수광 효율이 향상된 4 공유 픽셀 이미지 센서 및 그 제조방법 document_id 1020050068102

[청구항 1] 열 방향으로 인접하며 독출 소자를 공유하는 4 개의 광전 변환 소자 액티브를 포함하는 4 공유 픽셀의 행렬; 및 상기 4 공유 픽셀당 2개씩 할당되며 상기 광전 변환 소자 액티브와 분리되어 배열된 다수의 독립 독출 소자 액티브를 포함하는 4 공유 픽셀형 이미지 센서 [청구항 2] 제1 항에 있어서,상기 광전 변환 소자 액티브는 차례대로 2개씩 쌍을 이루어 연결 액티브를 통해 연결된 제1 액티브 및 제2 액티브구성하는4 공유 픽셀형 이미지 센서. [청구항 3] 제2 항에 있어서,상기 독립 독출 소자 액티브는 상기 행렬의 열간 스페이스와 행간 스페이스의 교차 지역 및 상기 열간 스페이스와 상기 제1 및 제2 액티브간 스페이스의 교차 지역각각 배열되는4공유 픽셀형 이미지 센서. [청구항 4] 제2 항에 있어서,상기제1 및 제2 액티브 중 어느 하나에 1개의 독출 소자가 형성되는 액티브연결되는4공유 픽셀형 이미지 센서. [청구항 5] 제1 항에 있어서,상기 4공유 픽셀당 할당되는 2개의 독립 독출 소자 액티브에는 선택 소자 및 드라이브 소자각각 형성되는4공유 픽셀형 이미지 센서. [청구항 6] 제1 항에 있어서,상기 4공유 픽셀당 할당되는 2개의 독립 독출 소자 액티브 중 하나에는 리셋 소자가 다른 하나에는 선택 소자 및 드라이브 소자형성되는4공유 픽셀형 이미지 센서. [청구항 7] 제6 항에 있어서,상기 선택 소자 및 드라이브 소자가 형성되는 독립 독출 소자 액티브는 장변이 상기 열 방향배향되는4공유 픽셀형 이미지 센서. [청구항 8] 듀얼 로브가 열 방향으로 대향하는 일축 병합 듀얼 로브형 액티브와 듀얼 로브가 열 방향으로 대향하는 무축 병합 듀얼 로브형 액티브가 열 방향으로 인접하여 배치된 쌍(pair)을 반복 단위로 하는 행렬; 및 상기 반복 단위 마다 2개씩 할당되어 상기 일축 병합 듀얼 로브형 액티브 및 무축 병합 듀얼 로브형 액티브와 분리되어 배열된 다수의 독립 독출 소자 액티브를 포함하는 4 공유 픽셀형 이미지 센서 [청구항 9] 제8 항에 있어서,상기 독립 독출 소자 액티브는 상기 행렬의 열간 스페이스와 행간 스페이스의 교차지역 및 상기 열간 스페이스와 상기 일축 및 무축 병합 듀얼 로브형 액티브간 스페이스의 교차 지역각각 배열되는이미지 센서. [청구항 10] 제8 항에 있어서,상기 일축 병합 듀얼 로브형 액티브에는 듀얼 광전 변환 소자, 플로팅 확산 영역 및 1개의 독출 소자가, 상기 무축 병합 듀얼 로브형 액티브에는 듀얼 광전 변환 소자 및 플로팅 확산 영역형성되는이미지 센서. [청구항 11] 제10 항에 있어서,상기 반복 단위마다 2개씩 할당된 독립 독출 소자 액티브에는 각각 선택 소자 및 드라이브 소자각각 형성되는이미지 센서. [청구항 12] 듀얼 로브가 제1 방향으로 대향하는 일축 병합 듀얼 로브형 액티브 듀얼 로브가 상기 제1 방향으로 대향하고, 상기 일축 병합 듀얼 로브형 액티브와 상기 제1 방향으로 인접한 무축 병합 듀얼 로브형 액티브; 및 상기 일축 병합 듀얼 로브형 액티브 및 무축 병합 듀얼 로브형 액티브와 분리되고 독출 소자가 형성되는 2개의 독립 독출 소자 액티브를 포함하는 4공유 픽셀 이미지 센서 [청구항 13] 제12 항에 있어서,상기 