문맥 (context)
[청구항 1]
반응 챔버;
상기 챔버의 내부에 설치되어 그 상면에 기판을 안착시키며 소정의 속도로 회전하는 서셉터
상기 서셉터 하부에 배치되어 상기 기판을 일정한 온도조건으로 가열하는 램프들로 구성된 램프 가열부
상기 챔버 내에 상기 기판에 대향하는 방향으로 배치되어 상기 기판 상에 반응 기체를 펄스 방식으로 공급하는 기체공급부; 및
상기 챔버 내부의 상기 반응 기체를 일정한 압력으로 유지하고, 상기 반응 기체를 일시적으로 배출시키는 진공펌핑부를 포함하는 것을 특징으로 하는 급속 열처리 방식의 원자층 증착장치
[청구항 2]
제 1항에 있어서,셉터 상부nan면광투과 물질인것을특징으로 하는급속 열처리 방식의 원자층 증착장치.
[청구항 3]
제 2항에 있어서,셉터 상부면은석영물질인것을특징으로 하는급속 열처리 방식의 원자층 증착장치.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 램프 가열부의 상기 램프들은 상기 서셉터에 안착된 기판의 전면에 균일한 온도 분포를 가질 수배치되는것을특징으로 하는급속 열처리 방식의 원자층 증착장치.
[청구항 5]
제 4항에 있어서,상기 램프 가열부의 상기 램프들은 구형태의 램프가 균일한밀도배치되는것을특징으로 하는급속 열처리 방식의 원자층 증착장치.
[청구항 6]
제 4항에 있어서,상기 램프 가열부의 상기 램프들은 라인형태의 램프가 균일한밀도배치되는것을특징으로 하는급속 열처리 방식의 원자층 증착장치.
[청구항 7]
제 1항에 있어서,상기 램프 가열부의 상기 램프들은 할로겐램프인것을특징으로 하는급속 열처리 방식의 원자층 증착장치.
[청구항 8]
제 1항에 있어서,셉터에 설치되어 상기 기판의 온도를 측정하여 상기 램프 가열부의 온도를 제어하기 위한온도센서더포함하는것을특징으로 하는급속 열처리 방식의 원자층 증착장치.
[청구항 9]
제 1항에 있어서,상기 기체공급부는 상기 서셉터에 대향하게 배치된 샤워헤드(shower head) 및 상기 샤워헤드 일면에 상기 기판의 전면에 균일하게 기체를 공급하기 위한분사구들구성되는것을특징으로 하는급속 열처리 방식의 원자층 증착장치.
[청구항 10]
제 1항에 있어서,상기 챔버 내부의 측벽영역에 아르곤 가스를 주입하기 위한아르곤가스주입구더포함하는것을특징으로 하는급속 열처리 방식의 원자층 증착장치.
[청구항 11]
제 1항에 있어서,상기 진공펌핑부는 상기 챔버 내부를 전체적으로 균일하게 펌핑할 수 있도록배플더포함하는것을특징으로 하는급속 열처리 방식의 원자층 증착장치.
[청구항 12]
제 11항에 있어서,상기 배플(baffle)은 펌프가 가까운 곳은 펌핑되는 구멍이 작고, 펌프가 멀어질수록 펌핑되는 구멍이 커지는구조갖는것을특징으로 하는급속 열처리 방식의 원자층 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
급속 열처리 방식의 원자층 증착장치에서 기판의 전면에 균일하게 기체를 공급하기 위한 기체공급부의 세부 구성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation급속 열처리 방식의 원자층 증착장치에서 기체공급부의 세부 구성을 찾는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 9에서 기체공급부의 구성 요소에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 기체공급부는 상기 서셉터에 대향하게 배치된 샤워헤드(shower head) 및 상기 샤워헤드 일면에 상기 기판의 전면에 균일하게 기체를 공급하기 위한분사구들구성되는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection기체공급부의 세부 구성인 샤워헤드와 분사구를 직접 언급한 구절을 선택한다.
- 상기 기체공급부는 상기 서셉터에 대향하게 배치된 샤워헤드(shower head) 및 상기 샤워헤드 일면에 상기 기판의 전면에 균일하게 기체를 공급하기 위한분사구들구성되는것
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4논리 통합
logical_integration기체공급부는 샤워헤드와 그 일면에 위치한 분사구들로 이루어져 있음을 확인한다.
- 상기 기체공급부는 상기 서셉터에 대향하게 배치된 샤워헤드(shower head) 및 상기 샤워헤드 일면에 상기 기판의 전면에 균일하게 기체를 공급하기 위한분사구들구성되는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 기체공급부의 세부 구성은 샤워헤드와 분사구이다.
- 상기 기체공급부는 상기 서셉터에 대향하게 배치된 샤워헤드(shower head) 및 상기 샤워헤드 일면에 상기 기판의 전면에 균일하게 기체를 공급하기 위한분사구들구성되는것
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 기체공급부는 상기 서셉터에 대향하게 배치된 샤워헤드(shower head) 및 상기 샤워헤드 일면에 상기 기판의 전면에 균일하게 기체를 공급하기 위한분사구들구성되는것
최종 답변 (final_answer)
상기 서셉터에 대향하게 배치된 샤워헤드(shower head) 및 상기 샤워헤드 일면에 상기 기판의 전면에 균일하게 기체를 공급하기 위한 분사구들
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 샤워헤드와 그 일면에 배치된 분사구를 통해 기판 전면에 기체를 균일하게 공급할 수 있는 기체공급부를 갖춘 원자층 증착장치에 관한 것이다.