 공급시키기 위한히터를추가구비한것을특징으로 하는세정건조장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 회전축의 일단에는 걸림턱이 추가로 형성되고, 상기 하부 실린더의 일단에는 상기 걸림턱이 안착되는 안착턱이 추가로 형성되어 상기 회전축이 상기 하부 실린더로부터 이탈되지구성된것을특징으로 하는세정건조장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 회전축과 상기 하부 실린더는 마그네틱 실링에 의해서로밀착되는것을특징으로 하는세정건조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
세정건조장치에서 처리유체의 종류에 따라 회전축의 중앙홀 및 환형홈과 연통되는 전달홀의 구성은 어떻게 이루어지는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation처리유체의 종류(약액, 린싱액, 건조가스)에 따라 회전축의 중앙홀, 환형홈, 그리고 이들과 연통되는 전달홀이 어떻게 구성되는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 각 처리유체 공급관의 종류와 그에 대응하는 중앙홀, 환형홈, 연통홀, 전달홀의 구성을 추출한다.
- 상기 중앙홀은 상기 건조가스 공급관으로부터 공급된 건조가스를 수용하며, 상기 환형홈은 상기 약액 공급관 및 상기 린싱액 공급관으로부터 공급된 약액 및 린싱액을 각각 수용하는 제 1,2 환형홈으로 구성되고, 상기 연통홀은 상기 제 1,2 환형홈과 각각 연통되는 제 1,2 연통홀로 구성되며, 상기 전달홀은 상기 제 1,2 연통홀 및 상기 중앙홀과 각각 연통되는 제 1,2,3 전달홀로 구성되고
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 중앙홀, 환형홈, 전달홀의 구성에 관한 직접적인 문구를 선택한다.
- 상기 중앙홀은 상기 건조가스 공급관으로부터 공급된 건조가스를 수용하며, 상기 환형홈은 상기 약액 공급관 및 상기 린싱액 공급관으로부터 공급된 약액 및 린싱액을 각각 수용하는 제 1,2 환형홈으로 구성되고, 상기 연통홀은 상기 제 1,2 환형홈과 각각 연통되는 제 1,2 연통홀로 구성되며, 상기 전달홀은 상기 제 1,2 연통홀 및 상기 중앙홀과 각각 연통되는 제 1,2,3 전달홀로 구성되고
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4논리 통합
logical_integration건조가스는 중앙홀을 통해, 약액과 린싱액은 각각 제1, 제2 환형홈을 통해 수용되며, 전달홀은 이들(제1, 2 연통홀 및 중앙홀)과 각각 연통되는 제1, 2, 3 전달홀로 구성됨을 통합한다.
- 상기 중앙홀은 상기 건조가스 공급관으로부터 공급된 건조가스를 수용하며, 상기 환형홈은 상기 약액 공급관 및 상기 린싱액 공급관으로부터 공급된 약액 및 린싱액을 각각 수용하는 제 1,2 환형홈으로 구성되고, 상기 연통홀은 상기 제 1,2 환형홈과 각각 연통되는 제 1,2 연통홀로 구성되며, 상기 전달홀은 상기 제 1,2 연통홀 및 상기 중앙홀과 각각 연통되는 제 1,2,3 전달홀로 구성되고
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5결론 도출
conclusion_formulation처리유체별 수용 경로와 전달홀의 구성을 정리하여 답변을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구조화된 형식으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
- 중앙홀: 건조가스 공급관으로부터 공급된 건조가스를 수용함
- 환형홈: 약액 공급관 및 린싱액 공급관으로부터 공급된 약액 및 린싱액을 각각 수용하는 제1, 2 환형홈으로 구성됨
- 전달홀: 제1, 2 연통홀(환형홈과 연통) 및 중앙홀과 각각 연통되는 제1, 2, 3 전달홀로 구성됨
핵심 해석 (core_interpretation)
세정건조장치의 회전축은 처리유체의 종류(약액, 린싱액, 건조가스)에 따라 각각 독립적인 수용 공간(환형홈, 중앙홀)과 연통 경로(연통홀, 전달홀)를 갖도록 설계되어 유체의 혼합 없이 정밀한 분사가 가능하다.