문맥 (context)
[청구항 2]
제1 항에 있어서,상기 스크라이브 레인 상의 상기패시베이션막은 다수의 패시베이션 라인 패턴과 다수의 패시베이션 라인 패턴을 연결하는 브릿지를 포함하는 가두리 형태의 패턴포함하는웨이퍼.
[청구항 3]
제1 항에 있어서,상기 다수의 슬릿 패턴의 말단nan은일치하지배열된웨이퍼.
[청구항 4]
제1 항에 있어서,상기 다수의 슬릿 패턴은 지그 재그 형태배열된웨이퍼.
[청구항 5]
제1 항에 있어서,상기 스크라이브 레인은 모니터링 패턴이 형성된 영역과 형성되지 않은 영역을 포함하고, 상기 모니터링 패턴이 형성된 영역은 상기 음각된 슬릿 패턴을 포함하지 않고 상기 패시막으로 덮인웨이퍼.
[청구항 6]
제1 항에 있어서,상기 칩 상의 상기패시베이션막에는 퓨즈 개구부를 포함하고, 상기 슬릿 패턴의 깊이는 상기 퓨즈 개구부의 깊이와 실질적동일한웨이퍼.
[청구항 9]
제8 항에 있어서,상기 다수의 슬릿 패턴에 대응하는다수의투광부의말단일치하지배열된레티클.
[청구항 10]
제8 항에 있어서,상기 다수의 슬릿 패턴에 대응하는 다수의 투광부는 지그 재그 형태배열된레티클.
[청구항 11]
제8 항에 있어서,상기 스크라이브 레인 영역은 모니터링 패턴이 형성된 영역과 형성되지 않은 영역을 포함하고, 상기 모니터링 패턴이 형성된 영역은 상기 차광 패턴차광되는레티클.
[청구항 12]
제8 항에 있어서,상기 칩 영역의 상기 차광 패턴에는 퓨즈 개구부에 대응하는투광부를포함하는레티클.
[청구항 13]
제12 항에 있어서,상기 칩 영역의 상기 차광 패턴에는 패드 개구부에 대응하는투광부를더 포함하는레티클.
[청구항 14]
제8 항에 있어서,상기 스크라이브 레인 영역의 중심부의 상기 슬릿 패턴에 대응하는 개구부의 폭이 상기 중심부 이외의 부분의 상기 슬릿 패턴대응하는개구부의 폭보다 넓은 레티클.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
웨이퍼의 스크라이브 레인 상에 형성되는 패시베이션막의 구체적인 패턴 구성은 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation웨이퍼의 스크라이브 레인 상에 형성되는 패시베이션막의 구체적인 패턴 구성을 찾는 작업이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 스크라이브 레인 상의 패시베이션막에 관한 구체적인 패턴 설명을 추출한다.
- 상기 스크라이브 레인 상의 상기패시베이션막은 다수의 패시베이션 라인 패턴과 다수의 패시베이션 라인 패턴을 연결하는 브릿지를 포함하는 가두리 형태의 패턴포함하는웨이퍼.
-
3근거 선택
evidence_selection질문인 패시베이션막의 패턴 구성과 직접적으로 관련된 청구항 2의 내용을 선택한다.
- 다수의 패시베이션 라인 패턴과 다수의 패시베이션 라인 패턴을 연결하는 브릿지를 포함하는 가두리 형태의 패턴
-
4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 바탕으로 패시베이션막이 다수의 라인 패턴과 이를 연결하는 브릿지로 구성된 가두리 형태임을 확인한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation패시베이션막의 구성 요소(패시베이션 라인 패턴, 브릿지)와 전체적인 형태(가두리 형태)를 정리한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대해 청구항의 내용을 그대로 사용하여 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
다수의 패시베이션 라인 패턴과 다수의 패시베이션 라인 패턴을 연결하는 브릿지를 포함하는 가두리 형태의 패턴이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
스크라이브 레인 영역의 패시베이션막이 단순한 막 형태가 아니라, 라인 패턴과 브릿지로 구성된 가두리 형태의 특정 패턴을 가짐을 명시하고 있다.