문맥 (context)
[청구항 1]
제 1 방향 및 이의 반대방향인 제 2 방향을 향해 직선왕복 운동하는 이동부재를 구비한 구동어셈블리와
상기 이동부재에 상기 제 1 방향으로 고정된 제 1 플런저와
제 1 노즐이 마련되고 상기 제 1 플런저가 관통 삽입되도록 상기 제 1 방향으로 고정된 제 1 시린지실린더와
상기 이동부재에 상기 제 2 방향으로 고정된 제 2 플런저와
제 2 노즐이 마련되고 상기 제 2 플런저가 관통 삽입되도록 상기 제 2 방향으로 고정된 제 2 시린지실린더
를 포함하는 시린지펌프유닛
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 구동어셈블리는 회전력을 발휘하는 회전수단과;상기 회전력을 상기 이동부재의 상기 직선 왕복운동으로 변환하는 변환수단포함하는시린지펌프.
[청구항 3]
제 2항에 있어서,상기 회전수단은 회전축을 구비한 모터를 포함하고,상기 변환수단은 상기 회전축에 연결된 스크류축 및 상기 스크류축에 의해 관통되어 상기 스크류축의 회전에 의해 승강되며, 상기 승강플레이트가 고정되어진 너트부재포함하는볼스크류인 시린지펌프.
[청구항 4]
제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 선택된 항에 있어서,외부의 유체가 공급되는 메인 공급관과;상기 제 1 및 제 2 노즐에 각각 연결된 제 1 및 제 2 서브 공급관과;상기 메인 공급관을 상기 제 1 및 제 2 서브공급관 중 하나에 선택적으로 연통시키는 제 1 방향전환밸브와;상기 유체가 배출되는 메인 배출관과;상기 제 1 및 제 2 노즐에 각각 연결된 제 1 및 제 2 서브 배출관과;상기 메인 배출관을 상기 제 1 및 제 2 서브 배출관 중 하나에 선택적으로 연통시키는 제 2 방향전환밸브더욱 포함하는시린지펌프.
[청구항 5]
제 4항에 있어서,상기제 1 및 제 2 방향전환밸브는 각각상기 이동부재가 상기 제 1 방향으로 이동할 경우에 상기 메인 공급관과 상기 제 2 서브 공급관을 연통시키고 상기 제 1 서브 배출관과 상기 메인 배출관을 연통시키며,상기 이동부재가 상기 제 2 방향으로 이동할 경우에 상기 메인 공급관과 상기 제 1 서브 공급관을 연통시키고 상기 제 2 서브 배출관과 상기 메인 배출관연통시키는시린지펌프.
[청구항 6]
제 5항의 기재에 따른 시린지펌프를 이용한 코터 시스템으로서,
상기 메인 공급관으로 포토레지스트를 공급하는 포토레지스트 공급유닛과
기판이 안착되는 척 및 상기 척에 놓여진 상기 기판 상에 상기 메인 배출관으로부터 배출된 상기 포토레지스트를 토출하는 슬릿노즐을 각각 구비한 적어도 하나의 코터유닛
을 포함하는 코터 시스템
[청구항 7]
제 6항에 있어서,상기 슬릿노즐을 상기 기판을가로지르는바형상인코터 시스템.
[청구항 8]
제 6항 또는 제 7항 중 어느 하나의 선택된 항에 있어서,상기 척은 고속 회전가능한코터 시스템.
[청구항 9]
제 6항에 있어서,상기 코터유닛은 2개이상인코터 시스템.
[청구항 10]
제 9항에 있어서,코터유닛의 상기 토출분사노즐에 연결된 2개 이상의 연결관과;상기 메인 배출관을 상기 2 개 이상의 연결관 중 하나에 선택적으로 연통시키는 제 3 방향전환밸브더욱 포함하는코터 시스템.
[청구항 11]
제 9항에 있어서,배출관은 상기 각 코터유닛의 상기 토출분사노즐에 연결되는 2개 이상이고,상기 제 2 방향전환밸브는 상기 제 1 및 제 2 서브 배출관 중 선택된 하나를 상기 2개 이상의 메인배출관 중 선택된 하나와연통시키는코터 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
시린지펌프에서 이동부재가 제 1 방향으로 이동할 때, 메인 공급관과 메인 배출관은 각각 어떤 서브 공급관 및 서브 배출관과 연통되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation이동부재가 제 1 방향으로 이동할 때 메인 공급관과 메인 배출관이 각각 어떤 서브 공급관 및 서브 배출관과 연통되는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 이동부재의 이동 방향에 따른 전환밸브의 연통 관계를 설명한다.
- 상기 이동부재가 상기 제 1 방향으로 이동할 경우에 상기 메인 공급관과 상기 제 2 서브 공급관을 연통시키고 상기 제 1 서브 배출관과 상기 메인 배출관을 연통시키며
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3근거 선택
evidence_selection제 1 방향 이동 시의 연통 관계를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 이동부재가 상기 제 1 방향으로 이동할 경우에 상기 메인 공급관과 상기 제 2 서브 공급관을 연통시키고 상기 제 1 서브 배출관과 상기 메인 배출관을 연통시키며
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4논리 통합
logical_integration제 1 방향 이동 시 메인 공급관은 제 2 서브 공급관과, 메인 배출관은 제 1 서브 배출관과 연통됨을 확인할 수 있다.
- 상기 메인 공급관과 상기 제 2 서브 공급관을 연통시키고 상기 제 1 서브 배출관과 상기 메인 배출관을 연통시키며
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변을 구성한다. 메인 공급관은 제 2 서브 공급관과, 메인 배출관은 제 1 서브 배출관과 연통된다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
메인 공급관은 제 2 서브 공급관과 연통되고, 메인 배출관은 제 1 서브 배출관과 연통된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
이동부재의 이동 방향에 따라 방향전환밸브를 통해 메인 공급관 및 메인 배출관이 서로 다른 서브 공급관 및 서브 배출관과 선택적으로 연통되도록 제어하는 기술이다.