문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 반응기에 화학적 첨가제를 공급하는 캐미컬 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전이용한반도체 세정장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 반응기의 소정 부위에 세정가스 배출부를 형성하고, 상기 활성가스 배출부에서 배출되는 활성가스와 상기 세정수 배출부에서 배출되는 세정수를 혼합하여, 상기 습식 세정장치로 공급하는 혼합기를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전이용한반도체 세정장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 혼합기는 벤추리관으로 이루어지며, 상기 벤추리관의 일측은 상기 활성가스 배출부와 연결되고, 병목 부분은 세정수 배출관과 연결되며, 타측은 상기 습식 세정장치와 연결된 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전이용한반도체 세정장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 공기 주입유닛을 상기 반응기의 입측에 설치된 다공이 형성된 산기관과, 이 산기관의 구멍을 통해 공기를 주입하는 송풍기를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전이용한반도체 세정장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,쌍의 전극은 내 부식성의 금속봉과 금속메쉬 중 선택된 어느 하나의 형태로서, 외부 표면에 유전체 코팅이 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전이용한반도체 세정장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,쌍의 전극은 전원이 인가됨에 따라 방전하는 방전극과, 그 방전극에 대면하는 접지극을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전이용한반도체 세정장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 공기주입유닛은 다공의 산기관을 포함하며,상기 한 쌍의 전극 하방에 상기 산기관이 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전이용한반도체 세정장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 전원인가유닛은 고전압 펄스나 교류전원을 인가하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 방전이용한반도체 세정장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 활성가스 배출부에서 배출되는 세정가스의 o3를 계측하는 오존 계측기를 더 포함하는 플라즈마 방전이용한반도체 세정장치.
[청구항 11]
제1항에 있어서,상기 세정수 배출부에서 배출되는 세정수의 오존량을 계측하는 세정수 오존 계측기를 더 포함하는 플라즈마 방전이용한반도체 세정장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 방전을 이용한 반도체 세정장치에서 활성가스와 세정수를 혼합하여 습식 세정장치로 공급하는 혼합기의 구성 및 연결 구조는 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플라즈마 방전 세정장치 내에서 활성가스와 세정수를 혼합하는 혼합기의 구성 요소와 각 부위 간의 연결 구조를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 혼합기가 활성가스와 세정수를 혼합하여 습식 세정장치로 공급함을 확인하고, 청구항 4에서 혼합기의 구체적 형태와 연결 구조를 추출한다.
- 상기 혼합기는 벤추리관으로 이루어지며, 상기 벤추리관의 일측은 상기 활성가스 배출부와 연결되고, 병목 부분은 세정수 배출관과 연결되며, 타측은 상기 습식 세정장치와 연결된 것
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3근거 선택
evidence_selection혼합기의 구성(벤추리관)과 연결 관계(일측-활성가스 배출부, 병목-세정수 배출관, 타측-습식 세정장치)를 명시한 청구항 4의 내용을 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 혼합기는 벤추리관으로 이루어지며, 상기 벤추리관의 일측은 상기 활성가스 배출부와 연결되고, 병목 부분은 세정수 배출관과 연결되며, 타측은 상기 습식 세정장치와 연결된 것
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4논리 통합
logical_integration혼합기의 구성은 벤추리관이며, 이 벤추리관의 각 지점(일측, 병목 부분, 타측)이 각각 활성가스 배출부, 세정수 배출관, 습식 세정장치와 순차적으로 연결되어 혼합이 이루어지는 구조임을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 혼합기의 구성인 벤추리관과 그 연결 구조를 정리하여 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 구조화된 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
혼합기의 구성 및 연결 구조는 다음과 같다.
1. 구성: 벤추리관
2. 연결 구조:
- 벤추리관의 일측: 활성가스 배출부와 연결
- 벤추리관의 병목 부분: 세정수 배출관과 연결
- 벤추리관의 타측: 습식 세정장치와 연결
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 벤추리관 구조의 혼합기를 이용하여 활성가스와 세정수를 효율적으로 혼합하여 습식 세정장치로 공급하는 기술적 구성을 포함한다.