수직형 다중 기판 처리 시스템 및 그 처리 방법 document_id 1020050043904

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 제1기판반송유닛은상기 제2이송로를 따라 직선 이동 가능한 베이스;상기 베이스 상부에 설치되는 그리고 상기 카세트 또는 상기 공정처리부 방향으로 펼쳐지거나 또는 접혀질 수 있는 아암부; 및상기 아압부의 끝단부에 설치되어 기판을 척킹하는 척킹부를포함하는것을특징으로 하는수직형 다중 기판 처리 시스템. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 척킹부는 상기 기판을 파지할 수 있는 하나 이상의 집게 또는 진공흡착부를포함하는것을특징으로 하는수직형 다중 기판 처리 시스템. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 아암부는 상기 베이스의 상부로부터 수직하게 설치되는 지지플레이트의 상단에 설치되는 가이드부재; 상기 가이드부재에서 슬라이드 이동되는 제1아암;상기 제1아암에 설치되어 상기 제1아암으로부터 슬라이드 이동되는 제2아암;상기 제1아암과 제2아암의 이동을 위한구동부재포함하는것을특징으로 하는수직형 다중 기판 처리 시스템. [청구항 5] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1기판반송유닛은 기판 이송이 원활하게 이루어지도록 기판의 하단을 지지하는 제1롤러들과 기판의 전후면을 지지하는 제2롤러들을 더 포함하고,상기 카세트는 기판이 수납되는 공간 내부에서 기판 이송이 원활하게 이루어지도록 기판의 하단을 지지하는 제1롤러들과 기판의 전후면을 지지하는제2롤러들더포함하는것을특징으로 하는수직형 다중 기판 처리 시스템. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 카세트는 기판이 수납되는 수납공간에 설치되어 상기 카세트에 수납된 기판을 상기 제1기판반송유닛으로 반송하는 그리고 상기 제1기판반송유닛으로부터 반송되는 기판을 인계 받을 수 있는 제1기판지지유닛을 더 포함하고,상기 제1기판반송유닛은 상기 제1기판지지유닛에 의해 상기 카세트로부터 상기 제1기판반송유닛으로 반송되는 기판을 인계 받을 수 있는 그리고 상기 제1기판반송유닛에서 상기 카세트로 기판을 인계할 수 있는제2기판지지유닛더포함하는것을특징으로 하는수직형 다중 기판 처리 시스템. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 제1기판지지유닛과 상기 제2기판지지유닛 각각은 기판의 전면을 지지하는 전면롤러들, 기판의 후면을 지지하는 후면롤러들, 상기 기판의 하단을 지지하는 하단롤러들 그리고 상기 전면롤러들과 상기 후면롤러들 그리고 상기 하단롤러들 중 하나 이상의 롤러를 회전시키기 위한롤러구동부포함하는것을특징으로 하는수직형 다중 기판 처리 시스템. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 수직형 다중 기판 처리 시스템은상기 공정처리부의 후단에 연결되는 그리고 상기 공정처리부에서 공정을 마친 기판을 수직한 상태로 언로딩하는 제2기판반송유닛과;상기 제2기판반송유닛이 이송되는 제3이송로;상기 제2기판반송유닛으로부터 기판을 인계 받는 언로딩용 카세트와,상기 언로딩용 카세트가 놓여지는 그리고 기판들을 수평 또는 수직상태로 위치를 전환시키기 위한 테이블 그리고 이 테이블이 이송되는제4이송로더포함하는것을특징으로 하는수직형 다중 기판 처리 시스템. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 기판반송유닛은회전 가능한 베이스;상기 베이스 상부에 직선 이동이 가능하도록 설치되는 기판플레이트;상기 기판플레이트에 설치되어 일방향으로 펼쳐지거나 또는 접혀질 수 있는 아암부; 및상기 아암부의 끝단부에 설치되어 기판을 척킹하는 척킹부를포함하는것을특징으로 하는수직형 다중 기판 처리 시스템. [청구항 11] 제9항 또는 제10항에 있어서,상기 카세트는 기판이 수납되는 수납공간에 설치되어 상기 카세트에 수납된 기판을 상기 기판반송유닛으로 반송하는 그리고 상기 기판반송유닛으로부터 반송되는 기판을 인계 받을 수 있는 복수의 지지롤러들을 구비한 제1기판지지유닛을 더 포함하고,상기 기판반송유닛은 상기 제1기판지지유닛에 의해 상기 카세트로부터 상기 기판반송유닛으로 반송되는 기판을 인계 받을 수 있는 그리고 상기 기판반송유닛에서 상기 카세트로 기판을 인계할 수 있는 복수의 지지롤러들을 구비한제2기판지지유닛더포함하는것을특징으로 하는수직형 다중 기판 처리 시스템. [청구항 12] 제1항 또는 제9항에 있어서,상기 기판은 보호케이스에 수납된 후, 상기 카세트에 수납되는 것으로,상기 보호케이스는 상기 기판의 공정처리되는 전면이 노출되는오프닝갖는것을특징으로 하는수직형 다중 기판 처리 시스템. [청구항 13] 제1항 또는 제9항에 있어서,상기 공정처리부는 하나의 플라즈마 처리부와, 상기 플라즈마 처리부를 사이에 두고 제1처리실과 제2처리실이 배치되며, 각각의 처리실에서는플라즈마를이용한기판 처리이루어지는것을특징으로 하는수직형 다중 기판 처리 시스템.