문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,자석 시스템 및 상기 보조 자석 시스템은 halbach구성배치되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 자기 요소는 고도로 투자가능한물질포함하여이루어지는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 자기 요소는 상기 보조 자석 시스템내에 포함된 서로 대향하는 보조 자석들 사이에서 연장되고, 상기 서로 대향하는 보조 자석들은 실질적으로역평행극성들가지는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 자기 요소는 상기 메인 자석 시스템의 인접한 메인 자석들에 대해 상기 서로 대향하는보조자석들의측면들사이연장되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 자기 요소는 상기 제1 및 제2자석 시스템 서브어셈블리 중 하나로부터 상기 제1 및 제2자석 시스템 서브어셈블리 중 다른 하나로의 방향으로 극성을 가지는영구자석포함하여이루어지는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 자기 요소는 상기 제1 및 제2자석 시스템 서브어셈블리의 메인 자석들에 인접하여 위치된 고도로 투자가능한 물질을 포함하여 이루어지는부분들사이연장되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 도전성 요소와 상기 자기 요소의 거리는 상기 액츄에이터의 릴럭턴스 힘이 상기 액츄에이터에 의해 생성되는 최대 힘의 1% 미만이 되도록 충분히 큰 것특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,자석 시스템 및 상기 보조 자석 시스템은 halbach구성배치되는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 11]
제9항에 있어서,상기 자기 요소는 고도로 투자가능한물질포함하여이루어지는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 12]
제9항에 있어서,상기 자기 요소는 상기 보조 자석 시스템내에 포함된 서로 대향하는 보조 자석들 사이에서 연장되고, 상기 서로 대향하는 보조 자석들은 실질적으로역평행극성들가지는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 자기 요소는 상기 메인 자석 시스템의 인접한 메인 자석들에 대해 상기 서로 대향하는보조자석들의측면들사이연장되는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 14]
제9항에 있어서,상기 자기 요소는 상기 제1 및 제2자석 시스템 서브어셈블리 중 하나로부터 상기 제1 및 제2자석 시스템 서브어셈블리 중 다른 하나로의 방향으로 극성을 가지는영구자석포함하여이루어지는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 자기 요소는 상기 제1 및 제2자석 시스템 서브어셈블리의 메인 자석들에 인접하여 위치된 고도로 투자가능한 물질을 포함하여 이루어지는부분들사이연장되는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 16]
제9항에 있어서,상기 도전성 요소와 상기 자기 요소의 거리는 상기 액츄에이터의 릴럭턴스 힘이 상기 액츄에이터에 의해 생성되는 최대 힘의 1% 미만이 되도록 충분히 큰 것특징으로 하는액츄에이터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
리소그래피 장치에서 도전성 요소와 자기 요소 사이의 거리는 액츄에이터의 릴럭턴스 힘이 최대 힘의 어느 정도 수준 미만이 되도록 설정되어야 하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation리소그래피 장치에서 도전성 요소와 자기 요소 사이의 거리에 설정된 릴럭턴스 힘의 임계값 수준을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8번과 16번에서 도전성 요소와 자기 요소의 거리 및 릴럭턴스 힘에 관한 조건을 추출한다.
- 상기 도전성 요소와 상기 자기 요소의 거리는 상기 액츄에이터의 릴럭턴스 힘이 상기 액츄에이터에 의해 생성되는 최대 힘의 1% 미만이 되도록 충분히 큰 것
-
3근거 선택
evidence_selection릴럭턴스 힘이 최대 힘의 몇 퍼센트 미만이 되어야 하는지 명시된 구절을 선택한다.
- 최대 힘의 1% 미만이 되도록
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4논리 통합
logical_integration추출된 수치 조건인 '최대 힘의 1% 미만'이 질문에서 요구하는 거리 설정의 기준임을 확인한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation도전성 요소와 자기 요소 사이의 거리는 릴럭턴스 힘이 최대 힘의 1% 미만이 되도록 충분히 커야 한다는 결론을 도출한다.
- 최대 힘의 1% 미만이 되도록 충분히 큰 것
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변으로 '1% 미만'을 제시한다.
최종 답변 (final_answer)
1% 미만
핵심 해석 (core_interpretation)
액츄에이터의 성능 저하를 방지하기 위해 도전성 요소와 자기 요소 사이의 거리를 조절하여 릴럭턴스 힘을 최대 힘의 1% 미만으로 제어하는 기술적 구성에 관한 것이다.