저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑 장치 document_id 1020050074794

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 동력 전달부는상기 구동원에 의하여 회전되며, 상기 쳄버의 내부에 배치되는 한 쌍의 구동풀리;상기 구동풀리들에 대응되어 배치되는 한 쌍의 종동풀리;상기 구동풀리와 상기 종동풀리를 연결하는 한 쌍의 벨트포함하는저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 도핑 모듈은 타깃면을 구비하고, 상기 타깃면은 폭과 길이의 비율인저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 도핑 모듈은 캐소드이며, 그 내부에 영구 자석이 포함되지 않은 넌마그네트론형태로 이루어지는저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 도핑 모듈은 한쪽 방향으로 플라즈마가 노출되도록쉴드접지된구조로 이루어지는저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 도핑 모듈에 결합되는음극물질니켈인것을특징으로 하는저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 도핑 모듈에 결합되는 음극 물질은,cu, ni, ti, au, w, ag, co, pt, pd 중 두 종류 이상의합금으로 이루어지는저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑 장치. [청구항 8] 제2항에 있어서,상기 벨트는 금속벨트인저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑 장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 동력 전달부는상기 구동원에 의하여 회전되며, 상기 쳄버의 내부에 배치되는 한 쌍의 구동풀리;상기 구동풀리들에 대응되어 배치되는 한 쌍의 종동풀리;상기 구동풀리와 상기 종동풀리를 연결하며, 중간부가 잘려져 두개의 끝단을 가지는 한 쌍의 금속 벨트를 포함하고,상기 도핑모듈이 결합되는 브라켓;상기 금속 벨트의 양단을 사이에 두고, 상기 브라켓과 대응하여 배치되는 복수의 고정부재;상기 브라켓과 복수의 고정부재를 결합하는 복수의 스크류포함하는저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 브라켓과 상기 복수의 고정부재는벨트에 결합된 상태에서 장력으로 인한 뒤틀림을 방지하기 위하여 금속 벨트의 끝단부분에 끝단에 일정한 길이를 가지는 위치에 복수의 스크류를 배치하고, 벨트의 중심선 부분에 하나의 스크류배치하는저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑 장치. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 차단막은,복수개로 이루어지며, 상기 차단막들이 이루는 틈을 또 다른 차단막이 가리는 위치배치되는저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑 장치.