도포막 형성장치 및 도포막 형성방법 document_id 1020050041703

[청구항 1] 대략 수평 자세로 지지된 기판에 도포액을 공급하여 도포막을 형성하는 도포막 형성장치와, 도포액을 대략 띠모양으로 토출하는 도포액 토출구를 구비한 기다란 형상의 도포액 노즐과, 상기 도포액 노즐에 도포액을 공급하는 도포액 공급기구와, 상기 도포액 노즐을 승강시키는 노즐 승강기구와, 상기 기판과 상기 도포액 노즐을 상대적으로 이동시키는 이동기구와, 소망의 성상을 가진 도포막을 상기 기판에 형성하기 위해서, 상기 도포액 노즐로부터의 도포액의 토출 및 상기 도포액 노즐의 동작 및 상기 도포액 노즐과 기판의 상대이동을 제어하는 도포처리 파라미터를 가진 처리 레시피를 작성하는 레시피 작성장치와, 상기 처리 레시피에 따라서 상기 도포액 공급기구, 상기 노즐 승강기구, 상기 이동기구의 구동 제어를 실시하는 제어장치를 구비하고, 상기 레시피 작성장치는, 소정의 도포처리 파라미터를 입력하는 입력수단과, 상기 입력수단에 입력된 도포처리 파라미터에 기초하여 도포막형성에 필요한 기타 도포처리 파라미터를 산출하여, 상기 입력수단에 입력된 도포처리 파라미터와 상기 기타 도포처리 파라미터로 구성되는 처리 레시피를 작성하는 연산수단과, 상기 처리 레시피를 상기 제어장치에 출력하는 출력수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 도포막 형성장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 연산수단은,상기 처리 레시피를 구성하는 도포처리 파라미터끼리의, 실험적으로 미리 구해진 상관 데이터를 가진 데이터부와,상기 입력수단에 입력된 도포처리 파라미터와 상기 상관 데이터에 기초하여 상기 기타 도포처리 파라미터를 산출하는 파라미터 산출 프로그램과,상기 파라미터 산출 프로그램을 실행하는중앙연산장치가진것을특징으로 하는도포막 형성장치. [청구항 3] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 입력수단에 입력 가능한 도포처리 파라미터에, 도포액점도와, 도포액의 고형분 농도와,상기기판과상기도포액노즐의상대이동속도와도포막의목표막두께와도포막의면적포함되는것을특징으로 하는도포막 형성장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 기타 도포처리 파라미터로서, 적어도, 상기 도포액 노즐로부터의 도포액의 토출 유량과, 상기 기판의 표면과 상기 도포액 노즐과의간격포함되는것을특징으로 하는도포막 형성장치. [청구항 5] 제 2 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 연산수단은, 상기 입력수단에 입력된 도포막의 목표 막두께와 실제로 형성된 도포막의 막두께와의 사이에 차이가 있는 경우에, 이 차이가 없어지도록 상기 상관 데이터에 기초하여 상기 처리 레시피를 구성하는 소정의 도포처리 파라미터를 보정하는파라미터보정프로그램더욱가진것을특징으로 하는도포막 형성장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 처리 레시피를 구성하는 도포처리 파라미터 및 상기 처리 레시피에 따라서 상기 기판에 형성된 도포막의 두께가상기상관데이터추가되는것을특징으로 하는도포막 형성장치. [청구항 7] 대략 수평 자세로 지지된 기판에 도포액을 공급하여 도포막을 형성하는 도포막 형성장치로서, 도포액을 대략 띠모양으로 토출하는 도포액 토출구를 구비한 기다란 형상의 도포액 노즐과, 상기 도포액 노즐에 도포액을 공급하는 도포액 공급기구와, 상기 도포액 노즐을 승강시키는 노즐 승강기구와, 상기 기판과 상기 도포액 노즐을 상대적으로 이동시키는 이동기구와, 소망한 성상을 가진 도포막을 상기 기판에 형성하기 위해서, 상기 도포액 노즐로부터의 도포액의 토출 및 상기 도포액 노즐의 동작 및 상기 도포액 노즐과 기판의 상대이동을 제어하는 도포처리 파라미터를 가진 처리 레시피를 작성하는 레시 피 작성장치와, 상기 레시피 작성장치에 의해서 작성된 처리 레시피에 따라서 상기 도포액 공급기구, 상기 노즐 승강기구, 상기 이동기구의 구동 제어를 실시하는 제어장치를 구비하고, 상기 레시피 작성장치는, 실험적으로 미리 구해진, 도포막 형성에 필요한 도포처리 파라미터로 구성되는 복수의 처리 레시피가 기억된 기억장치와, 소정의 도포처리 파라미터를 입력하는 입력수단과, 상기 도포처리 파라미터를 상기 복수의 처리 레시피와 대조하여, 상기 도포처리 파라미터와 동일하거나 또는 동등한 도포처리 파라미터를 가진 하나의 처리 레시피를 상기 복수의 처리 레시피 중에서 선택하여 읽어내는 읽어내기수단과, 상기 하나의 처리 레시피를 구성하는 도포처리 파라미터를 보정하는 연산수단과, 상기 연산수단에 의해 구해진 처리 레시피를 상기 제어장치에 출력하는 출력수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 도포막 형성장치 [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 입력수단에 입력 가능한 도포처리 파라미터에, 도포액점도와, 도포액의 고형분농도와, 상기 기판과 상기 도포액 노즐의 상대이동속도와,도포막의목표막두께와도포막의면적포함되는것을특징으로 하는도포막 형성장치. [청구항 9] 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,수단에 의해서 읽어내진 처리 레시피를 구성하는 도포처리 파라미터에는, 상기 입력수단에 입력 가능한 도포처리 파라미터에 더하여, 상기 도포액 노즐로부터의 도포액의 토출 유량과, 상기 기판의 표면과 상기 도포액 노즐과의간격포함되는것을특징으로 하는도포막 형성장치. [청구항 10] 제 8 항에 있어서,상기 연산수단은,상기 처리 레시피를 구성하는 도포처리 파라미터끼리의, 실험적으로 미리 구해진 상관 데이터를 가진 데이터부와,상기 입력수단에 입력된 도포처리 파라미터와 상기 읽어내기수단에 의해서 읽어내진 하나의 처리 레시피를 구성하는 도포처리 파라미터와의 사이에 차이가 있는 경우에, 상기 하나의 처리 레시피를 구성하는 소정의 도포처리 파라미터를 상기 상관 데이터에 기초하여 보정하는 제 1 파라미터 보정 프로그램과, 상기 제 1 파라미터 보정 프로그램을 실행하는중앙연산장치가진것을특징으로 하는도포막 형성장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 연산수단은, 상기 입력수단에 입력된 도포막의 목표 막두께와 실제로 형성된 도포막의 막두께와의 사이에 차이가 있는 경우에, 이 차이가 없어지도록 상기 처리 레시피를 구성하는 소정의 도포처리 파라미터를 보정하는 제 2 파라미터 보정 프로그램을 가지며,상기 제 2 파라미터 보정 프로그램은 상기 중앙 연산 장치에 의해서실행되는것을특징으로 하는도포막 형성장치. [청구항 12] 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 연산수단에 의해서 구해진 처리 레시피 및 상기 처리 레시피에 기초하여 실제로 형성된 도포막의 막두께는, 상기 기억장치에 기억되고, 그 다음은 상기 읽어내기수단에 의한처리 레시피의선택대상이용되는것을특징으로 하는도포막 형성장치.