반도체 디바이스용 볼 리웍장치 document_id 1020050023630

[청구항 2] 제 1항에 있어서,송대와 트레이 스테이션 사이에는 트레이가 놓여지는 트레이 장착부가 위치하고, 상기 트레이 장착부는 트레이 스테이션으로부터 운반된 리웍 대기중인 작업트레이가 놓여지는 작업트레이 장착대와, 리웍 작업 후 불량으로 판정된 디바이스들을 수용하기 위한 리젝트 트레이가 놓여지는 리젝트 트레이 장착대로 구성된 것을특징으로하는볼 리웍장치. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 트레이 스테이션에서 이송대에 이르는 구역의 상부에는 제1 왕복대가 구비되고, 제1 왕복대 상에는 트레이 스테이션과 트레이 장착부 사이에 트레이 운반을 위한 트레이 픽커와, 트레이 장착부와 이송대 사이에 디바이스 운반을 위한 제1 픽커가 설치되어 각 단계에 따라 제어수단에 의해 제1 왕복대의 축방향으로 왕복 운동하며, 제1 픽커는 나란하게 구비되는 복수의 픽업툴로 이루어져 이들 픽업툴이 작업트레이에서 이송대로, 이송대에서 리젝트 트레이로 각각의 디바이스의 운반을 위한 용도로 구분하여 사용되는 것을특징으로하는볼 리웍장치. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 트레이 스테이션은 다수의 작업트레이가 적층되어 순차적으로 인출할 수 있도록 된 작업트레이 적재부와, 리웍 작업이 완료된 디바이스들로 채워진 제품 트레이를 적재하기 위한 제품 트레이 적재부와, 다수의 리젝트 트레이가 적층되어 순차적으로 인출할 수 있도록 된 리젝트 트레이 적재부로 구성되고, 이들 각각의 트레이 적재부는 적재된 트레이들을 승·하강시키기 위한 승강용 엘리베이터를 갖는 것을특징으로하는볼 리웍장치. [청구항 5] 제 3항에 있어서,이송대는 제1 왕복대와 직각을 이루는 리니어 스테이지 상에 설치되고, 수평방향으로 회전하는 일정 길이의 평판 구조로 된 회전판, 및 이 회전판의 하부에서 소정의 회전 동력을 제공하는 모터를 포함하되, 상기 회전판의 양단에는 적어도 하나의 디바이스가 수용되는 포켓이 형성된 포켓부재가 각각 구비되며, 이들 포켓부재의 각 포켓 중앙에는 진공을 이용하여 디바이스를 고정하기 위한 진공홀이 제공된 것을특징으로하는볼 리웍장치. [청구항 6] 제 5항에 있어서,상기 모터는, 상기 회전판의 양단 포켓에 수용된 디바이스 상의 픽업 기준점이 바뀌는 것을 방지하기 위해 일방향 구동 모터를 채용한 것을특징으로하는볼 리웍 장치. [청구항 7] 제 5항에 있어서,이송대는 리니어 모터에 의해 리니어 스테이지의 축방향을 따라 슬라이딩 가능하도록 그 모체가 리니어 스테이지의 양 측단에 레일 결합 형태로 연결되어, 상기 리니어 스테이지의 축방향으로 이동하는 동안 이송대의 각 포켓에 안착되어진 디바이스들은 제1 검사비젼과 리페어 스테이션을 통과하며 리웍작업이 이루어지는 것을특징으로하는볼 리웍장치. [청구항 8] 제 1항에 있어서,제1 검사비젼은 모터에 의해 상하 방향으로 슬라이딩 이동이 가능한 장착스테이지 상에 결합·고정되어, 디바이스 또는 볼의 크기에 따라 상기 장착스테이지의 승강 작용을 통해 볼의 외관상태를 검사하되, 검사 정확도를 높이기 위해 3차원적인 검사가 가능한 3d 인스펙션 비젼을 채용한 것을특징으로하는볼 리웍장치. [청구항 9] 제 1항에 있어서,리페어 스테이션은 화이버 레이저를 발생시키는 레이저 발생기를 포함하고, 상기 레이저 발생기의 일측에는 원활한 리페어 작업을 위해 디바이스의 볼 표면에 플럭스를 제공하는 플럭스 분배기가 구비되며, 상기 플럭스 분배기의 타측에는 플럭스 분배기에 의해 운반될 플럭스가 수용되는 플럭스 공급기가 구비된 것을특징으로하는볼 리웍장치. [청구항 10] 제 9항에 있어서,리페어 스테이션은 플럭스 공급기의 하단에 측방향으로 