일축 병합 듀얼 로브형 액티브에는 듀얼 광전 변환 소자, 플로팅 확산 영역 및 1개의 독출 소자가, 상기 무축 병합 듀얼 로브형 액티브에는 듀얼 광전 변환 소자 및 플로팅 확산 영역형성되는이미지 센서. [청구항 14] 제12 항에 있어서,상기 2개의 독립 독출 소자 액티브에는 각각 선택 소자 및 드라이브 소자각각 형성되는이미지 센서. [청구항 15] 열 방향으로 2개가 인접하고 행 방향으로 2개가 인접한 총 4개의 광전 변환 소자 액티브를 포함하되, 상기 4개의 광전자 변환 소자 액티브는 하나의 중심에 모두 연결되어 하나의 액티브를 구성하는 4 공유 픽셀의 행렬; 및 상기 4 공유 픽셀당 3개씩 할당되며 상기 광전 변환 소자 액티브와 분리되어 배열된 다수의 독립 독출 소자 액티브를 포함하는 4 공유 픽셀형 이미지 센서 [청구항 17] 제15 항에 있어서,상기 독립 독출 소자 액티브는 상기 행렬의 열간 스페이스와 행간 스페이스의 교차 지역, 상기 광전자 변환 소자 액티브 행간 스페이스와 상기 행렬의 열간 스페이스의 교차 지역, 상기 광전자 변환 소자 액티브 열간 스페이스와 상기 행렬의 행간 스페이스 교차 지역배열되는4공유 픽셀형 이미지 센서. [청구항 18] 열 방향으로 인접하며 독출 소자를 공유하는 4 개의 광전 변환 소자를 포함하는 4 공유 픽셀의 행렬로 이루어진 픽셀 어레이를 포함하고, 전하를 축적하는 단계, 상기 4 공유 픽셀의 제1 행과 제3 행의 광전 변환 소자의 축적 전하를 합산하여 독출하는 단계, 및 상기 4 공유 픽셀의 제2 행과 제4 행의 광전 변환 소자의 축적 전하를 합산하여 독출하는 단계를 포함하는 전하 합산 독출 방식이 적용되는 4공유 픽셀형 이미지 센서 [청구항 19] 제18 항에 있어서,상기 이미지 센서의 컬러 필터는 베이어 방식배열된이미지 센서. [청구항 20] 제18 항에 있어서,상기 이미지 센서는 제1 항 내지 제14 항 중항에 따른이미지 센서. [청구항 24] 열 방향으로 인접하며 독출 소자를 공유하는 4 개의 광전 변환 소자 액티브를 포함하되, 상기 4개의 광전 변환 소자 액티브는 차례대로 2개씩 쌍을 이루어 연결 액티브를 통해 연결된 제1 액티브 및 제2 액티브를 구성하는 4 공유 픽셀의 행렬; 및 상기 4 공유 픽셀당 2개씩 할당되며 상기 광전 변환 소자 액티브와 분리되어 배열되되, 상기 행렬의 열간 스페이스와 행간 스페이스의 교차 지역 및 상기 열간 스페이스와 상기 제1 및 제2 액티브간 스페이스의 교차 지역에 각각 배열되는 다수의 독립 독출 소자 액티브를 포함하는 4 공유 픽셀형 이미지 센서 [청구항 25] 제24 항에 있어서,상기제1 및 제2 액티브 중 어느 하나에 1개의 독출 소자가 형성되는 액티브연결되는4공유 픽셀형 이미지 센서. [청구항 26] 제24 항에 있어서,상기 4공유 픽셀당 할당되는 2개의 독립 독출 소자 액티브에는 선택 소자 및 드라이브 소자각각 형성되는4공유 픽셀형 이미지 센서. [청구항 27] 제24 항에 있어서,상기 4공유 픽셀당 할당되는 2개의 독립 독출 소자 액티브 중 하나에는 리셋 소자가 다른 하나에는 선택 소자 및 드라이브 소자형성되는4공유 픽셀형 이미지 센서. [청구항 28] 제27 항에 있어서,상기 선택 소자 및 드라이브 소자가 형성되는 독립 독출 소자 액티브는 장변이 상기 열 방향배향되는4공유 픽셀형 이미지 센서.