문맥 (context)
[청구항 1]
빛이 투과되며 식각이 될 영역을 한정하는 패턴 노광부와 빛이 차단되며 식각되지 않는 영역을 한정하는 패턴 차광부를 구비하는 회로 패턴부
상기 회로 패턴부를 둘러싸는 스크라이브 레인(scribe lane)
상기 스크라이브 레인에 위치하는 정렬키; 및
상기 스크라이브 레인에 위치하는 더미 노광부를 구비하는 노광부; 및
상기 노광부를 둘러싸며 빛의 투과가 차단된 차광부를 구비하는 포토마스크
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 패턴 노광부의 면적nan은상기회로패턴부의전체면적인것을특징으로 하는포토 마스크.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 더미 노광부의 면적nan은상기스크라이브 레인의전체면적인것을특징으로 하는포토 마스크.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 패턴 노광부의 면적과 상기 더미 노광부의 면적의 합nan은상기노광부의전체면적차지하는것을특징으로 하는포토 마스크.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 스크라이브 레인은 110~330㎛의폭갖는것을특징으로 하는포토 마스크.
[청구항 6]
회로 패턴부 영역과 스크라이브 레인 영역을 구비하는 반도체 기판 상에 층간절연막을 형성하는 단계; 및
상기 회로 패턴부 영역에서 콘택홀을 한정하는 제 1 개구부와 상기 스크라이브 레인 영역에서 더미홀(dummy hole)을 한정하는 제 2 개구부를 구비하는 포토레지스트 패턴을 상기 층간절연막을 형성하는 단계; 및
상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 이용하여 상기 층간절연막을 식각하여 상기 회로 패턴부 영역에서 상기 반도체 기판을 노출시키는 콘택홀을 형성하는 동시에 상기 스크라이브 레인 영역에서 상기 반도체 기판을 노출시키는 더미 홀을 형성하는 단계를 구비하는 식각 공정
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 포토레지스트 패턴은 제 1 내지 4항 중 선택되는 어느 하나의 항에서 개시된 포토마스크를 이용하여형성되는것을특징으로 하는식각 공정.
[청구항 8]
제 6 항에 있어서,상기 층간절연막을 식각하는 단계는 종점 검출(end-point detection, edp) 방법에 의해종료되는것을특징으로 하는식각 공정.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
포토마스크의 노광부 구성 요소 중 패턴 노광부와 더미 노광부의 면적 합이 차지하는 범위는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation포토마스크의 노광부 구성 요소인 패턴 노광부와 더미 노광부의 면적 합이 차지하는 범위를 찾는 과업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 패턴 노광부의 면적과 더미 노광부의 면적의 합에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 패턴 노광부의 면적과 상기 더미 노광부의 면적의 합nan은상기노광부의전체면적차지하는것을특징으로 하는포토 마스크
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 청구항 4의 구절을 근거로 선택한다.
- 상기 패턴 노광부의 면적과 상기 더미 노광부의 면적의 합nan은상기노광부의전체면적차지하는것을특징으로 하는포토 마스크
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4논리 통합
logical_integration패턴 노광부 면적과 더미 노광부 면적의 합이 노광부의 전체 면적과 일치함을 확인한다.
- 상기 패턴 노광부의 면적과 상기 더미 노광부의 면적의 합nan은상기노광부의전체면적차지하는것을특징으로 하는포토 마스크
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5결론 도출
conclusion_formulation두 면적의 합이 노광부의 전체 면적을 차지한다는 결론을 도출한다.
- 상기 패턴 노광부의 면적과 상기 더미 노광부의 면적의 합nan은상기노광부의전체면적차지하는것을특징으로 하는포토 마스크
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 상기 패턴 노광부의 면적과 상기 더미 노광부의 면적의 합nan은상기노광부의전체면적차지하는것을특징으로 하는포토 마스크
최종 답변 (final_answer)
상기 노광부의 전체 면적
핵심 해석 (core_interpretation)
포토마스크의 노광부 내에서 패턴 노광부와 더미 노광부가 차지하는 면적의 합이 노광부 전체 면적과 동일함을 정의하고 있다.