문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 공정챔버에 연결되는 배기라인과; 상기 배기라인에 순차적으로 설치되는 부스터펌프 및 드라이펌프와;일단은 상기 부스터펌프와 상기 드라이펌프의 사이에 연결되고, 타단은 상기 부스터펌프의 선단에 연결되어 상기 부스터펌프를 우회하는 바이패스라인포함하는공정장치
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 부스터펌프와 상기 드라이펌프 사이에는 제1 스리웨이밸브가 설치되고, 상기 부스터펌프의 선단에는 제2 스리웨이밸브가 설치되며, 상기 바이패스라인의 일단 및 타단이 상기 제1,2 스리웨이밸브각각 연결되는공정장치
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 제2 스리웨이밸브와 상기 부스터펌프 사이에는 밸브가 위치하고, 상기 제2 스리웨이밸브와 상기 밸브의 사이에는 슬로우 펌핑라인이 분기하여 상기 바이패스라인에 연결되며, 상기 슬로우 펌핑라인은 상기 바이패스라인보다 적은 직경가지는공정장치
[청구항 5]
제2항에 있어서,상기 배기라인에서 상기 바이패스라인이 분기되는 분기점과 상기 부스터펌프의 사이에는 상기 부스터펌프를 아이솔레이션하는 밸브가 설치되고, 상기 바이패스라인에도 상기 아이솔레이션 밸브와 연동하는 밸브설치되는공정장치
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 공정챔버에 연결되고, 타단은 벤팅가스 저장부에 연결되는 벤팅 라인과;상기 벤팅 라인의 중간에 설치되는 제1 히팅장치포함하는공정장치
[청구항 7]
제6항에 있어서,라인은 챔버의 중심에 대하여 2개 이상이 서로 대칭적연결되는공정 장치
[청구항 8]
제6항에 있어서,라인에서 상기 제1 히팅장치와 상기 챔버 사이에는 밸브가 설치되고, 상기 밸브와 상기 챔버 사이에는 하나 이상의 팽창부설치되는공정 장치
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 팽창부에는 제2 히팅장치결합되는공정 장치
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 이송부의 타 측부에는 하나 이상의 로드 포트연결되는공정장치
[청구항 11]
제1항에 있어서,상기 로봇은 직선운동 또는 회전운동 중 하나 이상의 운동방식취하는공정장치
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 진공 펌핑하는 단계는, 상기 공정챔버에 순차적으로 연결된 부스터펌프 및 드라이펌프 중에서 드라이펌프만을 이용하여 펌핑하는 단계와;부스터펌프 및 드라이펌프를 함께 이용하여 펌핑하는 단계포함하는기판의 로딩방법
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 가압벤팅단계는, 벤팅가스를 유입하는 벤팅 라인의 중간에서 벤팅가스를 가열하는 단계와;상기 가열된 벤팅가스를 상기 챔버 내부로 분사하는 단계포함하는기판의 언로딩 방법
[청구항 16]
제15항에 있어서,상기 가열 단계 이후에, 상기 가열된 벤팅가스를 팽창수단을 이용하여 팽창시키는 단계더 포함하는기판의 언로딩 방법
[청구항 17]
제16항에 있어서,상기 팽창단계 이후에 상기 벤팅가스를 재가열하는 단계더 포함하는기판의 언로딩 방법
[청구항 19]
제18항에 있어서,상기 부스터펌프와 상기 드라이펌프 사이에는 제1 스리웨이밸브가 설치되고, 상기 부스터펌프의 선단에는 제2 스리웨이밸브가 설치되며, 상기 바이패스라인의 일단 및 타단이 상기 제1,2 스리웨이밸브각각 연결되는진공펌핑 시스템
[청구항 20]
제19항에 있어서,상기 제2 스리웨이밸브와 상기 부스터펌프 사이에는 밸브가 위치하고, 상기 제2 스리웨이밸브와 상기 밸브의 사이에는 슬로우 펌핑라인이 분기하여 상기 바이패스라인에 연결되며, 상기 슬로우 펌핑라인은 상기 바이패스라인보다 적은 직경가지는진공펌핑 시스템
