레이저를 이용한 건식세정시스템 document_id 1020050048026

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 세정대상물 위에서 상기 레이저빔 조사장치를 이동시켜, 상기 레이저빔 조사장치의 레이저빔 조사위치를 조절해주는 스캐닝장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 세정대상물의 위치정보를 인식하도록 마련된 정렬인식장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 4] 청구항 1에 있어서,상기 레이저빔 조사장치 하부에 마련되어, 세정대상물의 표면에 조사되는 레이저빔의 누출을 막는 레이저빔 차폐체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 5] 청구항 1에 있어서,세정대상물의 표면에 생긴 오염물질을 흡입방식으로 제거하는 집진장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 6] 청구항 1에 있어서,고압의 가스를 분사하여 세정대상물의 표면에서 오염물질을 제거하는 가스분사장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 7] 청구항 1에 있어서,세정대상물 표면에 생긴 오염물질을 흡입방식으로 제거하는 집진장치와, 고압의 가스를 분사하여 세정대상물의 표면에서 오염물질을 제거하는 가스분사장치를 더 포함하되,상기 집진장치는 상기 가스분사장치에 의해 제거되는 오염물질을 포집하도록 구성된 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 8] 청구항 1에 있어서,상기 레이저빔 조사장치 하부에 마련되어 세정대상물의 표면에 조사되는 레이저빔의 누출을 막는 레이저빔 차폐체와, 세정대상물 표면에 생긴 오염물질을 흡입방식으로 제거하는 집진장치와, 고압의 가스를 분사하여 세정대상물의 표면에서 오염물질을 제거하는 가스분사장치를 더 포함하되,상기 집진장치의 집진부와 상기 가스분사장치의 가스분사부가 상기 레이저빔 차폐체의 내부로 제공되며, 상기 집진부는 상기 차폐체 내부에서 상기 가스분사장치에 의해 제거되는 오염물질을 포집하도록 구성된 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 9] 청구항 1에 있어서,세정대상물이 놓여지는 세정 스테이지 및 상기 세정 스테이지를 상기 레이저빔 조사장치 아래로 안내하도록 형성된 가이드를 구비한 로딩장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 10] 청구항 1에 있어서,상기 레이저 발생장치는 파장이 1.06㎛인 nd:yag 레이저를 이용하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 11] 청구항 1에 있어서,상기 레이저 발생장치는 파장이 200~1100㎚인 주파수변조(frequency harmonic)된 nd:yag레이저이용하는것을특징으로 하는레이저를 건식세정시스템. [청구항 12] 청구항 1에 있어서,상기 레이저빔의 펄스당 에너지가 10mj~2000mj로 정해지며, 상기 레이저빔의 펄스폭은 1~1000 nano second로 정해지는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 13] 청구항 1에 있어서,상기 레이저빔 전송장치는 전송관과 상기 전송관 내에 배치된 적어도 하나의 반사미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 14] 청구항 1에 있어서,상기 레이저빔 전송장치는 복수의 회전축에 의해 복수의 관절로 형성되는 전송관과 상기 전송관 내부에 배치되는 복수의 반사미러로 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 15] 청구항 1에 있어서,상기 레이저빔 조사장치는,상기 레이저빔 전송장치에서 전송된 레이저빔을 확대하는 레이저빔 확대부와,상기 레이저빔확대부에서 확대된 레이저빔을 원하는 형태로 변화시키는 레이저빔 형태조작부와,상기 레이저빔 형태조작부를 거친 레이저빔을 집속하여, 세정에 필요한 충분한 에너지 밀도의 레이저빔을 얻는 집속부를,포함하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 16] 제 15항에 있어서,상기 레이저빔 확대부는 오목렌즈와 볼록렌즈의 조합에 의해 레이저빔을 1.5~5배로 확대하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 17] 청구항 16에 있어서,상기 레이저빔 형태조작부는 레이저빔의 일부를 원하는 형태로 투과시키고 나머지 레이저빔을 흡수하는 흡수마스크를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 18] 청구항 17에 있어서,상기 흡수마스크는 레이저빔을 직사각형으로 투과시키도록 형성된 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 19] 청구항 17에 있어서,상기 집속부는 상하로 높이 조절되는 원통형 볼록렌즈 포함하며, 상기 원통형 볼록렌즈가 레이저빔을 집속함으로써, 레이저빔의 에너지밀도를 조절하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 20] 청구항 2에 있어서,상기 스캐닝장치에 장착되어 세전 전후의 세정대상물 표면을 고배율로 확대해 디스플레이하는 영상표시장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 21] 청구항 3에 있어서,상기 정렬확인장치는 세정대상물의 특정위치를 촬영하여 그 세정대상물의 위치를 인식하는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 22] 청구항 22에 있어서,상기 정렬확인장치는 상기 카메라가 세정대상물에 형성된 인덱스홀을 촬영하여 그 인덱스홀을 기준점으로 잡는 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 23] 청구항 9에 있어서,상기 로딩장치는 세정 스테이지로부터 지면을 향해 연장된 보강재를 구비하며, 상기 보강재의 선단부에는 바퀴가 마련된 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템. [청구항 24] 청구항 1 내지 청구항 23중 어느 한 항에 있어서,상기 세정대상물은 반도체 테스트 소켓 보드 및 그 위의 소켓 접촉부인 것을 특징으로 하는 레이저이용한건식세정시스템.