문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 스페이서 구조체들은 상기 상부 스페이서와 상기 층간절연막 사이에 배치된 부분과 상기 층간절연막과 상기 제 1 플러그 사이에 개재된 부분으로 이루어진 콘택홀 스페이서더 구비하는반도체 장치의 배선 구조체.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 제 1 스페이서 구조체는실리콘 질화막으로이루어지는것을특징으로 하는반도체 장치의 배선 구조체.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 제 2 스페이서 구조체는상기제1스페이서구조체의상부스페이서구성되는것을특징으로 하는반도체 장치의 배선 구조체.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 층간절연막과 상기 반도체기판 사이에 배치된 게이트 패턴들을 더 포함하되, 상기 게이트 패턴들은 상기 제 2 콘택 구조체들에 의해상기금속배선들연결되는것을특징으로 하는반도체 장치의 배선 구조체.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 플러그는 다결정 실리콘으로 이루어지고, 상기 제 2 플러그는 차례로 적층된 제 1 방지금속막과 제 1 금속막을 포함하되, 상기 제 1 방지금속막은 티타늄막, 티타늄 질화막, 텅스텐 질화막, 탄탈륨 및 탄탈륨 질화막 중에서 선택된 적어도 한가지로 이루어지고, 상기 제 1 금속막은 텅스텐, 알루미늄 및 구리 중에서 선택된 적어도 한가지로 이루어지고,상기 금속 배선은 차례로 적층된 제 2 방지금속막과 제 2 금속막을 포함하되, 상기 제 2 방지금속막은 티타늄막, 티타늄 질화막, 텅스텐 질화막, 탄탈륨 및 탄탈륨 질화막 중에서 선택된 적어도 한가지로 이루어지고, 상기 제 2 금속막은 알루미늄, 텅스텐 및 구리 중에서 선택된가지로이루어지는것을특징으로 하는반도체 장치의 배선 구조체.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 플러그 및 상기 제 2 플러그는다결정 실리콘으로이루어지는것을특징으로 하는반도체 장치의 배선 구조체.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 반도체기판은 셀 어레이 영역, 저전압 영역 및 고전압 영역을 포함하고,상기 셀 어레이 영역에는 셀 불순물 영역들과 셀 게이트 패턴들을 구비하는 셀 트랜지스터들이 배치되고,상기 저전압 영역에는 저전압 불순물 영역들과 저전압 게이트 패턴들을 구비하는 저전압 트랜지스터들이 배치되고, 상기 고전압 영역에는 고전압 불순물 영역들과 고전압 게이트 패턴들을 구비하는 고전압 트랜지스터들이 배치되되,상기 셀 불순물 영역들의 일부는 상기 제 1 콘택 구조체들에 연결되고, 상기 셀 게이트 패턴들, 상기 저전압 게이트 패턴들 및 상기 고전압 게이트 패턴들은상기제2콘택구조체들연결되는것을특징으로 하는반도체 장치의 배선 구조체.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 저전압 불순물 영역은 상기 제 1 콘택 구조체 및 상기 제 2 콘택 구조체 중의 어느 하나와 연결되고, 상기 고전압 불순물 영역은 상기 제 1 콘택 구조체 및 상기 제 2 콘택 구조체 중의 어느하나연결되는것을특징으로 하는반도체 장치의 배선 구조체.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,게이트 패턴들은 차례로 적층된 부유 게이트 전극, 게이트 층간절연막 및 제어 게이트 전극을 구비하고,상기 제 1 콘택 구조체와 연결되는금속배선비트라인인것을특징으로 하는반도체 장치의 배선 구조체.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 장치의 배선 구조체에서 제 1 스페이서 구조체가 구성하는 콘택홀 스페이서더의 세부 배치 관계는 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제 1 스페이서 구조체가 구성하는 콘택홀 스페이서더의 세부적인 배치 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 제 1 스페이서 구조체들이 구성하는 콘택홀 스페이서더의 구성 요소와 배치 위치를 추출한다.
- 상기 제 1 스페이서 구조체들은 상기 상부 스페이서와 상기 층간절연막 사이에 배치된 부분과 상기 층간절연막과 상기 제 1 플러그 사이에 개재된 부분으로 이루어진 콘택홀 스페이서더 구비
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3근거 선택
evidence_selection콘택홀 스페이서더의 배치 관계를 직접적으로 설명하는 청구항 2의 구절을 선택한다.
- 상기 제 1 스페이서 구조체들은 상기 상부 스페이서와 상기 층간절연막 사이에 배치된 부분과 상기 층간절연막과 상기 제 1 플러그 사이에 개재된 부분으로 이루어진 콘택홀 스페이서더 구비
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4논리 통합
logical_integration제 1 스페이서 구조체는 두 부분(상부 스페이서와 층간절연막 사이 배치 부분, 층간절연막과 제 1 플러그 사이 개재 부분)으로 구성되어 콘택홀 스페이서더를 형성함을 통합한다.
- 상기 제 1 스페이서 구조체들은 상기 상부 스페이서와 상기 층간절연막 사이에 배치된 부분과 상기 층간절연막과 상기 제 1 플러그 사이에 개재된 부분으로 이루어진 콘택홀 스페이서더 구비
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대해 콘택홀 스페이서더의 구성 및 배치 관계를 명확히 정리한다.
- 상기 제 1 스페이서 구조체들은 상기 상부 스페이서와 상기 층간절연막 사이에 배치된 부분과 상기 층간절연막과 상기 제 1 플러그 사이에 개재된 부분으로 이루어진 콘택홀 스페이서더 구비
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 제 1 스페이서 구조체들은 상기 상부 스페이서와 상기 층간절연막 사이에 배치된 부분과 상기 층간절연막과 상기 제 1 플러그 사이에 개재된 부분으로 이루어진 콘택홀 스페이서더 구비
최종 답변 (final_answer)
상기 제 1 스페이서 구조체들은 상기 상부 스페이서와 상기 층간절연막 사이에 배치된 부분과 상기 층간절연막과 상기 제 1 플러그 사이에 개재된 부분으로 이루어진 콘택홀 스페이서더를 구비한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제 1 스페이서 구조체가 상부 스페이서-층간절연막 사이와 층간절연막-제 1 플러그 사이의 두 영역에 배치되어 콘택홀 스페이서더를 형성하는 구조적 특징을 나타낸다.