ＭＴＪ 디바이스의 ｄＲ／Ｒ을 향상시키기 위한 새로운캡핑 구조체 document_id 1020050051479

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 중간 스핀 분극 자유층은 17.5 내지 20 원자%의 fe 함량과 30 내지 50å의두께갖는구성되는,mtj 소자. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 하부 도전체상에 순차적으로 형성된 nicr 시드층(seed layer), mnpt afm 피닝층(pinning layer), syap 피닝된 층, 및 산화 알루미늄(alox) 터널 배리어층으로 더 구성되고, 상기 중간 스핀 분극 자유층 및 상기 복합 캡핑층은 상기 alox 터널 배리어층상에 순차적형성되는,mtj 소자. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기syap 피닝된 층은 10 원자%의 fe 함량과 23å의 두께를 갖는 하측 cofe층, 7.5å의 두께를 갖는 중간 ru 결합층(coupling layer), 및 25 내지 50 원자%의 fe 함량과 20å의 두께를 갖는 상측구성되는,mtj 소자. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,상기alox 터널 배리어층은 5 내지 12å의 두께를 갖는 증착된 al막의인시츄산화의해형성되는,mtj 소자. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 하측 상호-확산 배리어층은 ru로 구성되고, 10 내지 30å의 두께갖는,mtj 소자. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 중간 산소 게터링층은 ta로 구성되고, 20 내지 50å의 두께갖는,mtj 소자. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 상측 금속층은 ru로 구성되고, 100 내지 250å의 두께갖는,mtj 소자. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기mtj는 상기 하측 상호-확산 배리어층의 두께를 조절함으로써 최소화될 수 있는 자기변형갖는,mtj 소자. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기mtj 소자는 mram 구조체 내에 형성되고, 40%의 dr/r 및 1.0e-6 미만의 자기변형갖는,mtj 소자. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기mtj 소자는 trm 판독 헤드에 형성되고, 20%의 dr/r과 1.0 e-6 미만의 자기변형갖는,mtj 소자. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 하부 도전체 층은 상기 기판 상의 ta 또는 nicr로 이루어진 시드층, 상기 시드층상에 ru 또는 cu로 구성되는 도전층, 및 상기 도전층상에 ta로 구성되는 캡핑층구성되는,mram 구조체. [청구항 14] 제 12 항에 있어서,상기mtj 소자는 nicr 시드층, mnpt afm 피닝층, 및 syap 피닝된 층구성되는,mram 구조체. [청구항 15] 제 12 항에 있어서,상기 터널배리어층은 11 내지 15å사이의두께갖는구성되는,mram 구조체. [청구항 16] 제 12 항에 있어서,상기 자유층은 17.5 내지 20 원자% 사이의 fe 함량을 갖는 nife인 중간 스핀 분극 재료구성되는,mram 구조체. [청구항 17] 제 12 항에 있어서,상기 하측 상호-확산 배리어층은 ru로 구성되고, 10 내지 30å의 두께갖는,mram 구조체. [청구항 18] 제 12 항에 있어서,상기 중간 산소 게터링층은 ta로 구성되고, 20 내지 50å 사이의 두께갖는,mram 구조체. [청구항 19] 제 12 항에 있어서,상기 상측 금속층은 ru로 구성되고, 150 내지 250å의 두께갖는,mram 구조체. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,상기 하부 차폐부 상에 순차적으로 형성된 nicr 시드층, mnpt afm 피닝층, syap 피닝된 층, 및 alox 터널 배리어층으로 더 구성되고, 상기 중간 스핀 분극 자유층 및 상기 캡핑층은 상기 alox 터널 배리어층상에 순차적형성되는,trm 판독 헤드. [청구항 22] 제 21 항에 있어서,상기syap 피닝된 층은 10 원자%의 fe 함량과 23å의 두께를 갖는 하측 cofe층, 7.5å의 두께를 갖는 중간 ru 결합층, 및 25 내지 50 원자%의 fe 함량과 20å의 두께를 갖는 상측구성되는,trm 판독 헤드. [청구항 23] 제 20 항에 있어서,상기 하부 차폐부는 nife로구성되는,trm 판독 헤드. [청구항 24] 제 20 항에 있어서,상기 중간 스핀 분극 자유층은 cofe층이 10 원자%의 fe 함량과 5 내지 10å의 두께를 갖고, nife층이 17.5% 내지 20% 사이의 fe 함량과 30 내지 40å의 두께를 갖는 복합인,trm 판독 헤드. [청구항 25] 제 20 항에 있어서,상기 하측 상호-확산 배리어층은 ru로 구성되고, 10 내지 30å의 두께갖는,trm 판독 헤드. [청구항 26] 제 20 항에 있어서,상기 중간 산소 게터링층은 ta로 구성되고, 20 내지 50å 사이의 두께갖는,trm 판독 헤드. [청구항 27] 제 20 항에 있어서,상기 하측 금속층은 ru로 구성되고, 100 내지 200å 사이의 두께갖는,trm 판독 헤드.