[청구항 21]
제18항에 있어서,상기 배기라인에서 상기 바이패스라인이 분기되는 분기점과 상기 부스터펌프의 사이에는 상기 부스터펌프를 아이솔레이션하는 밸브가 설치되고, 상기 바이패스라인에도 상기 아이솔레이션 밸브와 연동하는 밸브설치되는진공펌핑 시스템
[청구항 23]
제22항에 있어서,상기 제2 단계는 챔버의 내부압력이 100 torr 내지 300 torr에 이른 때시작되는진공펌핑방법
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
진공펌핑 시스템에서 바이패스라인의 일단과 타단은 각각 어떤 밸브에 연결되며, 이 밸브들은 각각 어느 위치에 설치되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation바이패스라인의 일단과 타단이 연결되는 밸브의 종류와 각 밸브의 설치 위치를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction바이패스라인의 일단은 부스터펌프와 드라이펌프 사이에 연결되고, 타단은 부스터펌프의 선단에 연결됨을 확인한다.
- 일단은 상기 부스터펌프와 상기 드라이펌프의 사이에 연결되고, 타단은 상기 부스터펌프의 선단에 연결되어
-
3근거 선택
evidence_selection바이패스라인의 연결 지점과 밸브의 위치를 명시한 청구항 3 및 19의 구절을 선택한다.
- 상기 부스터펌프와 상기 드라이펌프 사이에는 제1 스리웨이밸브가 설치되고, 상기 부스터펌프의 선단에는 제2 스리웨이밸브가 설치되며, 상기 바이패스라인의 일단 및 타단이 상기 제1,2 스리웨이밸브각각 연결되는
-
4논리 통합
logical_integration바이패스라인의 일단은 부스터펌프와 드라이펌프 사이의 제1 스리웨이밸브에 연결되며, 타단은 부스터펌프의 선단에 있는 제2 스리웨이밸브에 연결됨을 통합한다.
- 상기 부스터펌프와 상기 드라이펌프 사이에는 제1 스리웨이밸브가 설치되고, 상기 부스터펌프의 선단에는 제2 스리웨이밸브가 설치되며, 상기 바이패스라인의 일단 및 타단이 상기 제1,2 스리웨이밸브각각 연결되는
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5결론 도출
conclusion_formulation일단은 제1 스리웨이밸브(부스터펌프와 드라이펌프 사이)에, 타단은 제2 스리웨이밸브(부스터펌프 선단)에 연결된다는 결론을 도출한다.
- 상기 부스터펌프와 상기 드라이펌프 사이에는 제1 스리웨이밸브가 설치되고, 상기 부스터펌프의 선단에는 제2 스리웨이밸브가 설치되며, 상기 바이패스라인의 일단 및 타단이 상기 제1,2 스리웨이밸브각각 연결되는
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구조화된 형식으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 부스터펌프와 상기 드라이펌프 사이에는 제1 스리웨이밸브가 설치되고, 상기 부스터펌프의 선단에는 제2 스리웨이밸브가 설치되며, 상기 바이패스라인의 일단 및 타단이 상기 제1,2 스리웨이밸브각각 연결되는
최종 답변 (final_answer)
{"바이패스라인_일단": {"연결_밸브": "제1 스리웨이밸브", "밸브_설치_위치": "부스터펌프와 드라이펌프 사이"}, "바이패스라인_타단": {"연결_밸브": "제2 스리웨이밸브", "밸브_설치_위치": "부스터펌프의 선단"}}
핵심 해석 (core_interpretation)
부스터펌프를 우회하는 바이패스라인을 구성하기 위해, 부스터펌프와 드라이펌프 사이 및 부스터펌프 선단에 각각 제1, 제2 스리웨이밸브를 배치하여 라인을 연결하는 기술이다.