가열용기와 이를 이용한 증착장치 document_id 1020050083429

[청구항 1] 유기화합물이 담기는 공간부와, 증발된 유기화합물이 방출되는 노즐부를 가지는 본체와 상기 본체 내부에 설치되고, 상기 노즐부와 대응되어 상기 증발된 유기화합물이 통과하는 제1개구부가 형성된 제1인너 플레이트와 상기 본체 내부의 상기 제1인너 플레이트의 상부에 설치되어, 상기 제1인너플레이트의 제1개구부와 어굿나게 배열되는 제2개구부를 구비하는 제2인너 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치의 가열용기 [청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 제1인너 플레이트는 노즐부와 대응되는 부위에 상기 제1개구부를 구비하는 제1차폐부와, 상기 제1차폐부로부터 상기 본체의 상측으로 연장되어 제1차폐부를 지지하는적어도하나의제1고정부구비하여된것을특징으로 하는증착장치의 가열용기. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 제2인너플레이트의 제2개구부는 제1인너 플레이트의 제1차폐부에 대응하여형성된것을특징으로 하는증착장치의 가열용기. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 제2인너 플레이트는 상기 노즐부와 대응되는 부위에 형성되는 제2차폐부와, 상기 제2차폐부로부터 상기 본체의 상측으로 연장되어 제2차폐부를 지지하는적어도하나의제2고정부구비하는것을특징으로 하는증착장치의 가열용기. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 제1인너 플레이트의 제1고정부와 상기 제2인너 플레이트의 제2고정부는 서로 어긋하게배치되는것을특징으로 하는증착장치의 가열용기. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 제2인너플레이트의 제2차폐부의 면적은 상기 본체의 공간부의 면적보다 작은 것특징으로 하는증착장치의 가열용기. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 제2인너 플레이트의 상기 제2차폐부와 상기 본체사이의 상기 공간부의 가장자리에상기제2개구부형성되는것을특징으로 하는증착장치의 가열용기. [청구항 8] 제 1항에 있어서,상기 본체는 노즐부가 형성된 캡부재와 공간부가 형성된체부로이루어진것을특징으로 하는증착장치의 가열용기. [청구항 9] 제1항에 있어서,체부의 외주면 또는 노즐부의 주위에가열히이터설치된것을특징으로 하는증착장치의 가열용기. [청구항 10] 증착막을 형성하기 위한 기판이 설치되는 진공챔버와 상기 증착막을 위한 유기화합물이 담기는 가열용기를 포함하며, 상기 가열용기는 유기화합물이 담기는 공간부와, 증발된 유기화합물이 방출되는 노즐부를 가지는 본체와 상기 본체 내부에 설치되고, 상기 노즐부와 대응되어 상기 증발된 유기화합물이 통과하는 제1개구부가 형성된 제1인너 플레이트와 상기 본체 내부의 상기 제1인너 플레이트의 상부에 설치되어, 상기 제1인너플레이트의 제1개구부와 어굿나게 배열되는 제2개구부를 구비하는 제2인너 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치 [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 제1인너 플레이트는 노즐부와 대응되는 부위에 상기 제1개구부를 구비하는 제1차폐부와, 상기 제1차폐부로부터 상기 본체의 상측으로 연장되어 제1차폐부를 지지하는적어도하나의제1고정부구비하여된것을특징으로 하는증착장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 제2인너플레이트의 제2개구부는 제1인너 플레이트의 제1차폐부에 대응하여형성된것을특징으로 하는증착장치. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 제2인너 플레이트는 상기 노즐부와 대응되는 부위에 형성되는 제2차폐부와, 상기 제2차폐부로부터 상기 본체의 상측으로 연장되어 제2차폐부를 지지하는적어도하나의제2고정부구비하는것을특징으로 하는증착장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 제1인너 플레이트의 제1고정부와 상기 제2인너 플레이트의 제2고정부는 서로 어긋하게배치되는것을특징으로 하는증착장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 제2인너플레이트의 제2차폐부의 면적은 상기 본체의 공간부의 면적보다 작은 것특징으로 하는증착장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 제2인너 플레이트의 상기 제2차폐부와 상기 본체사이의 상기 공간부의 가장자리에상기제2개구부형성되는것을특징으로 하는증착장치. [청구항 17] 제10항에 있어서,체부의 외주면 또는 노즐부의 주위에가열히이터설치된것을특징으로 하는증착장치.