연장·형성된 플럭스 용기가 구비되고, 플럭스 분배기의 하단에는 상기 플럭스 용기에 수용된 플럭스를 묻혀서 작업중에 있는 디바이스의 볼 표면으로 운반하도록 된 플럭스 암이 구비되되, 상기 플럭스 분배기는 이의 내부에 하나 이상의 모터가 내장되어 이 모터의 구동에 의해 레이저 발생기의 측부를 따라 슬라이딩하여 승·하강하고, 상기 플럭스 암은 상기 모터의 구동에 의해 플럭스 용기에서 레이저 발생기의 레이저 빔 방출측까지 회전하도록 된 것을특징으로하는볼 리웍장치. [청구항 11] 제 9항 또는 제 10항에 있어서,리페어 스테이션은 볼의 위치 및 상태를 인식하기 위한 검사 카메라를 더 포함하되, 상기 레이저 발생기와 플럭스 분배기는 상하 방향으로 이동이 가능한 종축 스테이지 상에 설치되고 상기 종축 스테이지는 그와 직교를 이루며 수평 방향으로 이동이 가능한 횡축 스테이지 상에 설치되어, 상기 레이저 발생기 및 플럭스 암이 작업중인 디바이스 상의 볼을 향하여 상하, 전후 및 좌우 방향으로 선택적으로 이동하며, 상기 종축 및 횡축 스테이지의 구동은 상기 검사 카메라를 통한 볼 위치의 파악과 함께 이들 각각에 구비된 모터에 의해 이루어지도록 된 것을특징으로하는볼 리웍장치. [청구항 12] 제 5항에 있어서,리니어 스테이지의 끝단에서 테스트 스테이션에 이르는 구역의 상부에는 제2 왕복대가 구비되고, 제2 왕복대 상에는 리니어 스테이지의 끝단에 도달한 이송대와 테스트 스테이션 사이에 디바이스 운반을 위한 제2 픽커가 설치되어, 각 단계에 따라 제어수단에 의해 제2 왕복대의 축방향으로 왕복 운동하되, 상기 제2 픽커는 나란히 구비된 복수의 픽업툴로 이루어져 이들 픽업툴이 이송대에서 클리닝 스테이션으로, 그리고 클리닝 스테이션에서 테스트 스테이션으로 각각의 디바이스 운반을 위한 용도로 구분하여 사용되는 것을특징으로하는볼 리웍장치. [청구항 13] 제 12항에 있어서,클리닝 스테이션은 본체 내부에 고속으로 회전하는 회전판이 내장되고, 이 회전판의 상면에는 제2 픽커에 의해 운반된 디바이스를 안착시키기 위한 한 쌍의 스테이지가 구비되며, 각 스테이지의 상면 중심에는 회전판이 회전하는 동안 디바이스가 이탈되는 것을 방지하도록 진공으로 압착하여 디바이스를 고정하는 진공홀이 구비되되, 상기 회전판은 본체 하부에 구비된 모터의 구동으로 회전하고, 상기 본체는 상부가 개방되어 그 하부에 상기 모터의 외부를 감싸는 하우징으로 지지되며, 상기 본체의 개방 상부는 개폐실린더의 작동에 의해 개방 또는 폐쇄 방향으로 동작하는 덮개에 의해 개폐되는 것을특징으로하는볼 리웍장치. [청구항 14] 제 13항에 있어서,상기 회전판의 상부에는 볼 세척을 위해 디바이스 표면에 세척액을 분사하는 세정노즐과 상기 세척된 볼을 말리기 위해 디바이스 표면에 드라이 에어를 분사하는 에어노즐이 구비되되, 이들 세정노즐 및 에어노즐은 상기 회전판의 양측에서 중심 방향으로 연장되어진 것을특징으로하는볼 리웍장치. [청구항 15] 제 1항에 있어서,상기 제2 검사비젼은 클리닝 스테이션과 테스트 스테이션 사이에 위치하되, 2차원적인 검사가 가능한 2d 인스펙션 비젼을 채용하는 것을특징으로하는볼 리웍장치. [청구항 16] 제 12항 내지 제 14항 중 어느 한 항에 있어서,테스트 스테이션은 상기 제2 픽커에 의해 운반된 디바이스를 진공을 이용하여 픽업하는 한 쌍의 제3 픽커와, 이들 제3 픽커에 의해 픽업된 디바이스의 정상 유무를 확인하기 위해 전기 저항 테스트를 수행하는 한 쌍의 검사 스테이지를 포함하고, 상기 각 검사 스테이지의 중심에는 제3 픽커에 의해 픽업된 디바이스를 안착시키기 위한 검사포켓이 구비되며, 상기 제3 픽커는 횡축의 끝단에 회전가능하게 결합되고 상기 횡축은 이와 직교하며 종방향으로 설치되어진 지지대의 상단을 관통하며 지지되는 것을특징으로하는볼 리웍장치.