매몰 비트 라인에 접속된 수직형 트랜지스터를 포함하는회로 소자 및 제조 방법 document_id 1020050093317

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 바닥 액티브 영역은 상기 매몰 비트 라인이 상기 주변 회로 영역으로부터 상기 어느 하나의 셀 영역으로만 연장되게 상기 어느 하나의 셀 영역에까지 연장되나 반대쪽 다른 셀 영역과의 경계에서는 단절된 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 매몰 비트 라인은 상기 게이트에 노출된 상기 바닥 액티브 영역 부분에 불순물이 이온 주입되어 상기 게이트에 자기 정렬된 불순물 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 국부적 연결 배선은 서로 다른 행의 두 게이트들을 상호 전기적으로 연결시키게 상기 두 게이트들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 국부적 연결 배선이 상기 게이트의 행 방향으로 이웃하는 다른 게이트에 접촉하도록 허용하기 위해서 상기 이웃하는 게이트가 부착된 상기 채널 필러를 더미 필러로 설정하도록 상기 채널 필러의 상면을 절연하는 절연 마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 국부적 연결 배선은 같은 행의 두 게이트들을 상호 전기적으로 연결시키게 상기 행과 이웃하는 다른 행 상의 다른 게이트에 접촉하게 연장되도록 허용하기 위해서 상기 이웃하는 다른 행 상의 상기 게이트가 부착된 상기 채널 필러를 더미 필러로 설정하도록 상기 채널 필러의 상면을 절연하는 절연 마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 신호 배선에 전기적으로 연결되는 상기 채널 필러에 이웃하여 배열되는 채널 필러를 더미 필러(dummy pillar)로 설정되게 상기 이웃하는 채널 필러 상면을 상기 신호 배선에 대해 절연하는 절연 마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 매몰 비트 라인에 접속되는 상기 연결 콘택은 접속 부위 인근의 상기 게이트들에 접촉하게 형성되고 상기 연결 콘택에 접촉된 게이트가 부착되는 상기 채널 필러가 더미 필러로 설정되게 상기 채널 필러의 상면에 전기적 절연을 위한 절연 마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 주변 회로는 상기 셀 영역에 형성된 상기 채널 필러 및 상기 게이트를 포함하는 셀 트랜지스터들의 메모리(memory) 동작을 위한 등화 회로(eq), 센스 앰프(sa) 또는 컬럼 선택부(csl)인 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 10] 제1항에 있어서,행의 상기 채널 필러들을 국부적으로 연결하되 상기 신호 배선과 함께 형성되어 상기 신호 배선과 대등한 높이 수준을 가지는 제2의 국부적 연결 배선을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 매몰 비트 라인은 상호 연결된 서로 다른 두 도전형의 제1 및 제2매몰 비트 라인을 포함하고상기 제1 및 제2매몰 비트 라인을 상호 연결하되 상기 신호 배선과 함께 형성되어 상기 신호 배선과 대등한 높이 수준을 가지는 제3의 국부적 연결 배선; 및 상기 제3의 국부적 연결 배선을 상기 제1 및 제2매몰 비트 라인들 각각에 접속시키는 제2의 연결 콘택을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기제1 및 제2매몰 비트 라인은 상호 간에 소자 분리에 의해 이격된 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 채널 필러를 상기 신호 배선에 전기적으로 연결하는 상측 콘택을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 제1신호 배선에 전기적으로 연결되는 상기 채널 필러에 이웃하여 배열되는 채널 필러를 더미 필러(dummy pillar)로 설정되게 상기 이웃하는 채널 필러 상면을 상기 신호 배선에 대해 절연하는 절연 마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 연결 콘택에 인근하고 상기 신호 배선에 전기적으로 연결된 상기 채널 필러에 마주보는 다른 행의 채널 필러가 더미 필러(dummy pillar)로 설정되게 상기 마주보는 채널 필러 상면을 상기 신호 배선에 대해 절연하는 절연 마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기제1 또는 제2신호 배선에 연결된 상기 채널 필러에 행 방향으로 인근하는 다른 채널 필러들이 더미 필러(dummy pillar)로 설정되게 상기 이웃하는 다른 채널 필러 상면을 상기 신호 배선에 대해 절연하는 절연 마스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 트랜지스터포함하는회로 소자.