향상된 감도를 갖는 이미지 센서 및 그 제조 방법 document_id 1020050011838

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 제1 영역은 액티브 픽셀 어레이들이 구비되는 액티브 픽셀 센서 영역이고, 상기 제2 영역은 주변 회로 및 로직 회로들이 형성되어 있는주변영역인것을특징으로 하는이미지 센서. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기제1 및 제2 층간 절연막 구조물의 내부에는불투명막포함된것을특징으로 하는이미지 센서. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 제2 층간 절연막 구조물의 최상층상에는 외부로부터 신호를 입출력하기 위한패드구비되는것을특징으로 하는이미지 센서. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기제1및제2다층배선구리로이루어지는것을특징으로 하는이미지 센서. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 단위 픽셀의 광 입사면이 제1 다층 배선의 상부면과 동일한평면상위치하는것을특징으로 하는이미지 센서. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 단위 픽셀의 광 입사면이제1다층배선의상부면위치하는것을특징으로 하는이미지 센서. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 제2 층간 절연막 구조물은 상기 제1 층간 절연막 구조물 상부면과 동일한 평면상에서 추가적으로 층간 절연막 패턴 구조물이 더 적층된구조갖는것을특징으로 하는이미지 센서. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 층간 절연막 패턴 구조물에서 상기 제1 층간 절연막 구조물 상부면과 동일한 평면상에 직접 접촉하는 제1 층간 절연막 패턴의 두께는 상기 제1 층간 절연막 구조물 패턴보다 높게 위치하는 다른 층간 절연막 패턴들의 두께보다 더 두꺼운 것특징으로 하는이미지 센서. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 기판상에 형성되는 하부 절연막을 더 포함하고,상기 제1 층간 절연막 구조물 및 상기 제2 층간 절연막 구조물은상기하부절연막상형성되어있는것을특징으로 하는이미지 소자. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 제1 층간 절연막 구조물은 상기 하부 절연막상에 형성된 제1 내지 제n 식각 저지막들 및 상기 제1 내지 제2 식각 저지막들 사이에 적층되어 있는 제1 내지 제n-1 층간 절연막을 포함하고,상기 제1 내지 제n (n은 2 이상의 정수)식각 저지막들 및 제1 내지 제n-1 층간 절연막이 상기 주변 영역에 연장되어 형성되어 상기 제2 층간 절연막 구조물의 하부 구조물를 구성하고, 상기 제2 층간 절연막 구조물의 상부 구조물은 상기 제2 층간 절연막 구조물의 하부를 구성하는 제n 식각 저지막상에 형성되어 있는 제1 내지 제m (m은 2이상의 정수) 층간 절연막 패턴 및 상기 층간 절연막 패턴들 사이에 적층되어 있는 제1 내지 제m-1식각저지막패턴포함하는것을특징으로 하는이미지 소자. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 제1 영역은 액티브 픽셀 어레이들이 구비되는 액티브 픽셀 센서 영역이고, 상기 제2 영역은 주변 회로 및 로직 회로들이 형성되어 있는주변영역인것을특징으로 하는이미지 센서. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 제2 다층 배선 구조물의 최상층에는 외부로부터 신호를 입출력하기 위한패드더포함되는것을특징으로 하는이미지 센서. [청구항 15] 제12항에 있어서,상기 투명 절연막 패턴은 상기 제1 층간 절연막 구조물 내의 층간 절연막을 구성하는 물질보다 높은 굴절율을 갖는물질로이루어진것을특징으로 하는이미지 센서. [청구항 16] 제12항에 있어서,상기 단위 픽셀의 광 입사면이 제1 다층 배선의 상부면과 동일한평면상위치하는것을특징으로 하는이미지 센서. [청구항 17] 제12항에 있어서,상기 단위 픽셀의 광 입사면이제1다층배선의상부면위치하는것을특징으로 하는이미지 센서. [청구항 18] 제12항에 있어서,상기 기판상에 형성되는 하부 절연막을 더 포함하고,상기 제1 층간 절연막 구조물 및 상기 제2 층간 절연막 구조물은상기하부절연막상형성되어있는것을특징으로 하는이미지 소자. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 제1 층간 절연막 구조물은 상기 하부 절연막상에 형성된 제1 내지 제n 식각 저지막들 및 상기 제1 내지 제2 식각 저지막들 사이에 적층되어 있는 제1 내지 제n-1 층간 절연막을 포함하고,상기 제1 내지 제n (n은 2 이상의 정수)식각 저지막들 및 제1 내지 제n-1 층간 절연막이 상기 주변 영역에 연장되어 형성되어 상기 제2 층간 절연막 구조물의 하부를 구성하고, 상기 제2 층간 절연막 구조물의 상부는 상기 제2 층간 절연막 구조물의 하부를 구성하는 제n 식각 저지막상에 형성되어 있는 제1 내지 제m (m은 2이상의 정수) 층간 절연막 패턴 및 상기 층간 절연막 패턴들 사이에 적층되어 있는 제1 내지 제m-1식각저지막패턴포함하는것을특징으로 하는이미지 소자. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 제1 층간 절연막 패턴은 상기 제m 층간 절연 막 패턴보다 더 두꺼운 것특징으로 하는이미지 센서. [청구항 21] 제12항에 있어서,상기 기판상에 형성되는 하부 절연막을 더 포함하고,상기 개구부는 상기 하부 절연막까지 연장되어상기포토다이오드형성되어있는것을특징으로 하는이미지 소자. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 기판상에 형성되는 하부 절연막을 더 포함하고,상기 제1 층간 절연막 구조물 및 상기 제2 층간 절연막 구조물은상기하부절연막상형성되어있는것을특징으로 하는이미지 소자. [청구항 24] 제23항에 있어서,상기 제1 층간 절연막 구조물은 상기 하부 절연막상에 형성된 제1 내지 제n 식각 저지막들 및 상기 제1 내지 제2 식각 저지막들 사이에 적층되어 있는 제1 내지 제n-1 층간 절연막을 포함하고,상기 제1 내지 제n (n은 2 이상의 정수)식각 저지막들 및 제1 내지 제n-1 층간 절연막이 상기 주변 영역에 연장되어 형성되어 상기 제2 층간 절연막 구조물의 하부를 구성하고, 상기 제2 층간 절연막 구조물의 상부는 상기 제2 층간 절연막 구조물의 하부를 구성하는 제n 식각 저지막상에 형성되어 있는 제1 내지 제m (m은 2이상의 정수) 층간 절연막 패턴 및 상기 층간 절연막 패턴들 사이에 적층되어 있는 제1 내지 제m-1식각저지막패턴포함하는것을특징으로 하는이미지 소자. [청구항 25] 제22항에 있어서,상기 투명 절연막 패턴 상에평탄막패턴더구비되는것을특징으로 하는이미지 센서.