다이나믹 어퍼처 구동 장치 및 그 진동 저감 방법 document_id 1020050021637

[청구항 1] 다이나믹 어퍼처를 회전시켜 입사광량을 조절하는 다이나믹 어퍼처 구동 장치에 있어서, 상단부가 상기 다이나믹 어퍼처에 연결되어 소정 회전각 내에서 좌우로 회전되도록 구성된 회전수단 소정의 전기신호에 따라 상기 회전수단을 좌우로 회전시키는 구동수단 상기 회전수단의 현재위치를 검출하는 감지수단; 및 입력받은 목표위치신호에 상응하는 목표위치와 상기 감지수단에서 검출한 현재위치를 비교하여 상기 회전수단이 상기 목표위치에 도달하도록 상기 구동수단을 제어하는 위치제어신호를 생성하는 구동제어수단을 포함하되, 상기 회전수단의 회전으로 인한 진동이 소정 기준 이하가 되도록 설정된 상기 회전수단의 속도에 상응하여 상기 구동제어수단은 상기 목표위치신호의 상승 시간 및 하강 시간을 증가시킨 것을 특징으로 하는 다이나믹 어퍼처 구동 장치 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 구동수단은 상기 회전수단과 일체로 형성되어 상기 구동제어수단에 의해 생성된 상기 위치제어신호가 인가되는 구동코일; 및상기 구동코일로부터 이격 설치되는구동마그네트포함하는것을특징으로 하는다이나믹 어퍼처 구동 장치. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 구동제어수단은상기 감지수단에서 검출된 현재위치에 대한 값을 전압신호로 변환하는 신호변환부;입력된 상기 목표위치신호의 상승 시간 및 하강 시간을 증가시키는 rc 적분회로;상기 rc 적분회로를 통해 상승 시간 및 하강 시간이 증가한 목표위치신호에 의한 목표위치와 상기 신호변환부로부터 인가된 현재위치를 비교하여 편차를 산출하는 제1 연산부;상기 제1 연산부의 출력신호를 토크제어값으로 변환하는 토크변환부;상기 토크변환부의 출력값에 상기 위치제어신호의 피드백값을 감산하는 제2 연산부;상기 제2 연산부의 출력을 증폭하는 신호증폭부;상기 신호증폭부의 출력신호를 정류하여 상기 구동코일에 인가하는 h-브릿지; 및상기 구동코일에 인가되는 신호를 피드백하여 상기 제2 연산부에 제공하는신호검출부포함하는것을특징으로 하는다이나믹 어퍼처 구동 장치. [청구항 4] 청구항 1에 있어서,상기 감지수단은상기 회전수단의 회전경로와 평행하게 배치되며, 길이방향을 따라 착자세기가 선형적으로 변화되어 회전수단의 회전각도별로 다른 착자세기를 제공하는 센서마그네트; 및상기 회전수단과 일체로 회전하면서, 회전각도에 따라 변화되는 상기 센서마그네트의 자기 세기를 전기신호로 변환하는홀센서포함하는것을특징으로 하는다이나믹 어퍼처 구동 장치. [청구항 5] 청구항 1에 있어서,상기 감지수단은상기 회전수단의 회전에 의하여 상기 회전수단과의 간격이 변화되도록 소정 위치에 고정 설치되며 일정한 착자세기를 갖는 센서마그네트; 및상기 회전수단과 일체로 회전하면서, 회전각도에 따라 변화되는 상기 센서마그네트의 자기 세기를 전기신호로 변환하는홀센서포함하는것을특징으로 하는다이나믹 어퍼처 구동 장치.