유기발광소자 봉지 공정용 박막 증착 장치 document_id 1020050083292

[청구항 1] 반응 가스가 내부 공간으로 공급되는 공급부 및 외부로 배출되는 배기부를 구비한 쳄버 상기 쳄버 내부에 배치되어 기판이 올려지는 기판 홀더 상기 쳄버 내부에 배치되어 열 전자를 발생시키는 복수의 열선이 제공된 헤드 상기 헤드와 전기적으로 연결되며, 전원이 공급되는 열선에서 열 전자가 충분히 발생되지 않거나 열선이 단선된 경우에 상기 열선과 인접하여 배치된 또 다른 열선에 전원을 공급하는 전원 공급 전환 수단 을 포함하는 유기발광소자 봉지 공정용 박막 증착 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기쳄버에는 상기 기판 홀더를 선형적으로 이동시키는 기판 홀더 이동부더 포함하는유기발광소자 봉지 공정용 박막 증착 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 기판 홀더 이동부는구동원,상기 구동원의 구동력을 전달받아 회전하는 스크류,상기 스크류의 회전에 따라 직선 이동 가능하게 결합되며 상기 기판 홀더에 결합되는 브라켓포함하는유기발광소자 봉지 공정용 박막 증착 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기쳄버에는 상기 헤드를 선형 이동시키는 헤드 이동부더 포함하는유기발광소자 봉지 공정용 박막 증착 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 헤드 이동부는 구동원,상기 구동원에 의하여 회전되며, 상기 쳄버의 내부에 배치되는 한 쌍의 구동 풀리,상기 구동풀리들에 대응되어 배치되는 한 쌍의 종동 풀리,상기 구동풀리와 상기 종동 풀리를 연결하며 상기 헤드가 결합되는 한 쌍의 벨트포함하는유기발광소자 봉지 공정용 박막 증착 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 헤드는베이스,상기 베이스에 병렬로 적어도 2열 이상이 배치되는 열선들포함하는유기발광소자 봉지 공정용 박막 증착 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 열선들 중 적어도 1열의 열선은일정한 간격이 띄워져 다수의 열선 고정용 전극이 배치되고, 상기 열선 고정용 전극들에 열선을 교번으로 고정하고, 상기 열선이 설치되지 않은 부분의 일측에 또 다른 다수의 열선 고정용 전극을 설치하여 열선을 교번고정하는유기발광소자 봉지 공정용 박막 증착 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 전원 공급 전환 수단은,열선들의 단선을 감지하는 열선 단락 감지 센서, 상기 열선 단락 감지 센서의 신호를 입력받아 단선 여부를 판단하는 컨트롤러, 및 상기 컨트롤러의 제어에 의하여 상기 열선들에 공급되는 전원을 인접한 다른 열선으로 전환하는 전환 스위치포함하는유기발광소자 봉지 공정용 박막 증착 장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기쳄버는 내부에 존재하는 가스를 배출할 수 있는 배기 장치결합되는유기발광소자 봉지 공정용 박막 증착 장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기쳄버는 반응 가스를 공급하는 가스 공급장치결합되는유기발광소자 봉지 공정용 박막 증착 장치.