기체분위기에서 폭로처리를 수행하는 기판처리장치 및 방법 document_id 1020050016175

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 챔버는 복수개의 상기 기체도입구들구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 기체분배수단은, 상기 챔버 내에서, 각 기체도입구보다도 상기 기판의 배치영역에 가까운 위치에 배치되며,상기 기체분배수단에서부터 세워지도록 마련된 격벽들에 의해 상기 기체도입구를 소정수마다 둘러쌈으로써,상기제1공간을복수의소공간들분할되게하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 격벽들에는, 인접한 소공간들을 서로 연통시키는구멍혹은틈형성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 복수의 소공간들은, 상기 격벽들에 의해서로밀폐되는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 기체분배수단은, 상기 챔버 내에서, 상기 확산부재보다도 상기 기판의 배치영역에 가까운 위치에 배치되며,상기 기체분배수단에서부터 세워지도록 마련된 격벽들에 의해, 상기 제1공간이 복수의 소공간들로 분할됨과 아울러, 그것들 중의 임의의 소공간 내에 상기 확산부재가 놓이고,상기 격벽들에 의해, 인접한 소공간들을 서로 연통시키는구멍혹은틈형성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 기체분배수단은, 각각 대응하는 기판과 대향하는위치에놓인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 챔버는 복수개의 상기 기체도입구들구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 복수개의 기체도입구들의 각각은, 상기 기체분배수단의 각각에 대응하여마련된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 11] 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기체분배수단nan은판형상구성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 챔버는 복수개의 상기 기체도입구들구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 14] 제2항, 제3항, 제4항, 제5항, 제9항, 제10항 및 제13항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기체도입구마다기체유량제어기구구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 15] 제1항 내지 제10항, 제12항 및 제13항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기체분배수단과 겹치게 배치되며, 상기 기체분배수단에 형성된 개구들 중의 임의의 개수의 개구들을 막음으로써, 상기 폭로처리용기체의 분출범위를 규정하는기체분출범위규정수단더구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 기체분무체는, 상기 챔버 내에 배치된 기판을 주사하도록이동하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 기체분무체는, 상하로 움직일 수된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 19] 제16항 내지 제18항 중 어느 한에 있어서,상기 기체분무체는, 중공형상을 한 것과 아울러, 복수개의 개구들을 가지며, 당해 개구들을 통해 기판에폭로처리용기체분무하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 20] 제16항 내지 제18항 중 어느 한에 있어서,상기 기체분무체는 그 중심축의 둘레로 회전가능하게형성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 21] 제1항 내지 제10항, 제12항, 제13항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,대기압을 0㎪로 한 경우, 상기 챔버 내의 압력을 -20 내지 20㎪ 범위 내의 처리압력으로 함으로써, 상기 폭로처리를 행하는기능가지는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 22] 제1항 내지 제10항, 제12항, 제13항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,대기압을 0㎪로 한 경우, 상기 챔버 내의 압력을 -5 내지 5㎪ 범위 내의 처리압력으로 함으로써, 상기 폭로처리를 행하는기능가지는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 23] 제1항 내지 제10항, 제12항, 제13항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 챔버 내를, 설정된 처리압력으로 유지하는기능가지는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 24] 제23항에 있어서,상기 기체배출구의 열린정도를 조절하는 열린정도조절기구를를 구비하며, 당해 열린정도조절기구에 의해 상기 기체배출구의 열린정도를 조정함으로써, 상기 챔버 내를 설정된 처리압력으로 유지하도록구성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 25] 제1항 내지 제10항, 제12항, 제13항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리압력을 ±0.1㎪의 오차범위 내로 제어하는기능갖는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 26] 제1항 내지 제10항, 제12항, 제13항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,분 이상의 배기능력을갖는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 27] 제1항 내지 제10항, 제12항, 제13항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판에 탑재되는 스테이지는, 상하로 움직일 수형성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 28] 제1항 내지 제10항, 제12항, 제13항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판이 탑재되는 스테이지는, 그 중심의 둘레로 회전가능하게형성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 29] 제1항 내지 제10항, 제12항, 제13항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판의 온도를 조정하는기판온도조정수단더구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 30] 제29항에 있어서,상기 기판온도조정수단은, 상기 기판이 탑재되는 스테이지의 온도를 제어하는 것에 의해,상기기판의온도제어하는것특징으로 하는기판처리장치. [청구항 31] 제1항 내지 제10항, 제12항, 제13항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 폭로처리용기체의 온도를 조정하는기체온도조정수단더구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 32] 제1항 내지 제10항, 제12항, 제13항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 챔버 내에 배치된 기판과 상기 기체분배수단 간의 간격은5내지설정된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 33] 제1항 내지 제10항, 제12항, 제13항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 챔버와 연결되며, 감압상태 하에서 상기 기판을 상기 챔버에 반입하거나, 혹은, 감압상태 하에서 상기 기판을 상기 챔버로부터 반출하기 위한 감압반송챔버; 및상기 감압반송챔버와 연결되며, 대기압 하에 상기 기판을 외부로부터 반입하며, 감압상태 하에서 상기 기판을 상기 감압반송챔버에 반입함과 아울러, 감압상태 하에 상기 기판을 상기 감압반송챔버로부터 반출하고, 대기압 하에 상기 기판을 외부에 반출하는압력조정반송챔버구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 34] 제1항 내지 제10항, 제12항, 제13항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 챔버 내에 플라즈마를 발생시키는플라즈마발생기구더구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 35] 제34항에 있어서,상기 플라즈마발생기구는, 상기 기판의 위쪽에 배치된 상부전극부와, 상기 기판의 아랫쪽에 배치된 하부전극부로 이루어지며,상기 상부전극부 및 상기 하부전극부 중의 어느 한 쪽은 접지되며, 다른 쪽은 고주파전원을 통해접지되는것을특징으로 하는기판처리장치.