반도체 제조장치 document_id 1020050025447

[청구항 1] 웨이퍼에 박막을 증착시키는 공정이 이루어지는 반응챔버와, 상기 웨이퍼로 반응가스를 분사시키는 샤워헤드와, 상기 웨이퍼를 승강 가능하게 받치는 웨이퍼 구동유닛을 구비한 반도체 제조장치에 있어서, 상기 웨이퍼 구동유닛은 상기 웨이퍼를 받치는 받침대와, 상기 받침대에 연결된 회전축과, 상기 회전축과 연결된 회전모터를 구비하여 상기 웨이퍼를 회전시킬 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 웨이퍼 구동유닛은 상기 회전모터와 회전축에 각각 설치된 제 1 풀리와, 상기 두 제 1 풀리를 연결하는 제 1 벨트를 더 구비하여서, 상기 회전모터의 회전력이상기회전축전달되게한것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 받침대는 상기 반응챔버의 내부에 배치되어 상기 웨이퍼가 올려지는 서셉터와, 상기 서셉터에서 상기 반응챔버의 외부로 연장되어 상기 회전축과 연결되는연장축구비한것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 웨이퍼 구동유닛은 상기 받침대를 승강시키기 위한 승강모터를 더 구비하여 상기 받침대를 상하로 이동시킬 수 있게 한 것특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 웨이퍼 구동유닛은 상기 회전모터를 지지하는 제 1 지지대와, 상기 승강모터를 지지하는제2지지대더구비한것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 웨이퍼 구동유닛은 상기 제 2 지지대에 설치되고 외면에 스크류 홈이 마련된 수직축과, 상기 승강모터와 수직축에 각각 설치된 제 2 풀리와, 상기 두 제 2 풀리를 연결하는 제 2 벨트를 더 구비하여서, 상기 승강모터의 회전력이상기수직축전달되게한것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 웨이퍼 구동유닛은 내부에 볼 스크류 홈이 형성되어 상기 수직축의 스크류 홈을 따라 상하 이동하게 되는 아암과, 상기 아암과 결합되어 승강하는 승강통을 더 구비하고, 상기 승강통은 상기 제 1 지지대와 결합되어 상기 회전모터와 회전축, 그리고 상기 받침대를 상하 이동할 수 있게 한 것특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 웨이퍼 구동유닛은 상기 승강통의 하단에 결합되어 상기 승강통의 하단을 밀폐시키는 밀폐씰을 더 구비하여서, 상기 회전축을 회전시키기 위한 상기 제 1 풀리는 상기 밀폐씰에 결합되도록 하고, 상기 회전축은 상기 밀폐씰에 연결되어 회전 가능하게되게한것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 웨이퍼 구동유닛은 상기 반응챔버의 외측에 결합되는 하우징과, 상기 하우징과 상기 승강통을 연결하는 주름통을 더 구비하여 상기 하우징과 승강통과 주름통의 내부가 상기 밀폐씰에 의해 밀폐되고 상기 승강통이 상기 주름통의 신축작용에 의해승강가능하게되는것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 10] 제 8 항에 있어서,상기 밀폐씰은 자성 유체씰인것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 11] 제 8 항에 있어서,상기 웨이퍼 구동유닛은 상기 밀폐씰과 상기 회전축을 연결하는커플링더구비한것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 12] 제 9 항에 있어서,상기 하우징의 일 측면에는 전선 공급홀이 마련되고, 상기 회전축에는 측면에서 상단부로 이어지는 전선 설치홀이 마련되어서, 상기 하우징을 통해 상기 받침대에 복수의 전선이 연결되게 함으로써 상기 받침대를 가열시킬 수 있게 함과 동시에 상기 받침대의 회전을 제어할 수 있게 한 것특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 웨이퍼 구동유닛은 상기 전선 공급홀에 설치되어 상기 전선 공급홀을 밀폐한 상태로 상기 복수의 전선이 통과되도록 하는전선피드더구비한것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 14] 제 12 항에 있어서,상기 웨이퍼 구동유닛은 상기 회전축이 일정 회전 범위 이내에서 정역 회전하도록 하기 위한회전제한장치더구비한것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 회전 제한장치는 상기 밀폐씰에서 연장하고 외주면에 일정길이의 나선형 그루브가 형성된 몸체와, 상기 제 2 지지대에서 연장한 수직바와, 상기 수직바에 결합된 슬라이드 부재와, 상기 슬라이드 부재에서 수평으로 연장하여 상기 그루브에 끼워지는 스톱핀을 구비하여서, 상기 몸체가 회전함에 따라 상기 스톱핀이 상기 그루브의 상단과 하단에 걸려지게 됨으로써 상기 회전축의 정역방향으로의회전범위한정하게되는것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 16] 제 9 항에 있어서,상기 밀폐씰과 상기 회전축은 중공으로 형성되어서 상기 밀폐씰과 상기 회전축의 중공부를 통해 배치된 복수의 전선이 상기 받침대에 연결되게 함으로써 상기 받침대를 가열시킬 수 있게 함과 동시에 상기 받침대의 회전을 제어할 수 있게 한 것특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 17] 제 1 항에 있어서,상기 웨이퍼 구동유닛은 상기 회전축의 외측에 설치되고 그 내부에 상기 회전축을 회전 가능하게 지지하기 위한 복수의 베어링이 배치된베어링하우징더구비한것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 복수의 베어링nan은트러스트베어링포함하는것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 19] 제 17 항에 있어서,상기 복수의 베어링은 깊은홈베어링포함하는것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 20] 제 9 항에 있어서,상기 하우징의 일 측면에는 상기 반응챔버와 연통되는 배기관이 설치되어 상기 반응챔버에서 발생하는 배기가스를 배출시킬 수 있게 함과 동시에, 상기 반응챔버를 진공상태로 유지할 수 있게 한 것특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 21] 제 9 항에 있어서,상기 하우징에는 상기 하우징의 내부를 냉각시킬 수 있도록냉각기체공급홀마련되어있는것을특징으로 하는반도체 제조장치. [청구항 22] 제 21 항에 있어서,상기 냉각기체는질소가스인것을특징으로 하는반도체 제조장치.