문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기λ/4위상판유닛은, 원형편광을 다른방향의 직선편광으로 변환하는 복수의 λ/4위상판을 포함하고,상기 회절광학소자유닛은, 상기 복수의 λ/4위상판에 대응하여 각각 사용되고, 다른 방향으로 상기 직선편광이 입사되면, 조도분포를 다르게 생성하는복수의회절광학소자포함하는것을특징으로 하는조명광학계.
[청구항 3]
제 2항에 있어서,상기 복수의 λ/4위상판의 배치는변경가능한것을특징으로 하는조명광학계.
[청구항 4]
제 2항에 있어서,상기 복수의 회절광학소자의 배치는변경가능한것을특징으로 하는조명광학계.
[청구항 5]
제 1항에 있어서,상기 조명광학계는,광원으로부터의 광속을 소정의 발산각도로 사출하고, 상기 변형조명생성부를 조명하기 위한 사출각도보존부와;상기 사출각도보존부의 상기 발산각도를 변경하여, 상기 변형조명생성부에 대한 조명영역을 변경하는 유닛을 부가하여포함하는것을특징으로 하는조명광학계.
[청구항 6]
제 5항에 있어서,상기 사출각도보존부에 의해 상기 변형조명생성부에 대한 조명영역을 변경하는 유닛을 부가하여포함하는것을특징으로 하는조명광학계.
[청구항 8]
제 7항에 있어서,상기 회절광학소자유닛은, 조도분포가 다른 영역을 형성하기 위한복수의회절광학소자가지는것을특징으로 하는조명광학계.
[청구항 9]
제 7항에 있어서,상기 조명영역변경유닛은, 상기 회절광학소자유닛을 광축에 수직인 방향으로 구동하는 유닛포함하는 것을특징으로 조명광학계.
[청구항 10]
제 7항에 있어서,상기 광학유닛은, 상기 회절광학소자를 조명하기 위한, 사출각이 다른 복수의 광적분기를 포함하고;,상기 조명영역변경수단은, 광로위의 상기 복수의 광적분기를 절환하는 유닛포함하는 것을특징으로 조명광학계.
[청구항 11]
제 7항에 있어서,상기 회절광학소자유닛의 근방에 배치되어 입사한 광을 소정방향의 직선편광으로 변환하는 편광유닛을 부가하여포함하는것을특징으로 하는조명광학계.
[청구항 12]
제 8항에 있어서,상기 회절광학소자유닛의 근방에 배치된 복수의 편광유닛을 부가하여 포함하고,상기 편광유닛은, 상기 복수의 회절광학소자의 각각에 대응하는 복수의 편광 부재를 포함하고, 상기 복수의 편광부재는, 각각에 입사한 광을 서로 다른 방향의 직선편광된광변환하는것을특징으로 하는조명광학계.
[청구항 13]
제 7항에 있어서,상기 조도분포를 검출하는 광량검출부를 부가하여 포함하고,상기 조명영역변경유닛은, 상기 광량검출부의 검출결과에 응해,상기조명영역변경하는것을특징으로 하는조명광학계.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
조명광학계에서 회절광학소자유닛의 구성 요소인 복수의 회절광학소자가 서로 다른 조도분포를 생성하기 위해 어떠한 조건이 충족되어야 하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation회절광학소자유닛 내의 복수의 회절광학소자가 서로 다른 조도분포를 생성하기 위해 필요한 조건을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 회절광학소자가 조도분포를 다르게 생성하는 조건으로 '다른 방향으로 상기 직선편광이 입사될 때'를 명시하고 있다.
- 다른 방향으로 상기 직선편광이 입사되면, 조도분포를 다르게 생성하는복수의회절광학소자
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3근거 선택
evidence_selection회절광학소자의 동작 조건과 관련된 핵심 구절을 선택한다.
- 다른 방향으로 상기 직선편광이 입사되면, 조도분포를 다르게 생성하는복수의회절광학소자
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4논리 통합
logical_integration복수의 회절광학소자는 각각의 λ/4위상판에 대응하여 사용되며, 입사되는 직선편광의 방향이 달라짐에 따라 서로 다른 조도분포를 생성함을 연결한다.
- 상기λ/4위상판유닛은, 원형편광을 다른방향의 직선편광으로 변환하는 복수의 λ/4위상판을 포함하고,상기 회절광학소자유닛은, 상기 복수의 λ/4위상판에 대응하여 각각 사용되고
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5결론 도출
conclusion_formulation회절광학소자가 서로 다른 조도분포를 생성하기 위해서는 각 소자에 서로 다른 방향의 직선편광이 입사되어야 한다는 결론을 도출한다.
- 다른 방향으로 상기 직선편광이 입사되면, 조도분포를 다르게 생성하는복수의회절광학소자
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 완성된 답변을 작성한다.
- 다른 방향으로 상기 직선편광이 입사되면, 조도분포를 다르게 생성하는복수의회절광학소자
최종 답변 (final_answer)
회절광학소자유닛의 구성 요소인 복수의 회절광학소자가 서로 다른 조도분포를 생성하기 위해서는, 각 회절광학소자에 서로 다른 방향의 직선편광이 입사되어야 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 λ/4위상판을 통해 원형편광을 서로 다른 방향의 직선편광으로 변환함으로써, 각 회절광학소자가 서로 다른 조도분포를 생성하도록 제어하는 기술에 관한 것이다.